فيلم الاخرق عبارة عن طبقة رقيقة من المواد التي تم إنشاؤها من خلال عملية تسمى الاخرق، والتي تنطوي على طرد الذرات من مادة مستهدفة صلبة بسبب قصفها بجسيمات عالية الطاقة، وعادة ما تكون أيونات غازية. ثم تترسب هذه المادة المقذوفة على ركيزة مكونة طبقة رقيقة.
ملخص فيلم الاخرق:
الاصطرار هو طريقة للترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) تُستخدم لإنشاء أغشية رقيقة. في هذه العملية، يتم قصف المادة المستهدفة بجسيمات عالية الطاقة، مما يؤدي إلى قذف الذرات من الهدف وترسيبها بعد ذلك على الركيزة، مما يؤدي إلى تكوين طبقة رقيقة. هذه التقنية متعددة الاستخدامات ويمكن استخدامها لترسيب المواد الموصلة والعازلة على حد سواء، مما يجعلها قابلة للتطبيق في مختلف الصناعات بما في ذلك تصنيع أشباه الموصلات والأجهزة البصرية وغيرها.
-
شرح تفصيلي:
- نظرة عامة على العملية:القصف:
- تبدأ العملية بإدخال غاز، عادةً الأرجون، في غرفة تفريغ الهواء. ثم يتأين الغاز، مما يؤدي إلى تكوين بلازما. يتم تسريع جسيمات الغاز المتأين هذه نحو المادة المستهدفة بسبب الجهد المطبق.طرد الذرات:
- عندما تصطدم الأيونات عالية الطاقة بالهدف، فإنها تنقل زخمها، مما يتسبب في طرد الذرات من الهدف. تُعرف هذه الظاهرة باسم الاخرق.الترسيب:
-
تنتقل الذرات المقذوفة عبر الفراغ وتترسب على ركيزة مكونة طبقة رقيقة. ويمكن التحكم بدقة في خصائص هذا الفيلم، مثل سمكه وتوحيده وتكوينه.
- أنواع الاخرق:
-
تتنوع تقنيات الاخرق وتشمل الاخرق بالتيار المباشر (DC)، والخرق بالترددات الراديوية (RF)، والخرق بالترددات المتوسطة (MF)، والخرق بالتيار المستمر النبضي، والخرق بالمغناطيسية النبضية عالية الطاقة (HiPIMS). كل طريقة لها تطبيقات محددة اعتمادًا على المواد والخصائص المرغوبة للفيلم الرقيق.
- مزايا الاخرق:تعدد الاستخدامات:
- يمكن أن يودع الاخرق مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المواد ذات نقاط انصهار عالية، ويمكن أن يشكل سبائك أو مركبات من خلال الاخرق التفاعلي.جودة الرواسب:
- تتميز الأغشية المرشوشة عادةً بنقاوة عالية والتصاق ممتاز وكثافة جيدة، مما يجعلها مناسبة للتطبيقات الصعبة مثل تصنيع أشباه الموصلات.لا حاجة للذوبان:
-
على عكس بعض طرق الترسيب الأخرى، لا يتطلب الرش بالرش لا يتطلب ذوبان المادة المستهدفة، مما قد يكون مفيدًا للمواد التي قد تتحلل تحت درجات حرارة عالية.
- التطبيقات:
يستخدم الاخرق في العديد من الصناعات، بما في ذلك الإلكترونيات لإنشاء الأغشية الرقيقة في أجهزة أشباه الموصلات، وفي الصناعات البصرية لإنتاج الطلاءات العاكسة، وفي تصنيع أجهزة تخزين البيانات مثل الأقراص المدمجة ومحركات الأقراص.التصحيح والمراجعة:
