يوجد في المقام الأول نوعان من تقنيات الاخرق: الاخرق بالحزمة الأيونية والخرق المغنطروني. ولكل طريقة خصائص وتطبيقات متميزة.
1. الرش بالحزمة الأيونية:
في هذه التقنية، يتم توجيه شعاع أيوني نحو سطح المادة المراد تبخيرها. ويتسبب المجال الكهربائي العالي المصاحب للحزمة الأيونية في تأين غازات بخار المعدن. وبعد التأين، يؤدي نقل الزخم إلى توجيه هذه الأيونات نحو الهدف أو الجزء المطلوب ترسيبه. تُستخدم هذه الطريقة بشكل شائع في تطبيقات التصنيع، خاصة في الصناعة الطبية لإنتاج المنتجات المعملية والأغشية البصرية.2. الاخرق المغنطروني:
ينطوي رش المغنطرون على استخدام المغنطرون المغنطروني، وهو نوع من الكاثود الذي يولد بلازما في بيئة غازية منخفضة الضغط. يتم إنشاء هذه البلازما بالقرب من المادة المستهدفة، والتي عادة ما تكون مصنوعة من المعدن أو السيراميك. تتسبب البلازما في تصادم أيونات الغاز مع هدف الاخرق مما يؤدي إلى إزاحة الذرات من السطح وقذفها إلى المرحلة الغازية. يعمل المجال المغناطيسي الناتج عن مجموعة المغناطيس على تعزيز معدل الرش بالمغناطيس ويضمن ترسيباً أكثر اتساقاً للمادة المرشوشة على الركيزة. وتستخدم هذه التقنية على نطاق واسع لترسيب الأغشية الرقيقة من المعادن والأكاسيد والسبائك على ركائز مختلفة، مما يجعلها صديقة للبيئة ومتعددة الاستخدامات للتطبيقات في أشباه الموصلات والأجهزة البصرية وعلوم النانو.
