ويمكن تلخيص عيوب الترسيب الاخرق فيما يلي:
1) معدلات ترسيب منخفضة: بالمقارنة مع طرق الترسيب الأخرى مثل التبخر الحراري، تكون معدلات الترسيب أقل بشكل عام. وهذا يعني أن الأمر يستغرق وقتًا أطول لإيداع سمك الفيلم المطلوب.
2) الترسيب غير المنتظم: في العديد من التكوينات، يكون توزيع تدفق الترسيب غير منتظم. وهذا يتطلب تركيبًا متحركًا للحصول على أفلام ذات سماكة موحدة. ترسيب الاخرق غير مناسب لترسيب أفلام ذات مساحة كبيرة ذات سماكة موحدة.
3) الأهداف باهظة الثمن وسوء استخدام المواد: غالبًا ما تكون أهداف الرش باهظة الثمن، وقد لا يكون استخدام المواد أثناء عملية الترسيب فعالاً.
4) توليد الحرارة: معظم الطاقة الساقطة على الهدف أثناء الرش تصبح حرارة، ويجب إزالتها. وهذا يتطلب استخدام نظام التبريد، الذي يمكن أن يقلل من معدل الإنتاج ويزيد من تكاليف الطاقة.
5) تلوث الفيلم: في بعض الحالات، يمكن أن "تنشط" الملوثات الغازية في البلازما وتسبب تلوث الفيلم. يمكن أن يكون هذا أكثر إشكالية من التبخر الفراغي.
6) التحكم في ترسيب الرش التفاعلي: في ترسيب الرش التفاعلي، يجب التحكم في تركيبة الغاز بعناية لمنع تسمم هدف الرش.
7) صعوبة الدمج مع عملية الرفع: خاصية النقل المنتشر للرش تجعل من الصعب الدمج مع عملية الرفع لهيكلة الفيلم. هذا يمكن أن يؤدي إلى مشاكل التلوث.
8) الشوائب في الركيزة: الرش لديه ميل أكبر لإدخال الشوائب في الركيزة مقارنة بالترسيب عن طريق التبخر لأنه يعمل تحت نطاق فراغ أقل.
9) صعوبة التحكم الدقيق في سمك الفيلم: على الرغم من أن الرش يسمح بمعدلات ترسيب عالية دون حد للسمك، إلا أنه لا يسمح بالتحكم الدقيق في سمك الفيلم.
10) تحلل المواد الصلبة العضوية: تتحلل بعض المواد، مثل المواد الصلبة العضوية، بسهولة عن طريق القصف الأيوني أثناء عملية الرش.
بشكل عام، في حين أن الترسيب المتخرق له العديد من المزايا، بما في ذلك تكثيف الفيلم بشكل أفضل وسهولة التحكم في تكوين السبائك، إلا أن له أيضًا عيوبًا كبيرة، مثل معدلات الترسيب المنخفضة، والترسب غير الموحد، وتلوث الفيلم. ينبغي أخذ هذه العيوب في الاعتبار عند اختيار طريقة الترسيب لتطبيقات محددة.
هل تبحث عن بديل أفضل لترسب الاخرق؟ اختر KINTEK لمعدات المختبرات عالية الجودة والفعالة. قل وداعًا لمعدلات الترسيب المنخفضة والسماكة غير المنتظمة وتلوث الأفلام. تضمن تقنيتنا المتقدمة التحكم الدقيق في سماكة الفيلم وتزيل الحاجة إلى أهداف الرش الباهظة الثمن. مع KINTEK، ستستمتع بمعدلات إنتاج متزايدة وتكاليف طاقة منخفضة. لا تدع العيوب تعيقك - قم بترقية مختبرك باستخدام KINTEK اليوم!
