الاسبترنج هو عملية تستخدم لترسيب أغشية رقيقة من المواد على الركائز عن طريق قذف الذرات من مادة مستهدفة صلبة من خلال القصف بالأيونات النشطة. وتتضمن العملية عدة خطوات، بما في ذلك وضع المادة المستهدفة في غرفة تفريغ، وإدخال غاز معالجة، وتطبيق جهد كهربائي لتكوين بلازما، وقذف ذرات الهدف على الركيزة.
ملخص الإجابة:
يعمل الاخرق عن طريق وضع مادة الهدف في حجرة تفريغ الهواء، وردم الحجرة بغاز معالجة، وتطبيق جهد كهربائي لتكوين بلازما، وقصف الهدف بأيونات نشطة لقذف الذرات التي يتم ترسيبها بعد ذلك على الركيزة.
-
الشرح التفصيلي:تحضير المادة المستهدفة:
-
يتم وضع مادة الطلاء، في شكلها الصلب، على المغنطرون الذي يعمل بمثابة الكاثود في نظام الاخرق. يجب أن تكون المادة نقية للحصول على طلاءات عالية الجودة، ويجب أن تكون البيئة نظيفة.
-
تفريغ غرفة التفريغ:
-
يتم تفريغ الحجرة لإزالة جميع الجزيئات تقريبًا، مما يخلق فراغًا. وتعد هذه الخطوة ضرورية لمنع التلوث وضمان حدوث عملية الاخرق في بيئة خاضعة للرقابة.إدخال غاز المعالجة:
-
يتم ردم الحجرة بغاز معالجة، عادةً ما يكون الأرجون أو الأكسجين أو النيتروجين، اعتمادًا على المادة المراد ترسيبها. يتم تأين الغاز في الخطوة التالية لإنشاء البلازما اللازمة لعملية الاخرق.
-
إنشاء البلازما:
-
يتم تطبيق جهد كهربائي على المادة المستهدفة، مما يجعلها سالبة الشحنة. ويعمل جسم الحجرة كأنود موجب. هذا الإعداد الكهربائي يؤين غاز المعالجة، مما يخلق بلازما تحتوي على أيونات نشطة.القصف والرش:
يتم تسريع الأيونات النشطة في البلازما نحو المادة المستهدفة سالبة الشحنة. عندما تصطدم هذه الأيونات بالهدف، فإنها تنقل الطاقة، مما يتسبب في طرد الذرات من الهدف. وتعرف هذه العملية باسم الاخرق.
ترسيب المواد:
