تعد المسافة المستهدفة للركيزة المستهدفة من أجل الرش بالمبخرة معلمة حاسمة تؤثر على توحيد وجودة ترسيب الأغشية الرقيقة.
وتختلف المسافة المثلى اعتمادًا على نظام الاخرق المحدد وخصائص الفيلم المطلوبة.
بشكل عام، تعتبر المسافة التي تبلغ حوالي 4 بوصات (حوالي 100 مم) مثالية للإستخدام في عملية الرش البؤري المتحد البؤر لتحقيق التوازن بين معدل الترسيب والتوحيد.
ما هي المسافة المستهدفة للركيزة من أجل الاخرق؟ (4 عوامل رئيسية يجب مراعاتها)
1. التوحيد ومعدل الترسيب
في عملية الاخرق متحد البؤر، تؤثر المسافة بين المهبط (الهدف) والركيزة (م) بشكل كبير على معدل الترسيب وتوحيد الطبقة الرقيقة.
تزيد المسافة الأقصر من معدل الترسيب ولكن يمكن أن تؤدي إلى عدم انتظام أعلى.
وعلى العكس من ذلك، قد تؤدي المسافة الأطول إلى تحسين التوحيد ولكن على حساب انخفاض معدل الترسيب.
يتم اختيار المسافة المثالية التي تبلغ حوالي 4 بوصات (100 مم) لتحقيق التوازن بين هذه العوامل المتنافسة.
2. تكوين النظام
يحدد تكوين نظام الاخرق أيضًا المسافة المثلى بين الهدف والركيزة.
بالنسبة لأنظمة الاخرق المباشر، حيث يتم وضع الركيزة أمام الهدف مباشرة، يجب أن يكون قطر الهدف أكبر بنسبة 20% إلى 30% من الركيزة لتحقيق التوحيد المعقول.
هذا الإعداد مهم بشكل خاص في التطبيقات التي تتطلب معدلات ترسيب عالية أو التعامل مع ركائز كبيرة.
3. معلمات الاخرق
تتفاعل المسافة بين الهدف والركيزة مع معلمات الرش الأخرى مثل ضغط الغاز وكثافة الطاقة المستهدفة ودرجة حرارة الركيزة.
يجب تحسين هذه المعلمات معًا لتحقيق جودة الفيلم المطلوبة.
على سبيل المثال، يؤثر ضغط الغاز على مستوى التأين وكثافة البلازما، والتي بدورها تؤثر على طاقة الذرات المنبثقة وتوحيد الترسيب.
4. الملاحظات التجريبية
من المرجع المقدم، عندما تتحرك الركيزة نحو الهدف وتتغير المسافة من 30 مم إلى 80 مم، تنخفض النسبة المئوية للطول الموحد.
وهذا يشير إلى أن سمك الطبقة الرقيقة يزداد مع انخفاض المسافة بين الهدف والركيزة.
وتدعم هذه الملاحظة الحاجة إلى التحكم الدقيق في المسافة بين الهدف والركيزة للحفاظ على ترسيب طبقة رقيقة موحدة.
وخلاصة القول، تعد المسافة بين الهدف والركيزة في عملية الرش بالرش معلمة حاسمة يجب التحكم فيها بعناية لضمان التوحيد المطلوب وجودة الأغشية الرقيقة.
يتم اختيار المسافة المثلى، التي عادةً ما تكون حوالي 100 مم، بناءً على المتطلبات المحددة لنظام الرش الرقيق والتطبيق، مع تحقيق التوازن بين معدل الترسيب وتوحيد الفيلم.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف الدقة والتحكم في عمليات الاخرق التي تستحقها عمليات الاخرق الخاصة بك معمعدات الاخرق المتقدمة من KINTEK SOLUTION.
صُممت أنظمتنا المتطورة لتحسين المسافات بين الهدف والركيزة، مما يضمن توحيداً لا مثيل له للأغشية الرقيقة وجودة الترسيب.
ثق بخبرتنا لرفع أداء مختبرك وتحقيق نتائج متسقة وعالية الجودة مع كل مشروع.
اتصل ب KINTEK SOLUTION اليوم لاستكشاف كيف يمكن لحلولنا أن تُحدث ثورة في تطبيقاتك في مجال الاخرق!
