عادةً ما يكون مستوى التفريغ المطلوب لمبخر الحزمة الإلكترونية أقل من 10^-5 تور.
هذا التفريغ العالي ضروري لضمان متوسط مسار حر طويل للذرات المتبخرة.
ويتراوح الضغط الأساسي من 10^-7 إلى 10^-5 ملي بار حسب نوعية الطبقة التي يتم ترسيبها.
ما هو مستوى تفريغ المبخر بالحزمة الإلكترونية؟ (شرح 5 نقاط رئيسية)
1. متوسط المسار الحر والضغط
متوسط المسار الحر هو متوسط المسافة التي يمكن أن يقطعها الجسيم قبل الاصطدام بجسيم آخر.
في مبخر الشعاع الإلكتروني، يجب أن يكون الضغط منخفضًا بما فيه الكفاية (عادةً حوالي 3.0 × 10^-^4 تور أو أقل) لضمان أن يكون متوسط المسار الحر أطول من المسافة بين مصدر شعاع الإلكترون والركيزة.
وهذا يمنع التصادمات التي يمكن أن تغير اتجاه أو طاقة الذرات المتبخرة.
2. متطلبات الفراغ العالي
يعد التفريغ العالي (أقل من 10^-5 تور) أمرًا حاسمًا في تبخير الحزمة الإلكترونية لتقليل تفاعل ذرات المصدر مع ذرات الغاز في الخلفية.
وتعد بيئة التفريغ العالية هذه ضرورية لتحقيق معدلات ترسيب معقولة وللتبخير الناجح للمواد التي تتطلب درجات حرارة عالية، مثل المعادن المقاومة للحرارة.
3. التبخر وضغط البخار
يجب أن يكون ضغط بخار المادة المصدر حوالي 10 mTorr للتبخير الفعال.
هذا الشرط يجعل من الصعب تبخير مواد معينة باستخدام التبخير الحراري وحده، مما يستلزم استخدام التبخير بالحزمة الإلكترونية لمواد مثل البلاتين التي تتطلب درجات حرارة أعلى من 2000 درجة مئوية.
4. جودة الطبقات المترسبة
يؤثر الضغط الأساسي في غرفة التفريغ (10^-7 إلى 10^-5 ملي بار) بشكل مباشر على جودة الطبقات المترسبة.
ويضمن الضغط المنخفض وصول الذرات المتبخرة إلى الركيزة دون أن تتشتت مما يؤدي إلى طبقة أكثر ثباتًا وتجانسًا.
بالإضافة إلى ذلك، تساعد بيئة التفريغ النظيفة الذرات المتبخرة على الالتصاق بشكل أفضل بالركيزة، مما يمنع تكوين طبقات غير مستقرة.
5. الاعتبارات التشغيلية
يعمل المبخر بالحزمة الإلكترونية عن طريق صهر المادة المصدرية باستخدام حزمة إلكترونات، والتي يمكن التحكم فيها عن طريق تغيير طاقة الحزمة.
ويساعد استخدام البوتقات المبردة بالماء على منع تلوث الأغشية بواسطة مادة البوتقة المتبخرة.
يتم التحكم في شعاع الإلكترون بواسطة مغناطيسات للحفاظ على درجة حرارة متجانسة للمادة المنصهرة، مما يحسن من استخدامها.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
أطلق العنان لجودة ترسيب المواد التي لا مثيل لها مع مبخرات KINTEK SOLUTION الدقيقة ذات الشعاع الإلكتروني.
تضمن تقنيتنا المتطورة مستويات تفريغ منخفضة للغاية، وهي ضرورية لمسارات حرة متوسطة طويلة وتوحيد فائق للطبقات.
لا ترضى بالنتائج دون المستوى الأمثل - ارتقِ بأبحاثك من خلال التزام KINTEK SOLUTION بأداء التفريغ العالي وسلامة المواد.
اتصل بنا اليوم وارتقِ بعلم المواد الخاص بك إلى آفاق جديدة!
