فريق التقنية · Kintek Solution

الرذاذ التفاعلي هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة متعددة الاستخدامات مع تطبيقات في مختلف الصناعات، بما في ذلك الإلكترونيات والبصريات والطاقة والطلاءات الزخرفية. وهي تنطوي على استخدام غاز تفاعلي يتفاعل كيميائياً مع الذرات المرشوشة لتشكيل طبقة مركبة على الركيزة.

ملخص التطبيقات:

1. صناعة الإلكترونيات وأشباه الموصلات: يُستخدم الرش التفاعلي على نطاق واسع في ترسيب الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات والمقاومات والعوازل. وهو أمر بالغ الأهمية في إنتاج الأقراص الصلبة للكمبيوتر والدوائر المتكاملة.
2. الطلاءات الضوئية: تُستخدم هذه التقنية لإنشاء طلاءات رقيقة مضادة للانعكاس على الزجاج للتطبيقات البصرية، مما يعزز أداء العدسات والمكونات البصرية الأخرى.
3. تطبيقات الطاقة: تلعب هذه التقنية دورًا مهمًا في تصنيع الألواح الشمسية وطلاء شفرات التوربينات الغازية، مما يساهم في حلول الطاقة المتجددة.
4. الطلاءات الزخرفية والوظيفية: يُستخدم الاخرق التفاعلي لأغراض الديكور، مثل طلاء الزجاج المعماري والمجوهرات، ولأغراض وظيفية مثل طلاء لقم الأدوات باستخدام مواد مثل نيتريد التيتانيوم.

شرح تفصيلي:

1. صناعة الإلكترونيات وأشباه الموصلات:

   • الأقراص الصلبة: يُعتبر الاخرق التفاعلي محورياً في إنتاج الأقراص الصلبة للكمبيوتر، حيث يتم ترسيب مواد مثل CrOx التي تعزز أداء ومتانة الأقراص.
   • الدوائر المتكاملة: في صناعة أشباه الموصلات، يُستخدم الاخرق التفاعلي لترسيب الأغشية الرقيقة من المواد المختلفة اللازمة للمعالجة المعقدة للدوائر المتكاملة. ويشمل ذلك ترسيب المعادن الملامسة لترانزستورات الأغشية الرقيقة، وهو ما يسهله انخفاض درجات حرارة الركيزة المستخدمة في الرش.

2. الطلاءات البصرية:

   • الطلاءات المضادة للانعكاس: هذه الطلاءات ضرورية لتحسين انتقال الضوء عبر الأسطح الزجاجية في تطبيقات تتراوح بين البصريات الدقيقة وعدسات الليزر. يسمح الاخرق التفاعلي بالترسيب الدقيق لهذه الطلاءات التي غالباً ما تكون متعددة الطبقات ومعقدة.

3. تطبيقات الطاقة:

   • الألواح الشمسية: يتم تعزيز ترسيب المواد في الألواح الشمسية عن طريق الرش التفاعلي، مما يساعد في إنشاء خلايا كهروضوئية فعالة. وهذا أمر بالغ الأهمية لتحسين معدلات تحويل الطاقة في الألواح الشمسية.
   • طلاء شفرات التوربينات الغازية: صُممت هذه الطلاءات لتتحمل درجات الحرارة العالية والبيئات المسببة للتآكل، ويُعد الطلاء بالرش التفاعلي طريقة فعالة لترسيب هذه الطبقات الواقية.

4. الطلاءات الزخرفية والوظيفية:

   • تطبيقات الديكور: يُستخدم الاخرق التفاعلي لتعزيز المظهر الجمالي لمختلف المنتجات، من الزجاج المعماري إلى المجوهرات. تسمح هذه التقنية بترسيب أغشية رقيقة يمكنها تغيير لون المواد ومظهرها.
   • الطلاءات الوظيفية: في صناعات مثل تصنيع الأدوات، يُستخدم الاخرق التفاعلي لترسيب الطلاءات الصلبة المقاومة للتآكل مثل نيتريد التيتانيوم. لا تعمل هذه الطلاءات على تحسين متانة الأدوات فحسب، بل تمنحها أيضًا لونًا ذهبيًا مميزًا.

التصحيح والمراجعة:

يشير المرجع إلى أن "الغاز التفاعلي له شحنة موجبة"، وهو أمر غير دقيق في سياق الاخرق التفاعلي. فالغاز التفاعلي نفسه ليس له شحنة موجبة؛ بل يصبح متأينًا في بيئة البلازما ويمكنه بعد ذلك التفاعل مع المادة المبخوقة. وهذا التصحيح مهم للحفاظ على دقة وصف عملية الرش التفاعلي.