يمكن قياس سُمك الطبقة الرقيقة المودعة أثناء التبخير باستخدام طرق ميكانيكية مثل قياس سمك القلم وقياس التداخل. وتعتمد هذه الأساليب على وجود أخدود أو خطوة بين سطح الفيلم والركيزة، والتي يتم إنشاؤها إما عن طريق إخفاء أجزاء من الركيزة أو عن طريق إزالة أجزاء من الفيلم المترسب. يتم قياس سُمك الفيلم في نقاط محددة، ويُعد تجانس الفيلم أمرًا بالغ الأهمية لإجراء قياسات دقيقة.
قياس الملامح بالملامس:
يتضمن قياس الملامح باستخدام القلم الذي يتحرك على سطح الفيلم. يكتشف القلم الحركة الرأسية عند مواجهته للأخدود أو الدرجة، والتي تتوافق مع سُمك الفيلم. هذه الطريقة بسيطة نسبيًا ويمكنها توفير مقاطع جانبية مفصلة للسطح، ولكنها تتطلب تلامسًا ماديًا مع الفيلم، مما قد يؤدي إلى تلف الأسطح الحساسة.قياس التداخل:
من ناحية أخرى، يستخدم قياس التداخل الموجات الضوئية لقياس السُمك. عندما ينعكس الضوء عن الفيلم والركيزة، تنشأ أنماط تداخل بسبب الاختلاف في أطوال المسارات البصرية. ويمكن تحليل هذه الأهداب المتداخلة لتحديد سُمك الفيلم. وتتطلب هذه الطريقة سطحًا عاكسًا للغاية وهي طريقة غير غازية، مما يجعلها مناسبة للأفلام الحساسة. ومع ذلك، يمكن أن يكون تفسير أنماط التداخل أكثر تعقيدًا مقارنةً بقياس الملامح بالقلم.كلتا الطريقتين فعّالتان ولكن لهما قيود تعتمد على تجانس الفيلم ووجود أخدود أو خطوة مناسبة. ويعتمد الاختيار بين هاتين الطريقتين على المتطلبات المحددة للفيلم، مثل حساسيته للتلامس المادي والحاجة إلى اختبار غير مدمر.
التحسين والاعتبارات:
تتأثر دقة هذه القياسات بعدة عوامل، بما في ذلك نقاء الفيلم المترسب، والذي يعتمد على جودة التفريغ ونقاء المادة المصدر. يمكن أن تؤدي معدلات الترسيب الأعلى تحت ضغط تفريغ معين إلى نقاء أعلى للفيلم من خلال تقليل إدراج الشوائب الغازية. يمكن أن تؤثر هندسة حجرة التبخير والتصادمات مع الغازات المتبقية على توحيد سمك الفيلم.
