الاخرق هو عملية ترسيب غشاء رقيق يستخدم في مختلف الصناعات، بما في ذلك أشباه الموصلات والأجهزة البصرية وتشطيب الأسطح. وهي تنطوي على طرد الذرات من مادة مستهدفة على ركيزة بسبب قصفها بجسيمات عالية الطاقة. هذه التقنية هي شكل من أشكال الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) وقد تم استخدامها منذ أوائل القرن التاسع عشر، مع تطورات وابتكارات كبيرة على مر السنين.
تفاصيل العملية:
في عملية الترسيب، يتم إدخال غاز خاضع للتحكم، عادةً الأرجون، في غرفة مفرغة من الهواء. يتم تطبيق جهد كهربائي لإنشاء بلازما، ويتم قصف المادة المستهدفة، التي تعمل ككاثود، بأيونات الأرجون. ويتسبب هذا القصف في طرد الذرات من الهدف وترسيبها على الركيزة التي تعمل بمثابة القطب الموجب. ويتميز الغشاء الرقيق الناتج بتجانس وكثافة والتصاق ممتازين، مما يجعله مناسبًا لمجموعة واسعة من التطبيقات.الاختلافات والتطبيقات:
يمكن تصنيف الاخرق إلى أنواع مختلفة مثل الاخرق الكاثودي، واخرق الصمام الثنائي، واخرق الترددات اللاسلكية أو التيار المستمر، واخرق الحزمة الأيونية، واخرق الحزمة الأيونية، واخرق التفاعلية. وعلى الرغم من هذه الاختلافات، تظل العملية الأساسية واحدة. يسمح تعدد استخدامات الاخرق باستخدامه في إنشاء الطلاءات العاكسة وأجهزة أشباه الموصلات ومنتجات تكنولوجيا النانو. كما يتم استخدامه في تقنيات الحفر والتحليل الدقيق نظرًا لقدرته على العمل على طبقات دقيقة للغاية من المواد.
الأهمية التاريخية والتكنولوجية:
