هدف الرش الرذاذ هو مادة تستخدم في عملية الترسيب الرذاذي، وهي طريقة لتكوين أغشية رقيقة. يتم تجزئة الهدف، الذي يكون في البداية في حالة صلبة، بواسطة أيونات غازية إلى جسيمات صغيرة تشكل رذاذًا وتغطي الركيزة. وتعتبر هذه التقنية حاسمة في إنتاج أشباه الموصلات ورقائق الكمبيوتر، وعادة ما تكون الأهداف عبارة عن عناصر أو سبائك معدنية، على الرغم من أن الأهداف الخزفية تستخدم أيضاً لإنشاء طلاءات صلبة على الأدوات.
شرح مفصل:
-
وظيفة أهداف الاخرق:
-
تعمل أهداف الاخرق كمادة مصدر لترسيب الأغشية الرقيقة. وهي عادةً ما تكون أجسامًا معدنية أو خزفية يتم تشكيلها وتحديد حجمها وفقًا للمتطلبات المحددة لمعدات الاخرق. يتم اختيار مادة الهدف بناءً على الخصائص المرغوبة للغشاء الرقيق، مثل التوصيل أو الصلابة.عملية الاخرق:
-
تبدأ العملية بتفريغ الهواء من الغرفة لخلق بيئة تفريغ. ثم يتم إدخال غازات خاملة، مثل الأرجون، للحفاظ على ضغط غاز منخفض. وداخل الغرفة، يمكن استخدام مصفوفة مغناطيسية لتعزيز عملية الاخرق من خلال إنشاء مجال مغناطيسي. ويساعد هذا الإعداد في طرد الذرات بكفاءة من الهدف عندما تصطدم به الأيونات الموجبة.
-
ترسيب الأغشية الرقيقة:
تنتقل الذرات المنبثقة عبر الحجرة وتترسب على الركيزة. ويضمن الضغط المنخفض وطبيعة المادة المنبثقة أن يحدث الترسيب بشكل موحد، مما يؤدي إلى طبقة رقيقة ذات سمك متناسق. وهذا الاتساق أمر بالغ الأهمية لتطبيقات مثل أشباه الموصلات والطلاءات البصرية.
التطبيقات والتاريخ:
