تتمحور عيوب الرش بالحزمة الأيونية (IBS) في المقام الأول حول محدوديتها في تحقيق ترسيب موحد على مساحة كبيرة، وارتفاع تعقيد المعدات وتكاليف التشغيل، والتحديات في تكامل العملية من أجل هيكلة دقيقة للفيلم.
1. المساحة المستهدفة المحدودة ومعدل الترسيب المنخفض:
يتميز رش الحزمة الأيونية بمساحة مستهدفة صغيرة نسبيًا للقصف. ويؤثر هذا القيد بشكل مباشر على معدل الترسيب، وهو أقل بشكل عام مقارنة بتقنيات الترسيب الأخرى. وتعني المساحة المستهدفة الصغيرة أنه بالنسبة للأسطح الكبيرة، فإن تحقيق سماكة موحدة للفيلم يمثل تحديًا. وحتى مع وجود تطورات مثل الرش بالحزمة الأيونية المزدوجة، لا تزال مشكلة عدم كفاية مساحة الهدف قائمة، مما يؤدي إلى عدم التناسق وانخفاض الإنتاجية.2. التعقيد وارتفاع تكاليف التشغيل:
المعدات المستخدمة في رش الحزمة الأيونية معقدة بشكل ملحوظ. ولا يؤدي هذا التعقيد إلى زيادة الاستثمار الأولي المطلوب لإعداد النظام فحسب، بل يؤدي أيضًا إلى ارتفاع تكاليف التشغيل. يمكن لمتطلبات الإعداد والصيانة المعقدة أن تجعل من نظام الرش بالحزمة الأيونية خيارًا أقل جدوى من الناحية الاقتصادية للعديد من التطبيقات، خاصة عند مقارنته بطرق ترسيب أبسط وأكثر فعالية من حيث التكلفة.
3. صعوبة تكامل العملية من أجل هيكلة دقيقة للأفلام:
تواجه IBS تحديات عندما يتعلق الأمر بدمج عمليات مثل الرفع من أجل هيكلة الفيلم. فالطبيعة المنتشرة لعملية الرفع بالرش يجعل من الصعب تحقيق التظليل الكامل، وهو أمر ضروري لحصر ترسيب الذرات في مناطق محددة. وهذا العجز عن التحكم الكامل في مكان ترسب الذرات يمكن أن يؤدي إلى مشاكل تلوث وصعوبات في تحقيق أفلام دقيقة ومنقوشة. بالإضافة إلى ذلك، يعد التحكم النشط لنمو طبقة تلو الأخرى أكثر صعوبة في الترسيب المتداخل الطبقات مقارنة بتقنيات مثل الترسيب النبضي بالليزر، حيث يمكن التحكم في دور الأيونات المنبثقة والمنبثة بسهولة أكبر.
4. إدراج الشوائب:
