فرن CVD و PECVD
صنع العميل آلة CVD متعددة الاستخدامات لفرن أنبوب CVD
رقم العنصر : KT-CTF16
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- الأعلى. درجة حرارة
- 1600 ℃
- درجة حرارة عمل ثابتة
- 1550
- قطر أنبوب الفرن
- 60 ملم
- منطقة التدفئة
- 3x300 ملم
- معدل التسخين
- 0-10 ℃ / دقيقة
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
اطلب عرض السعر المخصص الخاص بك 👋
احصل على عرض أسعارك الآن! ترك رسالة الحصول على الاقتباس السريع Via الدردشة عبر الإنترنتالتطبيقات
KT-CTF16 يمكن إنتاج فرن CVD متعدد الاستخدامات وفقًا لمتطلبات العميل الشخصية ، والتي يمكن أن تحقق المعدات الحصرية للباحث.
قام العميل بوظيفة مثل غرفة الفرن المنزلقة ، أنبوب تفاعل الفرن المنزلق / الدوار / الإمالة / الاهتزاز ، غرفة تفاعل الطبقة المميعة العمودية ، تغذية التغويز السائل ، التغذية المستمرة والتفريغ بالفراغ ، تجميع الانبعاثات السامة ، إنتاج CVD التجريبي وما إلى ذلك.
سمات
- مناطق التسخين المستقلة قادرة على إنشاء مجال درجة حرارة ثابتة أطول كما هو الحال مع تدرج درجة الحرارة المتحكم فيه
- التحكم في درجة الحرارة القابلة للبرمجة PID ودقة التحكم الممتازة ودعم التحكم عن بعد والتحكم المركزي
- التحكم في مقياس التدفق الكتلي عالي الدقة MFC ، الخلط المسبق لغازات المصدر وسرعة إمداد الغاز المستقرة
- شفة فراغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مع منفذ تكييف مختلف لتلبية إعداد محطة مضخة فراغ مختلفة ، وختم جيد ودرجة فراغ عالية
- يطبق KT-CTF16 Pro جهاز تحكم بشاشة لمس TFT مقاس 7 بوصات وإعداد برنامج أكثر ملاءمة وتحليل بيانات التاريخ
تتوفر أنظمة درجات حرارة مختلفة وإعدادات CVD
المواصفات الفنية
نموذج الفرن | KT-CTF16-60 |
الأعلى. درجة حرارة | 1600 |
درجة حرارة عمل ثابتة | 1550 |
مادة أنبوب الفرن | أنبوب Al2O3 عالي النقاء |
قطر أنبوب الفرن | 60 ملم |
منطقة التدفئة | 3x300 ملم |
مادة الغرفة | ألياف الألومينا الكريستالات |
عنصر التسخين | كربيد السيليكون |
معدل التسخين | 0-10 ℃ / دقيقة |
زوجان حراريان | نوع S. |
تحكم في درجة الحرارة | جهاز تحكم رقمي PID / جهاز تحكم PID بشاشة تعمل باللمس |
دقة التحكم في درجة الحرارة | ± 1 |
وحدة تحكم دقيقة بالغاز | |
عداد التدفق | مقياس تدفق الكتلة MFC |
قنوات الغاز | 3 قنوات |
معدل المد و الجزر | MFC1: 0-5SCCM O2.0 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0-100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
الخطية | ± 0.5٪ FS |
التكرار | ± 0.2٪ FS |
خط الأنابيب والصمام | ستانلس ستيل |
أقصى ضغط تشغيل | 0.45 ميجا باسكال |
تحكم مقياس التدفق | جهاز تحكم رقمي بمقبض / جهاز تحكم بشاشة تعمل باللمس |
وحدة تفريغ قياسية (اختيارية) | |
مضخة فراغ | مضخة فراغ دوارة دوارة |
معدل تدفق المضخة | 4 لتر / S. |
منفذ شفط فراغ | KF25 |
مقياس الفراغ | مقياس فراغ بيراني / مقاومة السيليكون |
ضغط الفراغ المقدر | 10 باسكال |
وحدة تفريغ عالية (اختياري) | |
مضخة فراغ | مضخة دوارة دوارة + مضخة جزيئية |
معدل تدفق المضخة | 4 لتر / ثانية + 110 لتر / ثانية |
منفذ شفط فراغ | KF25 |
مقياس الفراغ | مقياس الفراغ المركب |
ضغط الفراغ المقدر | 6x10-5Pa |
يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات أعلاه |