في الترسيب الكيميائي بالبخار الكيميائي (CVD)، تكون الركائز هي الأساس الذي يتم ترسيب الأغشية الرقيقة عليه.
وتكون هذه الركائز عادةً عبارة عن رقائق أو مواد صلبة أخرى.
وتنطوي العملية على تعريض هذه الركائز إلى سلائف متطايرة تتفاعل و/أو تتحلل على سطحها لتكوين الترسيب المطلوب.
شرح 5 نقاط رئيسية
1.تعريف الركائز في عملية التفريد القابل للتبريد باستخدام السيرة الذاتية
في سياق التفريغ القابل للقنوات CVD، تشير الركيزة إلى المادة الأساسية التي تحدث عليها عملية الترسيب.
وعادةً ما تكون هذه المادة عبارة عن رقاقة، وهي شريحة رقيقة من مادة شبه موصلة، مثل السيليكون، تُستخدم في الإلكترونيات والإلكترونيات الدقيقة.
2.أهمية مادة الركيزة
يعد اختيار مادة الركيزة أمرًا بالغ الأهمية حيث يجب أن تتحمل ظروف عملية التفريد بالقطع القابل للتحويل إلى رقاقة.
يمكن أن تتضمن هذه الظروف درجات حرارة عالية وبيئات تفاعلية كيميائية.
3.دور السلائف المتطايرة
أثناء عملية التفريد القابل للقطع CVD، يتم تعريض الركيزة لواحد أو أكثر من السلائف المتطايرة.
وعادةً ما تكون هذه السلائف في حالة غازية ويتم إدخالها في غرفة التفاعل حيث تتفاعل و/أو تتحلل عند ملامستها للركيزة المسخنة.
وينتج عن التفاعل ترسب طبقة رقيقة أو طلاء على سطح الركيزة.
4.أنواع المواد المترسبة
يمكن أن يتكوّن الفيلم من مواد مختلفة، بما في ذلك مركّبات السيليكون (مثل ثاني أكسيد السيليكون وكربيد السيليكون ونتريد السيليكون) ومواد الكربون (مثل الأنابيب النانوية الكربونية والجرافين) والمعادن (مثل التنغستن ونتريد التيتانيوم) ومختلف المواد العازلة عالية الكيل.
5.استخدام الغازات الخاملة
تنطوي عملية التفريغ القابل للذوبان CVD أيضًا على استخدام غازات خاملة مثل الأرجون أو الهيليوم.
وتستخدم هذه الغازات لنقل السلائف المتطايرة إلى غرفة التفاعل ولمنع التفاعلات السطحية غير المرغوب فيها، مثل الأكسدة، التي يمكن أن تؤدي إلى تدهور السلائف أو تؤثر على جودة الفيلم المترسب.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
ارفع من مستوى عمليات التفريغ القابل للسحب القابل للذوبان CVD الخاصة بك مع ركائز متميزة من KINTEK SOLUTION - الأساس لتشكيل الأغشية الرقيقة المتفوقة.
ثق في رقائقنا المنتقاة بدقة وموادنا الصلبة للتفاعل بسلاسة مع السلائف المتطايرة، مما يوفر رواسب لا مثيل لها ويضمن أعلى جودة في تطبيقاتك الإلكترونية والإلكترونية الدقيقة.
اجعل KINTEK SOLUTION شريكك في الترسيب الدقيق اليوم.
