الرذاذ هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم بلازما غازية لقذف الذرات من مادة مستهدفة صلبة، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على ركيزة لتشكيل غشاء رقيق. تُستخدم هذه الطريقة على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات والأقراص المدمجة ومحركات الأقراص والأجهزة البصرية نظرًا للتوحيد الممتاز والكثافة والنقاء والالتصاق الممتاز للأغشية المرشوشة.
ملخص العملية:
- توليد الأيونات وتأثير الهدف: يتم توليد الأيونات وتوجيهها إلى المادة المستهدفة. يتم تسريع هذه الأيونات، وهي عادةً من غاز مثل الأرجون، بواسطة مجال كهربائي نحو الهدف.
- طرد الذرة: يؤدي تأثير هذه الأيونات عالية الطاقة على الهدف إلى إزاحة الذرات من الهدف أو "تناثرها".
- النقل إلى الركيزة: يتم بعد ذلك نقل الذرات المنبثقة عبر منطقة ذات ضغط منخفض في غرفة التفريغ نحو الركيزة.
- تشكيل الفيلم: تتكثف الذرات على الركيزة مكونة طبقة رقيقة. يمكن التحكم في سمك الفيلم وخصائصه عن طريق ضبط وقت الترسيب ومعلمات التشغيل الأخرى.
الشرح التفصيلي:
- المادة المستهدفة: يمكن أن يتكون الهدف من عنصر واحد أو خليط من العناصر أو السبائك أو المركبات. وتكتسي جودة الهدف وتكوينه أهمية بالغة لأنها تؤثر بشكل مباشر على خصائص الفيلم المترسب.
- البلازما الغازية: في غرفة التفريغ، يتم إدخال غاز (عادةً الأرجون) وتأينه لتشكيل بلازما. ويتم الحفاظ على هذه البلازما بواسطة مجال كهربائي يعمل على تسريع الأيونات نحو الهدف.
- التأثير الأيوني: تصطدم الأيونات بالهدف بطاقة كافية لقذف الذرات من سطحه. وتعتمد هذه العملية على انتقال الزخم، حيث تنتقل طاقة الأيونات إلى ذرات الهدف، مما يؤدي إلى قذفها.
- المزايا: يسمح الاصطراخ بالتحكم الدقيق في سمك الفيلم وتكوينه، مما يجعله مناسبًا لترسيب أغشية موحدة على مساحات كبيرة. كما أنه قادر على ترسيب مواد ذات درجات انصهار عالية، وهو ما قد يكون من الصعب تحقيقه من خلال طرق الترسيب الأخرى.
التصحيح والمراجعة:
النص المقدم متناسق ودقيق في وصف عملية الترسيب بالرش والتطبيقات الخاصة بها. لا توجد حاجة إلى تصحيحات وقائعية. يغطي الوصف بشكل فعال الجوانب الرئيسية لعملية الاخرق، بما في ذلك آليتها ومزاياها وتطبيقاتها في مختلف الصناعات.
