الاخرق هو تقنية تستخدم لإنشاء أغشية رقيقة عن طريق إخراج المواد من هدف وترسيبها على ركيزة.
6 خطوات الاخرق
1. تفريغ غرفة الترسيب
تبدأ العملية بإخلاء حجرة الترسيب إلى ضغط منخفض للغاية، عادةً ما يكون حوالي 10^-6 تورتر.
هذه الخطوة ضرورية لإزالة أي ملوثات وتقليل الضغط الجزئي لغازات الخلفية.
2. إدخال غاز الاخرق
بعد تحقيق التفريغ المطلوب، يتم إدخال غاز خامل مثل الأرجون أو الزينون في الغرفة.
يعتمد اختيار الغاز على المتطلبات المحددة لعملية الاخرق والمواد التي يتم ترسيبها.
3. توليد البلازما
يتم تطبيق جهد بين قطبين كهربائيين في الغرفة لتوليد تفريغ متوهج، وهو نوع من البلازما.
هذه البلازما ضرورية لتأين غاز الاخرق.
4. تأين ذرات الغاز
داخل البلازما المتولدة، تتصادم الإلكترونات الحرة مع ذرات غاز الرشاش، مما يتسبب في فقدانها للإلكترونات وتصبح أيونات موجبة الشحنة.
وتعتبر عملية التأين هذه ضرورية لتسريع الأيونات فيما بعد.
5. تسارع الأيونات نحو الهدف
نتيجة للجهد المطبق، يتم تسريع هذه الأيونات الموجبة نحو المهبط (القطب السالب الشحنة)، وهو المادة المستهدفة.
وتكون الطاقة الحركية للأيونات كافية لإزاحة الذرات أو الجزيئات من المادة المستهدفة.
6. ترسيب المادة المبثوقة
تشكّل المادة المنبعثة من الهدف تيار بخار ينتقل عبر الحجرة ويرسب على الركيزة، مكوّناً طبقة رقيقة أو طلاء.
تستمر عملية الترسيب هذه حتى يتم تحقيق السماكة أو التغطية المطلوبة.
اعتبارات إضافية
تحضير ما قبل الترسيب
يتم تركيب الركيزة على حامل في حجرة قفل الحمل، والتي يتم الحفاظ عليها أيضًا في ظروف التفريغ.
يضمن هذا الإعداد خلو الركيزة من الملوثات عند دخولها إلى غرفة الترسيب.
الاخرق المغنطروني
في بعض أنظمة الاخرق يتم وضع مغناطيسات خلف المادة المستهدفة لحصر الإلكترونات في غاز الاخرق، مما يعزز عملية التأين ويحسن كفاءة الاخرق.
الرش بالحزمة الأيونية
يتضمن هذا البديل تركيز شعاع أيون-إلكترون مباشرة على الهدف لرش المواد على الركيزة، مما يوفر تحكماً أكثر دقة في عملية الترسيب.
يتم التحكم بدقة في كل خطوة من خطوات عملية الاخرق لضمان جودة وخصائص الطبقة الرقيقة المترسبة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اختبر الدقة والموثوقية في إنشاء الأغشية الرقيقة مع أنظمة الرش الرقيقة المتطورة من KINTEK SOLUTION.
تتحكم أجهزتنا المتطورة بدقة في كل خطوة من خطوات عملية الاخرق، بدءًا من تفريغ غرفة الترسيب إلى ترسيب المواد المرققة، مما يضمن جودة الفيلم والأداء الأمثل.
ثق في KINTEK SOLUTION لتلبية جميع احتياجاتك من ترسيب الأغشية الرقيقة، حيث يلتقي الابتكار مع الكفاءة. اكتشف فرق KINTEK وارتقِ بتطبيقاتك للأغشية الرقيقة اليوم!
