الطلاء بالبلازما هو عملية تُستخدم لتطبيق طبقات رقيقة من المواد على ركيزة لتعزيز أو تعديل خصائصها. ويمكن لهذه التقنية إنشاء طبقات طلاءات ذات خصائص مختلفة، مثل المواد المحبة للماء والكارهة للماء والمضادة للانعكاس والعازلة والموصلة والمقاومة للتآكل. يعتمد الاختيار بين ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) وترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) على طبيعة الركيزة ونوع الطلاء المطلوب.
ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD):
يتضمن الترسيب بالبخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) استخدام البلازما لتعزيز التفاعلات الكيميائية اللازمة لترسيب الأغشية الرقيقة. هذه الطريقة متعددة الاستخدامات ويمكنها إنتاج طلاءات ذات خصائص محددة من خلال تعديل وسيط المعالجة. على سبيل المثال، يمكن أن تنتج طلاءات الكربون الشبيه بالماس (DLC)، وهي صديقة للبيئة وتوفر سطحًا صلبًا يشبه الماس. وتتضمن هذه العملية استخدام الهيدروكربونات (مزيج من الهيدروجين والكربون) التي، عند إدخالها في البلازما، تتفكك ثم تتحد من جديد على السطح لتكوين طبقة صلبة.الطلاء بالأيونات:
الطلاء بالأيونات هو تقنية تعتمد على البلازما تُستخدم لترسيب معادن مثل التيتانيوم والألومنيوم والنحاس والذهب والبلاديوم. تكون الطلاءات رقيقة، وتتراوح عادةً من 0.008 إلى 0.025 مم، وتوفر مزايا مثل تحسين الالتصاق، وتشطيب السطح، والتنظيف في الموقع للركيزة قبل الترسيب. ومع ذلك، فإنها تتطلب تحكمًا دقيقًا في معلمات المعالجة ويمكن أن تؤدي إلى مشاكل تلوث محتملة. وتشمل التطبيقات أنابيب الأشعة السينية وشفرات التوربينات والحماية من التآكل في المفاعلات النووية.
الزرع الأيوني والترسيب بالبلازما:
