يتضمن طلاء الرذاذ لتحضير عينة SEM تطبيق طبقة رقيقة للغاية من المعدن الموصل للكهرباء على عينات غير موصلة للكهرباء أو ضعيفة التوصيل. وتعد هذه العملية ضرورية لمنع الشحن وتحسين جودة صور SEM من خلال زيادة نسبة الإشارة إلى الضوضاء من خلال تحسين انبعاث الإلكترون الثانوي. يتراوح السُمك النموذجي للطبقة المعدنية المنبثقة من 2 إلى 20 نانومتر، وتشمل المعادن شائعة الاستخدام الذهب والذهب/البلاديوم والبلاتين والفضة والكروم والإيريديوم.
شرح مفصل:
-
الغرض من طلاء الرذاذ:
-
يُستخدم طلاء الرذاذ في المقام الأول لإعداد عينات غير موصلة أو ضعيفة التوصيل للفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي (SEM). وبدون طلاء موصل، يمكن أن تتراكم هذه العينات مجالات كهربائية ساكنة، مما يؤدي إلى تشويه الصورة أو تلف العينة بسبب تفاعل شعاع الإلكترون.آلية طلاء الرذاذ:
-
- تتضمن هذه العملية تقنية ترسيب الرذاذ حيث يتم قصف هدف معدني بجسيمات نشطة (عادةً أيونات)، مما يؤدي إلى طرد الذرات من الهدف وترسيبها على العينة. وهذا يشكل طبقة رقيقة وموحدة من المعدن توفر توصيلًا كهربائيًا للعينة.فوائد طلاء الرذاذ:
- منع الشحن: من خلال توفير مسار موصل، يمنع طلاء الرذاذ تراكم الشحنات على العينة، والتي من شأنها أن تحرف شعاع الإلكترون وتقلل من جودة الصورة.
- تعزيز انبعاث الإلكترونات الثانوية: المعادن الموصلة مثل الذهب والبلاتين جيدة في انبعاث الإلكترونات الثانوية عند اصطدامها بحزمة الإلكترونات. وهذا يزيد من قوة الإشارة، مما يحسن دقة وتباين صور SEM.
-
الحد من التلف الحراري: يساعد الطلاء الموصل أيضًا على تبديد الحرارة الناتجة عن شعاع الإلكترونات، مما يقلل من خطر التلف الحراري للعينات الحساسة.
-
أنواع المعادن المستخدمة:
يمكن استخدام معادن مختلفة في طلاء الرذاذ، ولكل منها مزاياه اعتمادًا على المتطلبات المحددة لتحليل SEM. على سبيل المثال، غالبًا ما يُستخدم الذهب/البلاديوم بسبب توصيليته الممتازة ومقاومته للأكسدة، بينما يوفر البلاتين طلاءً قويًا مناسبًا للتصوير عالي الدقة.
القيود والبدائل:
