فريق التقنية · Kintek Solution

يعد الكاثود في الرش المغنطروني المغنطروني مكونًا حاسمًا يلعب دورًا مركزيًا في عملية ترسيب الأغشية الرقيقة.ويقع خلف المادة المستهدفة ويتم تنشيطه كهربائياً لتوليد بلازما ذاتية الاستدامة.يتم قصف السطح المكشوف للكاثود، والمعروف باسم هدف الرشّ، بجسيمات عالية الطاقة، مما يتسبب في قذف الذرات وترسيبها على الركيزة.وقد أحدث الكاثود المغنطروني، الذي تم اختراعه في السبعينيات، ثورة في تكنولوجيا الطلاء بالتفريغ من خلال تمكين التحكم الدقيق في عملية الترسيب.يعمل الكاثود بالاقتران مع مجال مغناطيسي لتأيين المادة المستهدفة، مما يضمن كفاءة والتحكم في عملية الترسيب.ويوجد نوعان رئيسيان من المغنطرونات المغناطيسية - الترددات الراديوية والترددات اللاسلكية - كل منهما مناسب لتطبيقات محددة بناءً على معدل الترسيب وجودة الفيلم وتوافق المواد.

شرح النقاط الرئيسية:

1. تعريف ودور القطب السالب:

   • الكاثود هو مكون رئيسي في الاخراخ المغنطروني، ويتم وضعه خلف المادة المستهدفة.
   • ويتم تنشيطه كهربائياً لتوليد بلازما ذاتية الاستمرار، وهو أمر ضروري لعملية الاخرق.
   • والسطح المكشوف للكاثود هو هدف الاخرق الذي تُقذف منه الذرات عندما تصطدم به جسيمات عالية الطاقة.

2. الوظيفة في عملية الاخرق:

   • ويشكل الكاثود، إلى جانب الأنود (المتصل بالحجرة كأرضية كهربائية)، جزءًا من الدائرة الكهربائية التي تولد البلازما.
   • تقوم البلازما بتأيين المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى رشها أو تبخيرها وترسيبها على الركيزة.
   • يتحكم المغنطرون، الذي يتضمن الكاثود، في مسار الذرات المنزاحة، مما يضمن انتقالها بشكل متوقع إلى الركيزة.

3. أنواع كاثودات المغنطرون:

   • مغناطيسات التيار المستمر:استخدام مصدر طاقة تيار مباشر، مثالي للمواد الموصلة والتطبيقات التي تتطلب معدلات ترسيب عالية.
   • مغناطيسات الترددات اللاسلكية:استخدام مزود طاقة تردد لاسلكي عالي التردد، مناسب للمواد العازلة والتطبيقات التي تتطلب جودة غشاء عالية.

4. الأهمية التاريخية:

   • شكّل اختراع الكاثود المغنطروني المستوي من قبل تشابين في عام 1974 تقدماً كبيراً في تكنولوجيا الطلاء بالتفريغ.
   • وقد مكّن هذا الابتكار من التحكم الدقيق في ترسيب الأغشية الرقيقة، مما جعل الطلاء بالرش المغنطروني تقنية مهيمنة للتطبيقات عالية الأداء.

5. التحكم في المجال المغناطيسي والبلازما:

   • يولد المغنطرون مجالًا مغناطيسيًا يحصر البلازما حول الركيزة، مما يعزز كفاءة عملية الرش بالمغناطيسية.
   • ويضمن هذا المجال المغناطيسي انتقال الذرات المقذوفة في مسارات محكومة، مما يسمح بترسيب غشاء موحد والتحكم الدقيق في السماكة.

6. التطبيقات وتوافق المواد:

   • يعتمد الاختيار بين التيار المستمر والترددات الراديوية المغناطيسية على المادة التي يتم رشها بالمغناطيسية والخصائص المرغوبة للفيلم المترسب.
   • وعادةً ما تُستخدم المغنطرونات ذات التيار المستمر للمعادن والمواد الموصلة للمعادن، بينما تُستخدم المغنطرونات ذات الترددات اللاسلكية للمواد العازلة مثل الأكاسيد.

من خلال فهم هذه النقاط الرئيسية، يمكن للمشتري اتخاذ قرارات مستنيرة بشأن نوع الكاثود ونظام المغنطرون المغناطيسي اللازم لتطبيقات ترسيب الأغشية الرقيقة المحددة.يعد تصميم الكاثود ووظائفه أمرًا حاسمًا لتحقيق طلاءات رقيقة عالية الجودة ومتسقة وفعالة.

جدول ملخص:

الجانب	التفاصيل
التعريف	مكون رئيسي خلف المادة المستهدفة، يتم تنشيطه لتوليد البلازما.
الوظيفة	تشكل جزءًا من الدائرة الكهربائية، تؤين المادة المستهدفة من أجل الاخرق.
الأنواع	مغناطيسات التيار المستمر (مواد موصلة) ومغناطيسات الترددات اللاسلكية (مواد عازلة).
الأهمية التاريخية	اخترع في عام 1974، وأحدث ثورة في تكنولوجيا الطلاء بالتفريغ.
المجال المغناطيسي	يحصر البلازما، مما يضمن ترسيبًا موحدًا للفيلم وتحكمًا دقيقًا.
التطبيقات	التيار المستمر للمعادن، والترددات اللاسلكية للأكاسيد؛ يتم اختيارها بناءً على المواد وجودة الفيلم.

هل تحتاج إلى مساعدة في اختيار المهبط المناسب لترسيب الأغشية الرقيقة؟ اتصل بخبرائنا اليوم !