الترسيب بالترددات الراديوية والرش بالتيار المستمر هي تقنيات ترسيب بالتفريغ تستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على الأسطح.
وتُستخدم هذه التقنيات في المقام الأول في صناعات الإلكترونيات وأشباه الموصلات.
ما هي استخدامات تقنية الترسيب بالترددات اللاسلكية والترشيد بالتيار المستمر؟ (شرح 5 نقاط رئيسية)
1. رش الترددات اللاسلكية
يستخدم رش الترددات اللاسلكية موجات التردد اللاسلكي (RF) لتأيين ذرات الغاز.
التردد النموذجي المستخدم هو 13.56 ميجاهرتز.
يتأين غاز خامل مثل الأرجون لتكوين بلازما.
يتم تسريع الأيونات الموجبة الشحنة نحو المادة المستهدفة.
عندما تصطدم هذه الأيونات بالهدف، تنقذف الذرات أو الجزيئات وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
ويُعد الرش بالترددات اللاسلكية مفيداً بشكل خاص لترسيب الأغشية الرقيقة من المواد المستهدفة العازلة أو غير الموصلة.
فهو يعمل بشكل فعال على تحييد تراكم الشحنات على سطح الهدف، وهو ما يمثل تحديًا في رشّ التيار المستمر.
2. الرش بالتيار المستمر
يستخدم رشّ التيار المستمر تياراً مباشراً لتأيين الغاز وإنشاء البلازما.
وتتطلب هذه العملية مادة موصلة للهدف.ويقصف تيار التيار المستمر الهدف مباشرة بالأيونات.هذه الطريقة فعالة لترسيب الأغشية الرقيقة من المواد الموصلة.ومع ذلك، فهي أقل ملاءمة للمواد غير الموصلة بسبب تراكم الشحنات على سطح الهدف.3. التطبيقاتيُستخدم كل من الرش بالترددات الراديوية والرش بالتيار المستمر في تطبيقات مختلفة حيث يتطلب ترسيب الأغشية الرقيقة.
