يستخدم التبخير بالشعاع الإلكتروني مجموعة واسعة من المواد بما في ذلك المعادن والسيراميك والمواد العازلة. يتم اختيار هذه المواد لنقاط انصهارها العالية وتستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مختلفة.
مواد التبخير:
- التبخير بالحزمة الإلكترونية مناسب بشكل خاص للمواد ذات درجات حرارة الانصهار العالية. ويشمل ذلك:المعادن التقليدية:
- الألومنيوم، والنحاس، والنيكل، والنيكل، والتيتانيوم، والقصدير، والكروم.المعادن الثمينة:
- الذهب، والفضة، والبلاتين.المعادن الحرارية:
- التنجستن والتنتالوم.مواد أخرى:
أكسيد القصدير الإنديوم وثاني أكسيد السيليكون وغيرها.
يتم اختيار هذه المواد بسبب قدرتها على تحمل درجات الحرارة العالية الناتجة عن شعاع الإلكترونات، والتي يمكن أن تصل إلى ما يزيد عن 2000 درجة مئوية. يسمح تعدد استخدامات التبخير بالحزمة الإلكترونية بترسيب هذه المواد على ركائز مختلفة.مواد الركيزة:
- يمكن أن تتنوع الركائز التي يتم ترسيب هذه المواد عليها بشكل كبير، بما في ذلك:
- الإلكترونيات: رقائق السيليكون والكوارتز والياقوت.
- السيراميك: نيتريد السيليكون.
الزجاج:
شائع في تطبيقات مثل الألواح الشمسية والزجاج المعماري.يعتمد اختيار الركيزة على التطبيق المقصود والخصائص المطلوبة للمنتج النهائي.
- التطبيقات ومكونات النظام:
- يُستخدم التبخير بالحزمة الإلكترونية في صناعات متعددة للتطبيقات التي تتطلب مقاومة درجات الحرارة العالية أو مقاومة التآكل والمواد الكيميائية أو خصائص بصرية محددة. تتضمن العملية عدة مكونات رئيسية:غرفة التفريغ:
- ضرورية للحفاظ على بيئة نظيفة ومنع تلوث المواد المتبخرة.مصدر شعاع الإلكترون:
عادةً ما تكون خيوط مصنوعة من التنجستن، يتم تسخينها لإطلاق الإلكترونات التي يتم تركيزها بعد ذلك في شعاع بواسطة المغناطيس.
البوتقة: يحمل مادة المصدر ويمكن أن يكون مصنوعًا من مواد مثل النحاس أو التنجستن أو السيراميك التقني، اعتمادًا على متطلبات درجة حرارة عملية التبخير.
تم تصميم هذا النظام للتعامل مع الإنتاج بكميات كبيرة، مما يجعله فعالاً لعمليات التصنيع في صناعات مثل الفضاء والسيارات والإلكترونيات.
العيوب:
