يكمن الفرق الأساسي بين الاخرق بالتردد اللاسلكي (التردد اللاسلكي) والخرق بالتيار المباشر (التيار المباشر) في نوع مصدر الطاقة المستخدم، ومتطلبات الجهد، وضغط الغرفة، والتعامل مع تراكم الشحنات على المادة المستهدفة. ويستخدم الاخرق بالترددات الراديوية (التيار المتردد) مزود طاقة تيار متردد (تيار متردد) يقوم بتبديل الجهد الكهربائي عند الترددات الراديوية، مما يساعد في منع تراكم الشحنات على الهدف. وعلى النقيض من ذلك، يستخدم الاخرق بالتيار المستمر مصدر طاقة تيار مباشر، والذي يمكن أن يؤدي إلى تراكم الشحنات على الهدف، خاصة مع المواد العازلة.
متطلبات الجهد والطاقة:
يتطلب رش التيار المستمر عادةً جهدًا يتراوح بين 2,000 و5,000 فولت، بينما يتطلب رش الترددات اللاسلكية جهدًا أعلى يبلغ 1,012 فولت أو أكثر. ويرجع هذا الاختلاف إلى الآليات التي يتم من خلالها تأين بلازما الغاز. في الرش بالتيار المستمر، يتم تحقيق التأين من خلال القصف الأيوني المباشر بواسطة الإلكترونات، بينما في الرش بالترددات اللاسلكية، يتم استخدام الطاقة الحركية لإزالة الإلكترونات من الأغلفة الخارجية لذرات الغاز، مما يتطلب إمداد طاقة أعلى لتحقيق نفس معدل الترسيب.ضغط الغرفة:
يمكن أن يعمل الاخرق بالترددات اللاسلكية عند ضغط غرفة أقل بكثير، وغالبًا ما يكون أقل من 15 ملي متر، مقارنةً ب 100 ملي متر، وهو الضغط المطلوب عادةً في الاخرق بالتيار المستمر. ويقلل هذا الضغط المنخفض في الرش بالترددات الراديوية من عدد التصادمات بين جسيمات البلازما المشحونة والمادة المستهدفة، مما يوفر مسارًا مباشرًا أكثر للجسيمات المرشوشة للوصول إلى الركيزة. ويمكن أن يؤدي ذلك إلى ترسيب أكثر كفاءة واتساقًا للفيلم الرقيق.
التعامل مع تراكم الشحنة:
تتمثل إحدى المزايا المهمة التي يتميز بها رش الاخرق بالترددات اللاسلكية عن رش التيار المستمر في قدرته على التعامل مع تراكم الشحنات على الهدف. ففي الرش بالتيار المستمر، يمكن أن يؤدي التدفق المستمر للتيار في اتجاه واحد إلى تراكم الشحنة على الهدف، وهو ما يمثل مشكلة خاصة مع المواد المستهدفة العازلة. يعمل رش الاخرق بالترددات اللاسلكية، من خلال تبديل التيار، على تحييد تراكم الشحنة بشكل فعال، مما يضمن عملية رش أكثر استقرارًا وفعالية.
مادة الهدف المثالية:
