يعتبر الرش بالترددات الراديوية والرش بالتيار المستمر من تقنيات الترسيب بالتفريغ المستخدمة لترسيب الأغشية الرقيقة على الأسطح، مع تطبيقات في المقام الأول في صناعات الإلكترونيات وأشباه الموصلات. يستخدم الرش بالتردد اللاسلكي موجات التردد اللاسلكي (RF) لتأيين ذرات الغاز، بينما يستخدم الرش بالتيار المستمر (DC) لتحقيق نفس التأثير.
رش الترددات اللاسلكية:
ينطوي رش الترددات اللاسلكية على استخدام موجات التردد اللاسلكي، عادةً بتردد 13.56 ميجاهرتز، لتأيين غاز خامل مثل الأرجون. ويشكل الغاز المتأين بلازما، ويتم تسريع الأيونات الموجبة الشحنة نحو المادة المستهدفة. وعندما تصطدم هذه الأيونات بالهدف، تنقذف الذرات أو الجزيئات وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة. ويُعد الرش بالترددات اللاسلكية مفيدًا بشكل خاص لترسيب الأغشية الرقيقة من المواد المستهدفة العازلة أو غير الموصلة لأنها يمكن أن تحيد بشكل فعال تراكم الشحنة على سطح الهدف، وهو ما يمثل تحديًا في الرش بالتيار المستمر.رش بالتيار المستمر:
على النقيض من ذلك، يستخدم رش التيار المستمر تيارًا مباشرًا لتأيين الغاز وإنشاء البلازما. وتتطلب هذه العملية مادة موصلة للهدف لأن تيار التيار المستمر يقصف الهدف مباشرة بالأيونات. هذه الطريقة فعالة لترسيب الأغشية الرقيقة من المواد الموصلة ولكنها أقل ملاءمة للمواد غير الموصلة بسبب تراكم الشحنات التي يمكن أن تحدث على سطح الهدف.
التطبيقات:
يُستخدم كل من الرش بالترددات الراديوية والرش بالتيار المستمر في تطبيقات مختلفة حيث يتطلب ترسيب الأغشية الرقيقة. في صناعة الإلكترونيات، تعتبر هذه التقنيات ضرورية لإنشاء مكونات مثل الدوائر المتكاملة والمكثفات والمقاومات. وفي صناعة أشباه الموصلات، تُستخدم هذه التقنيات لترسيب طبقات المواد التي تشكل أساس الرقائق الدقيقة والأجهزة الإلكترونية الأخرى. كما يُستخدم رش الترددات اللاسلكية، نظرًا لقدرته على التعامل مع المواد غير الموصلة للكهرباء، في إنتاج الطلاءات البصرية والخلايا الشمسية وأنواع مختلفة من أجهزة الاستشعار.
مزايا رش الترددات اللاسلكية:
