يشير تيار التبخير بالشعاع الإلكتروني إلى تيار الحزمة الإلكترونية المستخدم في عملية تبخير المواد في بيئة تفريغ الهواء. ويقاس هذا التيار عادةً بوحدة الأمبير (A) وهو معلمة حاسمة تحدد القدرة التي يتم توصيلها إلى المادة التي يتم تبخيرها. في سياق المراجع المقدمة، توصف حزمة الإلكترونات بأنها موجهة مغناطيسيًا إلى بوتقة تحتوي على المادة المراد تبخيرها. تعمل الحزمة بجهد عالٍ، عادةً ما يكون حوالي 10 كيلو فولت، وحتى تيار صغير يبلغ 0.1 أمبير يمكن أن يوفر طاقة كبيرة تبلغ 1 كيلو وات، مما يؤدي إلى تسخين المادة بشكل فعال.
ويعتبر تيار شعاع الإلكترون بالغ الأهمية لأنه يؤثر بشكل مباشر على معدل الترسيب وجودة الفيلم المنتج. يمكن أن تؤدي التيارات الأعلى إلى معدلات ترسيب أعلى، والتي تتراوح من 0.1 نانومتر في الدقيقة إلى 100 نانومتر في الدقيقة، اعتمادًا على الإعداد المحدد والمواد المستخدمة. ويُعد معدل الترسيب العالي هذا مفيدًا لتحقيق طلاءات عالية الكثافة مع زيادة الالتصاق بالركيزة.
وعلاوة على ذلك، تم تصميم عملية التبخير بالحزمة الإلكترونية لتركيز الطاقة على المادة المستهدفة، بدلاً من تسخين البوتقة أو غرفة التفريغ بالكامل. ولا يؤدي هذا التسخين الموضعي إلى تعزيز كفاءة استخدام المواد فحسب، بل يقلل أيضًا من خطر التلوث والضرر الحراري للركيزة. وتعد هذه العملية فعالة بشكل خاص للمواد ذات درجات انصهار عالية، مثل التنجستن والتنتالوم، والتي تتطلب طاقة كبيرة لتبخيرها.
باختصار، يعد تيار تبخير الحزمة الإلكترونية معلمة تشغيلية رئيسية تحدد قوة وكفاءة عملية التبخير. ومن خلال التحكم في تيار الشعاع الإلكتروني، يمكن للمصنعين تحسين معدلات الترسيب وضمان إنتاج أغشية عالية الجودة ونقية بأقل قدر من التلوث.
اكتشف كيف يمكن لأنظمة التبخير بالحزمة الإلكترونية الدقيقة من KINTEK SOLUTION أن تحدث ثورة في عمليات ترسيب المواد لديك! توفر تقنيتنا المتقدمة تحكمًا لا مثيل له في تيارات الحزمة الإلكترونية، مما يضمن توصيل الطاقة المثلى وطلاءات غشاء عالية الجودة. استفد من مزايا معدلات الترسيب الأسرع وتقليل مخاطر التلوث مع KINTEK SOLUTION - بوابتك إلى التقدم الفائق في علوم المواد.
