تعد المسافة المستهدفة للركيزة المستهدفة للترسيب بالرش هي معلمة حاسمة تؤثر على توحيد وجودة ترسيب الأغشية الرقيقة. وتختلف المسافة المثلى اعتمادًا على نظام الاخرق المحدد وخصائص الفيلم المرغوب فيه، ولكن بشكل عام، تعتبر المسافة التي تبلغ حوالي 4 بوصات (حوالي 100 مم) مثالية للاخرق البؤري المتحد البؤري لتحقيق التوازن بين معدل الترسيب والتوحيد.
الشرح:
-
التوحيد ومعدل الترسيب: في الاخرق متحد البؤر، تؤثر المسافة بين الكاثود (الهدف) والركيزة (م) بشكل كبير على معدل الترسيب وتوحيد الطبقة الرقيقة. تزيد المسافة الأقصر من معدل الترسيب ولكن يمكن أن تؤدي إلى عدم انتظام أعلى. وعلى العكس من ذلك، قد تؤدي المسافة الأطول إلى تحسين التوحيد ولكن على حساب انخفاض معدل الترسيب. يتم اختيار المسافة المثالية التي تبلغ حوالي 4 بوصات (100 مم) لتحقيق التوازن بين هذه العوامل المتنافسة.
-
تكوين النظام: يحدد تكوين نظام الاخرق أيضًا المسافة المثلى بين الهدف والركيزة. بالنسبة لأنظمة الاخرق المباشر، حيث يتم وضع الركيزة أمام الهدف مباشرة، يجب أن يكون قطر الهدف أكبر بنسبة 20% إلى 30% من الركيزة لتحقيق التوحيد المعقول. هذا الإعداد مهم بشكل خاص في التطبيقات التي تتطلب معدلات ترسيب عالية أو التعامل مع ركائز كبيرة.
-
معلمات الاخرق: تتفاعل المسافة بين الهدف والركيزة مع معلمات الاخرق الأخرى مثل ضغط الغاز وكثافة الطاقة المستهدفة ودرجة حرارة الركيزة. يجب تحسين هذه المعلمات معًا لتحقيق جودة الفيلم المطلوبة. على سبيل المثال، يؤثر ضغط الغاز على مستوى التأين وكثافة البلازما، والتي بدورها تؤثر على طاقة الذرات المنبثقة وتوحيد الترسيب.
-
الملاحظات التجريبية: من المرجعية المقدمة، عندما تتحرك الركيزة نحو الهدف وتتغير المسافة من 30 مم إلى 80 مم، تنخفض النسبة المئوية للطول الموحد، مما يشير إلى أن سمك الطبقة الرقيقة يزداد مع انخفاض المسافة بين الهدف والركيزة. وتدعم هذه الملاحظة الحاجة إلى التحكم الدقيق في المسافة بين الهدف والركيزة للحفاظ على ترسيب طبقة رقيقة موحدة.
وباختصار، فإن المسافة بين الهدف والركيزة في عملية الرش بالرشاش هي معلمة حاسمة يجب التحكم فيها بعناية لضمان التوحيد المطلوب وجودة الأغشية الرقيقة. يتم اختيار المسافة المثلى، التي عادةً ما تكون حوالي 100 مم، بناءً على المتطلبات المحددة لنظام الرش بالمبخرة والتطبيق، مع تحقيق التوازن بين معدل الترسيب وتوحيد الفيلم.
اكتشف الدقة والتحكم في عمليات الاخرق التي تستحقها مع معدات الاخرق المتقدمة من KINTEK SOLUTION. صُممت أنظمتنا المتطورة لتحسين المسافات بين الهدف والركيزة، مما يضمن تجانساً لا مثيل له في الأغشية الرقيقة وجودة الترسيب. ثق بخبرتنا لرفع أداء مختبرك وتحقيق نتائج متسقة وعالية الجودة مع كل مشروع. اتصل بشركة KINTEK SOLUTION اليوم لاستكشاف كيف يمكن لحلولنا أن تحدث ثورة في تطبيقات الرش الرقاقة لديك!
