الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) هو تقنية تُستخدم لترسيب أغشية رقيقة من المواد على ركيزة من خلال التبخير الفيزيائي للمادة المصدر في ظروف التفريغ. وتنطوي العملية على ثلاث خطوات رئيسية: تغويز مادة الطلاء، ونقل البخار عبر منطقة منخفضة الضغط، وتكثيف البخار على الركيزة لتشكيل الطبقة الرقيقة. وتشمل طرق الطلاء بالبطاريات الفائقة الكثافة التبخير بالتفريغ والترسيب بالرش، والطلاء بالبلازما القوسية والطلاء بالأيونات وغيرها. وتُعرف هذه الطرق بسرعات ترسيبها السريع، والالتصاق القوي، والانحراف الجيد، ونطاق التطبيق الواسع. تُعد الطلاءات بالطباعة بالطباعة بالانبعاثات البيوفيديّة مفيدة بشكل خاص في التطبيقات التي تتطلب صلابة ومقاومة للتآكل، كما أنها صديقة للبيئة، مما يجعلها مناسبة للاستخدام في الغرسات الطبية والتطبيقات الحرجة الأخرى.
تغويز مادة الطلاء:
تتضمن الخطوة الأولى في عملية الطلاء بالطباعة بالانبعاثات الكهروضوئية تحويل المادة المراد ترسيبها إلى حالة بخار. ويمكن تحقيق ذلك من خلال طرق مختلفة مثل التبخير أو التسامي أو الاخرق. في التبخير، يتم تسخين المادة إلى درجة الغليان في الفراغ، مما يؤدي إلى تحولها إلى بخار. ينطوي التسامي على التحويل المباشر للمادة الصلبة إلى غاز دون المرور بالطور السائل. الاخرق، وهي طريقة أكثر استخدامًا، وهي إخراج الذرات من المادة من خلال تبادل الزخم عندما يتم قصفها بجسيمات عالية الطاقة.نقل البخار:
بمجرد أن تصبح المادة في حالة بخار، يجب نقلها إلى الركيزة. ويحدث هذا في بيئة منخفضة الضغط، عادةً داخل غرفة تفريغ، مما يقلل من التصادمات مع جزيئات الغاز الأخرى ويضمن مسارًا مباشرًا للبخار للوصول إلى الركيزة. يساعد الضغط المنخفض أيضًا في الحفاظ على نقاء البخار والتحكم في عملية الترسيب.
تكثيف البخار:
