ينطوي ترسيب الأغشية الرقيقة باستخدام طريقة الرش بالرش على تكوين طبقة رقيقة من المادة على الركيزة المرغوبة.
وتتحقق هذه العملية من خلال تطبيق تدفق غاز متحكم فيه، عادةً ما يكون الأرجون، في غرفة تفريغ.
توضع المادة المستهدفة، التي عادة ما تكون معدنًا، كقطب سالب ويتم شحنها بجهد كهربائي سالب.
تحتوي البلازما داخل الغرفة على أيونات موجبة الشحنة تنجذب إلى المهبط.
تصطدم هذه الأيونات بالمادة الهدف، مما يؤدي إلى إزاحة الذرات من سطحها.
ثم تعبر الذرات المنزاحة، والمعروفة باسم المادة المنبثقة، غرفة التفريغ وتغطي الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
ويمكن أن يتراوح سمك الفيلم من بضعة نانومترات إلى بضعة ميكرومترات.
وعملية الترسيب هذه هي طريقة ترسيب بخار فيزيائي تُعرف باسم الرش المغنطروني المغنطروني.
5 نقاط رئيسية يجب معرفتها حول ترسيب الأغشية الرقيقة باستخدام طريقة الرش بالمغناطيسية
1. مقدمة في الترسيب باستخدام طريقة الترسيب بالترسيب الاخرق
يتضمّن الترسيب بالترسيب الاخرق إنشاء طبقة رقيقة من المواد على الركيزة المرغوبة.
2. تدفق الغاز وغرفة التفريغ
تتحقق العملية من خلال تطبيق تدفق غاز خاضع للتحكم، عادةً ما يكون الأرجون، في غرفة تفريغ.
3. المادة المستهدفة والإمكانات الكهربائية
يتم وضع المادة المستهدفة، وهي عادةً معدن، كقطب سالب وشحنها بجهد كهربائي سالب.
4. تصادمات البلازما والأيونات
تحتوي البلازما داخل الحجرة على أيونات موجبة الشحنة تنجذب إلى المهبط.
تتصادم هذه الأيونات مع المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى إزاحة الذرات من سطحها.
5. تكوين غشاء رقيق
تعبر الذرات المنزاحة، والمعروفة باسم المادة المنبثقة، غرفة التفريغ وتغطي الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
ويمكن أن يتراوح سمك الفيلم من بضعة نانومترات إلى بضعة ميكرومترات.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات رش عالية الجودة لتلبية احتياجاتك من ترسيب الأغشية الرقيقة؟ لا تبحث أكثر من KINTEK!
بصفتنا موردًا رائدًا لمعدات المختبرات، نقدم مجموعة واسعة من أحدث أنظمة الرش بالأخرق لتطبيقات PVD الخاصة بك.
تفضل بزيارة موقعنا الإلكتروني اليوم لاستكشاف حلولنا المتطورة والارتقاء بأبحاثك إلى المستوى التالي.
لا تفوّت فرصة تعزيز قدراتك في ترسيب الأغشية الرقيقة - اختر KINTEK للحصول على معدات رش موثوقة وفعالة.
