فرن CVD و PECVD
نظام معدات ترسيب البخار الكيميائي متعدد الاستخدامات ذو الأنبوب الحراري المصنوع حسب الطلب للعملاء
رقم العنصر : KT-CTF16
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- درجة الحرارة القصوى
- 1600 ℃
- درجة حرارة العمل الثابتة
- 1550 ℃
- قطر أنبوب الفرن
- 60 mm
- منطقة التسخين
- 3x300 mm
- معدل التسخين
- 0-10 ℃/min
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
لماذا تختارنا
شريك موثوقعملية طلب سهلة، منتجات عالية الجودة، ودعم مخصص لنجاح عملك.
مقدمة
فرن الأنبوب الحراري لترسيب البخار الكيميائي (CVD) هو فرن عالي الحرارة يستخدم لعمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD). يتميز بمناطق تسخين متعددة تسمح بالتحكم الدقيق في درجة الحرارة، ومضخة تفريغ عالية تخلق بيئة تفريغ لعمليات CVD، ومحطة تحكم في الغاز بتدفق كتلي تخلط وتدخل الغازات في أنبوب الفرن. الفرن قادر على الوصول إلى درجات حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية ولديه معدل تفريغ نهائي يبلغ 10^-7 تور. يستخدم بشكل شائع في صناعة أشباه الموصلات لترسيب أغشية رقيقة من مواد مختلفة، بما في ذلك المواد العازلة والمواد المعدنية ومواد السبائك المعدنية.
تطبيقات
تستخدم أفران الأنبوب الحراري متعددة المناطق لترسيب البخار الكيميائي (CVD) على نطاق واسع في مختلف التطبيقات البحثية والصناعية، بما في ذلك:
- تخليق المواد النانوية: فرن الأنبوب الحراري لترسيب البخار الكيميائي مثالي لنمو الأسلاك النانوية وإعداد الأغشية النانوية، وهي ضرورية لتطوير المواد المتقدمة ذات الخصائص الفريدة.
- تقنيات الطلاء: يستخدم على نطاق واسع لترسيب الأغشية المعدنية والأغشية السيراميكية والأغشية المركبة، وهي ضرورية لتعزيز خصائص السطح للمواد المختلفة.
- معالجة مواد البطاريات: الفرن مناسب لتجفيف وتلبيد مواد البطاريات، وهي خطوة حاسمة في إنتاج أجهزة تخزين الطاقة عالية الأداء.
- التلبيد عند درجات حرارة عالية: يستخدم في عمليات التلبيد في الغلاف الجوي عند درجات حرارة عالية وعمليات الاختزال في الغلاف الجوي، وهي ضرورية لكثافة المواد.
- الطلاء بالتفريغ: قدرات التفريغ العالية للفرن تجعله مثاليًا لتطبيقات الطلاء بالتفريغ، حيث تكون نقاء وجودة الطلاء أمرًا بالغ الأهمية.
- البحث والتطوير: تستخدم الجامعات ومعاهد البحوث العلمية هذه المعدات لمجموعة واسعة من التجارب في مجال علوم المواد، بما في ذلك دراسات ترسيب البخار الكيميائي (CVD/CVI).
- التطبيقات الصناعية: في البيئات الصناعية، يستخدم فرن الأنبوب الحراري لترسيب البخار الكيميائي للعمليات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة وإدارة الغاز، كما هو الحال في صناعة أشباه الموصلات.
- التنظيف بالبلازما والحفر: تسمح تعدد استخدامات المعدات بتوسيع الوظائف لتشمل التنظيف بالبلازما والحفر، وهي ضرورية لإعداد الركائز قبل الترسيب.
الميزات
فرن الأنبوب الحراري لترسيب البخار الكيميائي هو فرن متعدد الاستخدامات وعالي الأداء وهو مثالي لمجموعة متنوعة من التطبيقات في البحث والصناعة. بفضل ميزاته وقدراته المتقدمة، يمكن لهذا الفرن مساعدتك في تحقيق أفضل النتائج الممكنة في عملك.
- التحكم في درجة الحرارة متعدد المناطق: يتميز هذا الفرن بالتحكم في درجة الحرارة متعدد المناطق، مما يسمح لك بالتحكم الدقيق في درجة الحرارة في مناطق مختلفة من الفرن. هذا ضروري للتطبيقات التي تحتاج فيها إلى إنشاء ملف تعريف درجة حرارة أو تدرج محدد.
- قدرة درجة حرارة عالية: يمكن لهذا الفرن الوصول إلى درجات حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية، مما يجعله مثاليًا لمجموعة واسعة من التطبيقات. تجعل قدرة درجة الحرارة العالية هذه من الممكن إجراء عمليات متطلبة مثل ترسيب البخار الكيميائي والانتشار والمعالجات الحرارية الأخرى.
- حماية بالتفريغ أو الغلاف الجوي: يمكن استخدام هذا الفرن تحت التفريغ أو حماية الغلاف الجوي، مما يجعله مناسبًا لمجموعة متنوعة من التطبيقات. تجعل هذه تعدد الاستخدامات من الممكن إجراء عمليات تتطلب غلافًا جويًا محددًا أو بيئة تفريغ.
- سهل الاستخدام: هذا الفرن سهل الاستخدام، مع واجهة سهلة الاستخدام وأدوات تحكم بديهية. هذا يجعل من السهل إعداد وتشغيل الفرن، حتى للمستخدمين ذوي الخبرة المحدودة.
- تصميم مدمج: هذا الفرن مدمج وخفيف الوزن، مما يجعله سهل التركيب والاستخدام في مجموعة متنوعة من المساحات. هذا التصميم المدمج يجعله مثاليًا للاستخدام في المختبرات والبيئات الأخرى ذات المساحة المحدودة.
المبدأ
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة التي يتم فيها ترسيب مادة صلبة على ركيزة من طور غازي. يتم تسخين الركيزة إلى درجة حرارة عالية، ويتم إدخال غاز يحتوي على المادة المطلوبة إلى الغرفة. يتفاعل الغاز مع الركيزة، ويتم ترسيب المادة المطلوبة على السطح.
تستخدم أفران الأنبوب الحراري لترسيب البخار الكيميائي (CVD) لعمليات CVD. يتكون الفرن من أنبوب مسخن، والذي عادة ما يكون مصنوعًا من الكوارتز أو الألومينا. توضع الركيزة داخل الأنبوب، ويتم إدخال الغاز إلى الأنبوب. يتدفق الغاز عبر الأنبوب ويتفاعل مع الركيزة، ويرسب المادة المطلوبة على السطح.
يمكن استخدام أفران الأنبوب الحراري لترسيب البخار الكيميائي (CVD) لترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المعادن والأكاسيد والنيتريدات والكربيدات. تستخدم العملية في تصنيع أشباه الموصلات والخلايا الشمسية والأجهزة الإلكترونية الأخرى.
درجات حرارة مختلفة وأنظمة ترسيب بخار كيميائي (CVD) متاحة
المبدأ
يعمل فرن الأنبوب الحراري لترسيب البخار الكيميائي (CVD) على مبدأ ترسيب البخار الكيميائي، باستخدام نظام تفريغ عالي ووحدات تحكم دقيقة في التدفق الكتلي لتسهيل ترسيب أغشية مختلفة في ظروف خاضعة للرقابة. يستخدم تقنية التوهج بالتردد الراديوي لمعدلات ترسيب عالية وتقنيات تسخين متقدمة لتوزيع موحد للأغشية.
المزايا
- توحيد درجة الحرارة العالي: يضمن التصميم متعدد المناطق توزيع درجة الحرارة بالتساوي في جميع أنحاء الفرن، وهو أمر بالغ الأهمية لعمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD).
- تحكم دقيق في درجة الحرارة: يسمح متحكم درجة الحرارة الرقمي بالتحكم الدقيق في درجة حرارة الفرن، وهو أمر ضروري للحصول على نتائج قابلة للتكرار وموثوقة.
- قدرة التفريغ العالي: يسمح معدل التفريغ النهائي البالغ 10^-7 تور بإزالة الملوثات من غرفة التفاعل، وهو أمر ضروري لأغشية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) عالية الجودة.
- سهل الاستخدام: تجعل الواجهة سهلة الاستخدام الفرن سهل التشغيل، حتى للمستخدمين غير ذوي الخبرة.
- متعدد الاستخدامات: يمكن استخدام الفرن لمجموعة واسعة من عمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، بما في ذلك ترسيب المعادن ومعالجة أشباه الموصلات وتخليق أنابيب الكربون النانوية.
- تصميم مدمج: التصميم المدمج للفرن يجعله مثاليًا للاستخدام في المختبرات ذات المساحة المحدودة.
- بأسعار معقولة: الفرن بسعر تنافسي، مما يجعله قيمة ممتازة مقابل المال.
المواصفات الفنية
| نموذج الفرن | KT-CTF16-60 |
|---|---|
| درجة الحرارة القصوى | 1600 درجة مئوية |
| درجة حرارة العمل المستمرة | 1550 درجة مئوية |
| مادة أنبوب الفرن | أنبوب ألومينا عالي النقاء |
| قطر أنبوب الفرن | 60 مم |
| منطقة التسخين | 3 × 300 مم |
| مادة الغرفة | ألياف بولي كريستالية من الألومينا |
| عنصر التسخين | كربيد السيليكون |
| معدل التسخين | 0-10 درجة مئوية/دقيقة |
| المزدوج الحراري | نوع S |
| متحكم درجة الحرارة | متحكم PID رقمي / متحكم PID بشاشة لمس |
| دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية |
| وحدة التحكم الدقيقة في الغاز | |
| مقياس التدفق | مقياس تدفق كتلي MFC |
| قنوات الغاز | 3 قنوات |
| معدل التدفق | MFC1: 0-5SCCM O2 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| الخطية | ±0.5% F.S. |
| قابلية التكرار | ±0.2% F.S. |
| خط الأنابيب والصمام | ستانلس ستيل |
| أقصى ضغط تشغيل | 0.45 ميجا باسكال |
| متحكم مقياس التدفق | متحكم مقبض رقمي / متحكم بشاشة لمس |
| وحدة التفريغ القياسية (اختياري) | |
| مضخة التفريغ | مضخة تفريغ دوارة ذات ريش |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس تفريغ Pirani/مقاومة السيليكون |
| ضغط التفريغ المقنن | 10 باسكال |
| وحدة التفريغ العالي (اختياري) | |
| مضخة التفريغ | مضخة دوارة ذات ريش + مضخة جزيئية |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية + 110 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس تفريغ مركب |
| ضغط التفريغ المقنن | 6x10-5 باسكال |
| يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات المذكورة أعلاه | |
الحزمة القياسية
| رقم | الوصف | الكمية |
|---|---|---|
| 1 | فرن | 1 |
| 2 | أنبوب كوارتز | 1 |
| 3 | شفة تفريغ | 2 |
| 4 | كتلة حرارية للأنبوب | 2 |
| 5 | خطاف الكتلة الحرارية للأنبوب | 1 |
| 6 | قفاز مقاوم للحرارة | 1 |
| 7 | تحكم دقيق في الغاز | 1 |
| 8 | وحدة تفريغ | 1 |
| 9 | دليل التشغيل | 1 |
إعداد اختياري
- الكشف عن الغازات داخل الأنبوب ومراقبتها، مثل H2 و O2 وما إلى ذلك
- مراقبة وتسجيل درجة حرارة الفرن بشكل مستقل
- منفذ اتصال RS 485 للتحكم عن بعد بالكمبيوتر وتصدير البيانات
- إدخال التحكم في معدل تدفق تغذية الغازات، مثل مقياس التدفق الكتلي ومقياس التدفق العائم
- متحكم درجة حرارة بشاشة لمس مع وظائف متعددة سهلة الاستخدام
- إعدادات محطة التفريغ العالي، مثل مضخة التفريغ ذات الريش، والمضخة الجزيئية، ومضخة الانتشار
تحذيرات
سلامة المشغل هي أهم قضية! يرجى تشغيل الجهاز بحذر. يعد العمل بالغازات القابلة للاشتعال والانفجار أو السامة أمرًا خطيرًا للغاية ، ويجب على المشغلين اتخاذ جميع الاحتياطات اللازمة قبل بدء تشغيل الجهاز. يعد العمل بالضغط الإيجابي داخل المفاعلات أو الغرف أمرًا خطيرًا ، ويجب على المشغل الالتزام بإجراءات السلامة بدقة. يجب أيضًا توخي الحذر الشديد عند العمل بمواد تفاعلية للهواء ، خاصة في حالة الفراغ. يمكن أن يؤدي التسرب إلى سحب الهواء إلى الجهاز مما يؤدي إلى حدوث رد فعل عنيف.
مصممة لك
تقدم KinTek خدمة ومعدات مخصصة عميقة للعملاء في جميع أنحاء العالم ، والعمل الجماعي المتخصص لدينا والمهندسون ذوو الخبرة الأثرياء قادرون على تنفيذ متطلبات أجهزة ومعدات البرمجيات المخصصة ، ومساعدة عملائنا على بناء المعدات والحلول الحصرية والشخصية!
هل تسمح بإسقاط أفكارك إلينا من فضلك ، مهندسونا جاهزون لك الآن!
4.9
out of
5
KT-CTF16 is a great furnace, it offers high-quality CVD processing with precise temperature control and customizable setups. The customer service is also top-notch, highly recommended!
4.8
out of
5
The furnace is very versatile and can be used for a variety of applications. The temperature control is accurate and the overall performance is excellent. I highly recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.
4.7
out of
5
The furnace has been a great addition to our lab. It's easy to use and maintain, and the results have been excellent. We've been able to produce high-quality materials with ease.
4.9
out of
5
The KT-CTF16 is a fantastic furnace. It's easy to use and the temperature control is very precise. We've been able to produce high-quality materials with ease. I would highly recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.
4.8
out of
5
This furnace is an excellent choice for anyone who needs a versatile and reliable CVD system. It's easy to use and maintain, and the results have been consistent and of high quality. I highly recommend this furnace.
4.7
out of
5
The KT-CTF16 is a great furnace for a variety of applications. It's easy to use and maintain, and the results have been excellent. We've been able to produce high-quality materials with ease.
4.9
out of
5
This furnace is a great investment. It's well-made and has a lot of features that make it easy to use. The customer service is also excellent. I would definitely recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.
4.8
out of
5
The furnace arrived quickly and was easy to set up. It's been working great so far and I'm very happy with it. The customer service has also been excellent.
4.7
out of
5
This furnace is a great value for the price. It's well-made and has a lot of features that make it easy to use. The customer service is also excellent. I would definitely recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.
4.9
out of
5
The KT-CTF16 is a great furnace. It's easy to use and the temperature control is very precise. We've been able to produce high-quality materials with ease. I would highly recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.
4.8
out of
5
This furnace is an excellent choice for anyone who needs a versatile and reliable CVD system. It's easy to use and maintain, and the results have been consistent and of high quality. I highly recommend this furnace.
4.7
out of
5
The KT-CTF16 is a great furnace for a variety of applications. It's easy to use and maintain, and the results have been excellent. We've been able to produce high-quality materials with ease.
4.9
out of
5
This furnace is a great investment. It's well-made and has a lot of features that make it easy to use. The customer service is also excellent. I would definitely recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.
4.8
out of
5
The furnace arrived quickly and was easy to set up. It's been working great so far and I'm very happy with it. The customer service has also been excellent.
4.7
out of
5
This furnace is a great value for the price. It's well-made and has a lot of features that make it easy to use. The customer service is also excellent. I would definitely recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.
4.9
out of
5
The KT-CTF16 is a great furnace. It's easy to use and the temperature control is very precise. We've been able to produce high-quality materials with ease. I would highly recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.
المنتجات
نظام معدات ترسيب البخار الكيميائي متعدد الاستخدامات ذو الأنبوب الحراري المصنوع حسب الطلب للعملاء
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
نظام KT-PE12 الانزلاقي PECVD: نطاق طاقة واسع، تحكم مبرمج في درجة الحرارة، تسخين/تبريد سريع مع نظام انزلاقي، تحكم في تدفق الكتلة MFC ومضخة تفريغ.
تعرف على جهاز الرنين الأسطواني MPCVD، وهي طريقة ترسيب البخار الكيميائي بالبلازما الميكروويف المستخدمة لنمو الأحجار الكريمة والأفلام الماسية في صناعات المجوهرات وأشباه الموصلات. اكتشف مزاياها الفعالة من حيث التكلفة مقارنة بالطرق التقليدية HPHT.
معدات التعقيم بالـ VHP بيروكسيد الهيدروجين معقم مساحات H2O2
معقم المساحات ببيروكسيد الهيدروجين هو جهاز يستخدم بيروكسيد الهيدروجين المتبخر لإزالة التلوث من المساحات المغلقة. يقتل الكائنات الحية الدقيقة عن طريق إتلاف مكوناتها الخلوية والمواد الوراثية.
آلة فرن الضغط الساخن بالفراغ مكبس الضغط الساخن بالفراغ
اكتشف مزايا فرن الضغط الساخن بالفراغ! قم بتصنيع معادن ومركبات مقاومة للحرارة وكثيفة، وسيراميك، ومركبات تحت درجة حرارة وضغط عاليتين.
فرن غاز خامل بالنيتروجين المتحكم فيه
فرن غاز الهيدروجين KT-AH - فرن غاز تحريضي للتلبيد/التلدين مع ميزات أمان مدمجة، وتصميم بغلاف مزدوج، وكفاءة في توفير الطاقة. مثالي للاستخدام المخبري والصناعي.
فرن التلبيد بالبلازما الشرارية فرن SPS
اكتشف فوائد أفران التلبيد بالبلازما الشرارية لتحضير المواد السريع عند درجات حرارة منخفضة. تسخين موحد، تكلفة منخفضة وصديق للبيئة.
ورقة كربون زجاجي RVC للتجارب الكهروكيميائية
اكتشف ورقة الكربون الزجاجي الخاصة بنا - RVC. هذه المادة عالية الجودة مثالية لتجاربك، وسترفع مستوى أبحاثك إلى المستوى التالي.
فرن المعالجة الحرارية بالتفريغ والتلبيد بالضغط للتطبيقات ذات درجات الحرارة العالية
تم تصميم أفران التلبيد بالضغط بالتفريغ للتطبيقات ذات الضغط الساخن بدرجات الحرارة العالية في تلبيد المعادن والسيراميك. تضمن ميزاتها المتقدمة تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة، وصيانة ضغط موثوقة، وتصميمًا قويًا لتشغيل سلس.
المقالات ذات الصلة
عندما تكون الجاذبية حليفتك: الاختيار الاستراتيجي لفرن الأنبوب العمودي
استكشف الفيزياء وراء أفران الأنابيب العمودية ولماذا يعد اتجاهها اختيارًا استراتيجيًا لعمليات مثل الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والتبريد وتخليق المساحيق.
مزايا استخدام فرن أنبوب CVD للطلاء
تتميز طلاءات CVD بالعديد من المزايا مقارنة بطرق الطلاء الأخرى ، مثل النقاوة العالية والكثافة والتوحيد ، مما يجعلها مثالية للعديد من التطبيقات في مختلف الصناعات.
فرن CVD لنمو الأنابيب النانوية الكربونية
تقنية فرن ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي طريقة مستخدمة على نطاق واسع لزراعة الأنابيب النانوية الكربونية.
تقديم أفران المختبر ذات الأنبوب الفراغي
فرن الأنبوب المفرغ هو نوع من الأفران التي تستخدم الفراغ لعزل جو العملية عن الغلاف الجوي الخارجي.
مقدمة عن ترسيب البخار الكيميائي (CVD)
ترسيب البخار الكيميائي ، أو CVD ، هو عملية طلاء تتضمن استخدام المواد المتفاعلة الغازية لإنتاج أغشية وطبقات رقيقة عالية الجودة.
مزايا ومساوئ الترسيب الكيميائي للبخار الكيميائي (CVD)
الترسيب الكيميائي للبخار الكيميائي (CVD) هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة متعددة الاستخدامات المستخدمة على نطاق واسع في مختلف الصناعات. استكشف مزاياها وعيوبها وتطبيقاتها الجديدة المحتملة.
فرن PECVD حل منخفض الطاقة ومنخفض درجة الحرارة للمواد اللينة
أصبحت أفران PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) حلاً شائعًا لترسيب الأغشية الرقيقة على أسطح المواد اللينة.
آلات CVD لترسيب الأغشية الرقيقة
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي تقنية مستخدمة على نطاق واسع لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مختلفة.
براعة أفران الأنبوب: دليل لتطبيقاتها وفوائدها
فرن أنبوب المختبر هو جهاز تسخين متخصص يستخدم في المختبرات العلمية والصناعية لمجموعة متنوعة من التطبيقات.
استكشاف الخصائص الرئيسية لأفران تسخين الأنبوب
فرن التسخين الأنبوبي هو نوع متخصص من الأفران الصناعية التي تستخدم في مختلف الصناعات لتسخين المواد من خلال استخدام احتراق الوقود.
استكشاف أفران الأنابيب الدوارة: دليل شامل
اكتشف طريقة عمل الأفران الأنبوبية الدوارة وتطبيقاتها المتنوعة ومزاياها الرئيسية. اكتشف كيفية عمل هذه الأفران، ومدى ملاءمتها للعمليات المختلفة، والعوامل التي يجب مراعاتها عند اختيار أحدها. اكتشف سبب تفضيل الأفران الأنبوبية الدوارة في معالجة المواد المتقدمة.
ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD): دليل شامل
تعرّف على كل ما تحتاج إلى معرفته عن الترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما بالبخار الكيميائي (PECVD)، وهي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات. استكشف مبادئها وتطبيقاتها وفوائدها.