الاسبترنج هو عملية مدعومة بالتفريغ تنطوي على طرد الذرات من مادة مستهدفة صلبة، تعرف باسم هدف الاسبترنج، وترسيبها اللاحق على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة ذات خصائص محددة.
وتتم هذه العملية عن طريق قصف الهدف بواسطة الجسيمات النشطة، وعادةً ما تكون أيونات، والتي تتسبب في طرد ذرات الهدف من شبكة المادة إلى الحالة الغازية داخل غرفة الطلاء.
شرح 4 خطوات رئيسية
1. قصف الهدف
تبدأ عملية الاخرق بإدخال غاز خاضع للتحكم، عادة ما يكون الأرجون، في غرفة تفريغ الهواء.
يتم تطبيق مجال كهربائي لتأيين الغاز، مما يخلق بلازما.
ثم يتم تسريع جسيمات الغاز المتأين أو الأيونات بواسطة المجال الكهربائي نحو الهدف.
وعندما تصطدم هذه الأيونات بالهدف، فإنها تنقل الزخم إلى ذرات الهدف من خلال سلسلة من التصادمات غير المرنة جزئياً.
2. طرد ذرات الهدف
تتسبب كمية الحركة المنقولة من القصف الأيوني في ارتداد ذرات الهدف بطاقة كافية للتغلب على طاقة الارتباط السطحية للمادة المستهدفة.
وينتج عن ذلك طرد أو رش ذرات الهدف من شبكة المادة إلى الحالة الغازية داخل غرفة الطلاء.
ويُعرف متوسط عدد الذرات المقذوفة لكل أيون ساقط باسم ناتج الاصطرار، والذي يعتمد على عوامل مختلفة بما في ذلك زاوية سقوط الأيون والطاقة وكتلة الأيون وذرات الهدف.
3. الترسيب على الركيزة
تنتقل ذرات الهدف المقذوفة عبر غرفة التفريغ وتترسب على ركيزة.
يمكن أن تكون هذه الركيزة مصنوعة من مواد مختلفة مثل السيليكون أو الزجاج أو البلاستيك المقولب.
تنوي الذرات على الركيزة وتشكل طبقة رقيقة ذات خصائص مرغوبة مثل الانعكاسية أو المقاومة الكهربائية أو الأيونية أو غيرها من الخصائص المحددة.
يمكن تحسين العملية للتحكم في شكل الفيلم وتوجهات الحبيبات وأحجام الحبيبات وكثافتها.
4. التطبيقات والأهمية
يُعد الرش الرذاذ تقنية حاسمة في تصنيع أشباه الموصلات ومحركات الأقراص والأقراص المدمجة والأجهزة البصرية.
فهي تسمح بالترسيب الدقيق للأغشية الرقيقة على المستوى الذري، مما يتيح إنشاء واجهات نقية بين المواد.
هذه العملية متعددة الاستخدامات ويمكن تكييفها مع الاحتياجات الصناعية المختلفة من خلال تعديل معلمات عملية الرش.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف قدرات KINTEK SOLUTION المتطورة لتلبية احتياجاتك من ترسيب الأغشية الرقيقة.
تم تصميم أنظمة الاخرق المتقدمة لدينا لتوفير التحكم الدقيق وتعدد الاستخدامات، مما يتيح إنشاء أغشية رقيقة عالية الأداء لعدد لا يحصى من التطبيقات في صناعات أشباه الموصلات والبصريات ومحركات الأقراص.
ارتقِ بأبحاثك وتطويرك من خلال معداتنا المتطورة، مما يضمن دقة على المستوى الذري لركائزك.
استثمر في الابتكار مع KINTEK SOLUTION اليوم!
