هناك عدة أنواع من تقنيات الاخرق المغنطروني المغنطروني، يتميز كل منها بنوع مصدر الطاقة المستخدم والظروف المحددة التي يحدث فيها الاخرق. تشمل الأنواع الأكثر شيوعًا رش المغنطرون المغنطروني بالتيار المباشر (DC) والرش المغنطروني بالتيار المستمر النابض والرش المغنطروني بالترددات الراديوية (RF).
رش المغنطرون المغنطروني بالتيار المباشر (DC)
في هذه الطريقة، يتم استخدام مصدر طاقة تيار مباشر لتوليد بلازما في بيئة غازية منخفضة الضغط. يتم تشكيل البلازما بالقرب من المادة المستهدفة، والتي عادة ما تكون مصنوعة من المعدن أو السيراميك. وتتسبب البلازما في تصادم أيونات الغاز مع الهدف، مما يؤدي إلى قذف الذرات في المرحلة الغازية. ويعمل المجال المغناطيسي الناتج عن مجموعة المغناطيس على تعزيز معدل الرش بالمغناطيس ويضمن ترسيباً منتظماً للمادة المرشوشة على الركيزة. ويمكن حساب معدل الرش باستخدام معادلة محددة تأخذ في الاعتبار عوامل مثل كثافة تدفق الأيونات، وعدد ذرات الهدف لكل وحدة حجم، والوزن الذري للمادة المستهدفة، والمسافة بين الهدف والركيزة.الاخرق المغنطروني النبضي بالتيار المستمر المغنطروني
تستخدم هذه التقنية مزود طاقة تيار مباشر نابض مع نطاق تردد متغير يتراوح عادة من 40 إلى 200 كيلوهرتز. وتُستخدم على نطاق واسع في تطبيقات الاخرق التفاعلي وتأتي في شكلين شائعين: الاخرق النبضي أحادي القطب والخرق النبضي ثنائي القطب. في هذه العملية، تتصادم الأيونات الموجبة مع المادة المستهدفة، مما يتسبب في تراكم شحنة موجبة على سطحها، مما يقلل من جذب الأيونات الموجبة إلى الهدف. هذه الطريقة فعالة بشكل خاص في إدارة تراكم الشحنة الموجبة على الهدف، والتي يمكن أن تعيق عملية الاخرق.
الاخرق المغنطروني بالترددات الراديوية (RF)
