الاخرق هو عملية تستخدم في الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). وهي تتضمن إخراج الذرات من مادة مستهدفة صلبة إلى المرحلة الغازية. ويتم ذلك عن طريق قصف الهدف بأيونات نشطة. ويستخدم الاخرق على نطاق واسع في ترسيب الأغشية الرقيقة وفي التقنيات التحليلية.
ما هو نظام الاخرق؟ - شرح 6 خطوات رئيسية
1. إعداد غرفة التفريغ
تبدأ العملية بوضع الركيزة التي تحتاج إلى طلاء داخل غرفة تفريغ الهواء. ثم يتم ملء هذه الغرفة بغاز خامل، عادة ما يكون الأرجون. لا يتفاعل الأرجون مع المواد المشاركة في العملية.
2. تأين الغاز
تكون المادة المستهدفة سالبة الشحنة، مما يجعلها مهبطاً. وتتسبب هذه الشحنة السالبة في تدفق الإلكترونات الحرة من المهبط. تتصادم هذه الإلكترونات الحرة مع ذرات غاز الأرجون، مما يؤدي إلى طرد الإلكترونات من ذرات الغاز وتأينها.
3. آلية الاخرق
تنجذب ذرات الغاز المؤيَّنة، التي أصبحت الآن موجبة الشحنة، نحو الهدف سالب الشحنة (المهبط). ويتم تسريعها بواسطة المجال الكهربائي. عندما تصطدم هذه الأيونات عالية الطاقة بالهدف، فإنها تزيح الذرات أو الجزيئات من سطح الهدف. تُعرف هذه العملية باسم الاخرق.
4. ترسيب الغشاء الرقيق
تشكل ذرات المادة المستهدفة المقذوفة تيار بخار ينتقل عبر الحجرة. وتترسب هذه الذرات على الركيزة مكونة طبقة رقيقة على الركيزة. يحدث هذا الترسيب على المستوى الذري.
5. أنواع أنظمة الاخرق
هناك عدة أنواع من أنظمة الرش بالمغناطيسية، بما في ذلك الرش بالحزمة الأيونية والرش بالديود والرش بالديود والرش بالمغناطيسية. يختلف كل نوع في كيفية توليد الأيونات وتوجيهها نحو الهدف. ومع ذلك، تظل آلية الاخرق الأساسية واحدة.
6. الاخراخ المغنطروني
في رش المغنطرون المغنطروني، يتم تطبيق جهد عالي عبر غاز منخفض الضغط لتوليد بلازما عالية الطاقة. وتصدر هذه البلازما تفريغاً متوهجاً يتكون من إلكترونات وأيونات غازية. وهذا يعزز عملية الاخرق عن طريق زيادة معدل تأين الغاز.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف دقةأنظمة KINTEK SOLUTION أنظمة الاخرق المتطورة. حيث يلتقي العلم بالابتكار! سواء أكنت تهدف إلى ترسيب غشاء رقيق لا مثيل له أو التميز التحليلي، فإن تقنياتنا المتقدمة للتقنية البفدي PVD مصممة للارتقاء بقدرات مختبرك.انضم إلى طليعة الأبحاث واستكشف مجموعتنا الشاملة من حلول الرش الضوئي اليوم. لأن نجاحك هو مهمتنا!
