هدف الرذاذ هو مادة مستخدمة في عملية الترسيب الرذاذي، وهي تقنية لإنشاء أغشية رقيقة. وتنطوي هذه العملية على تفتيت المادة الصلبة المستهدفة إلى جسيمات صغيرة باستخدام الأيونات الغازية، والتي تشكل بعد ذلك رذاذًا وتغطي الركيزة. وعادةً ما تكون أهداف الرذاذ الرذاذ عادةً عناصر معدنية أو سبائك أو سيراميك، وهي مهمة في صناعات مثل أشباه الموصلات وتصنيع رقائق الكمبيوتر.
شرح مفصل:
-
تكوين وأنواع أهداف الاخرق:
-
يمكن تصنيع أهداف الاخرق من مواد مختلفة بما في ذلك المعادن والسبائك والسيراميك. ويخدم كل نوع أغراضًا محددة اعتمادًا على الخصائص المرغوبة للفيلم الرقيق. على سبيل المثال، تُستخدم الأهداف المعدنية مثل الموليبدينوم للأغشية الرقيقة الموصلة في شاشات العرض أو الخلايا الشمسية، بينما تُستخدم الأهداف الخزفية لإنشاء طلاءات صلبة على الأدوات.عملية ترسيب الرذاذ:
-
تبدأ العملية في بيئة مفرغة حيث يكون الضغط الأساسي منخفضًا للغاية، وعادةً ما يكون حوالي 10^-6 مليبار. يتم إدخال ذرات غاز خامل في غرفة الترسيب، مع الحفاظ على ضغط غاز منخفض. ثم تُقصف المادة المستهدفة بأيونات غازية، مما يؤدي إلى تفككها إلى جسيمات تُقذف وتترسب على الركيزة. يمكن أن تتضمن هذه التقنية، المعروفة باسم الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)، إعداد رش بالمغناطيسية حيث يعزز المجال المغناطيسي كفاءة الرش.
-
خصائص ومتطلبات أهداف الاخرق:
-
يجب أن تفي أهداف الاخرق بمتطلبات صارمة بما في ذلك الحجم والتسطيح والنقاء والكثافة والتحكم في الشوائب والعيوب. كما يجب أن تتمتع بخصائص محددة مثل خشونة السطح والمقاومة والتجانس في حجم الحبيبات وتكوينها. وتضمن هذه الخصائص جودة وأداء الأغشية الرقيقة المنتجة.التطبيقات والكفاءة:
يعد استخدام أهداف الاخرق محورياً في إنتاج الأغشية الرقيقة ذات الخصائص الدقيقة، وهي ضرورية للتطبيقات في مجال الإلكترونيات والبصريات والطلاءات الصناعية المختلفة. تم تصميم هذه العملية للإنتاج بكميات كبيرة وكفاءة عالية، مع ميزات مثل الطلاء بالرش السريع، وتشكيل الأغشية الكثيفة، والالتصاق الجيد.
الابتكارات في تقنية الطلاء بالرش:
