يكمن الفرق الرئيسي بين الاخرق المغنطروني بالتيار المستمر والترددات الراديوية في نوع الجهد المطبق على الهدف وإمكانية تطبيقه على أنواع مختلفة من المواد.
الاخرق المغنطروني بالتيار المستمر:
في الرش المغنطروني المغنطروني بالتيار المستمر، يتم تطبيق جهد تيار مباشر ثابت على الهدف. هذه الطريقة مناسبة للمواد الموصلة لأنها تنطوي على قصف أيوني مباشر لبلازما الغاز بواسطة الإلكترونات. وتعمل هذه العملية عادةً عند ضغوط أعلى، والتي قد يكون من الصعب الحفاظ عليها. ويتراوح الجهد المطلوب لرش التيار المستمر من 2,000 إلى 5,000 فولت.الرش المغنطروني بالترددات اللاسلكية:
من ناحية أخرى، يستخدم الاخرق المغنطروني بالترددات اللاسلكية جهدًا متناوبًا بترددات راديوية (عادةً 13.56 ميجاهرتز). وتعد هذه الطريقة مناسبة بشكل خاص للمواد غير الموصلة أو المواد العازلة لأنها تمنع تراكم الشحنات على سطح الهدف، وهو ما يمكن أن يحدث في رش التيار المستمر. يسمح استخدام التردد اللاسلكي بالتشغيل عند ضغوط أقل بسبب ارتفاع نسبة الجسيمات المتأينة في غرفة التفريغ. وعادةً ما يكون الجهد المطلوب للترشيش بالتردد اللاسلكي 1,012 فولت أو أعلى، وهو أمر ضروري لتوفير نفس معدل الترسيب مثل رش التيار المستمر. هذا الجهد العالي مطلوب لأن الرش بالترددات اللاسلكية يستخدم الطاقة الحركية لإزالة الإلكترونات من الأغلفة الخارجية لذرات الغاز، بدلاً من القصف الأيوني المباشر.
الخلاصة:
