الاخرق هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم بلازما غازية لقذف الذرات من مادة مستهدفة صلبة. ثم يتم ترسيب هذه الذرات على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة. وتستخدم هذه الطريقة على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات والأقراص المدمجة ومحركات الأقراص والأجهزة البصرية. والسبب في شيوعها هو التوحيد والكثافة والنقاء والالتصاق الممتاز للأفلام المرشوشة.
ما هو الاخرق لترسيب الأغشية الرقيقة؟ - شرح 4 خطوات رئيسية
1. توليد الأيونات وتأثير الهدف
يتم توليد الأيونات وتوجيهها إلى المادة المستهدفة. يتم تسريع هذه الأيونات، وهي عادةً من غاز مثل الأرجون، بواسطة مجال كهربائي نحو الهدف.
2. طرد الذرة
يؤدي تأثير هذه الأيونات عالية الطاقة على الهدف إلى إزاحة الذرات من الهدف أو "تناثرها".
3. النقل إلى الركيزة
يتم بعد ذلك نقل الذرات المنبثقة عبر منطقة ذات ضغط منخفض في غرفة التفريغ نحو الركيزة.
4. تكوين الغشاء
تتكثف الذرات على الركيزة مكونة طبقة رقيقة. يمكن التحكم في سمك الفيلم وخصائصه عن طريق ضبط وقت الترسيب ومعلمات التشغيل الأخرى.
الشرح التفصيلي
المادة المستهدفة
يمكن أن يتكون الهدف من عنصر واحد أو خليط من العناصر أو السبائك أو المركبات. وتكتسي جودة الهدف وتكوينه أهمية بالغة لأنها تؤثر بشكل مباشر على خصائص الفيلم المترسب.
البلازما الغازية
في غرفة التفريغ، يتم إدخال غاز (عادةً الأرجون) وتأينه لتشكيل بلازما. يتم الحفاظ على هذه البلازما بواسطة مجال كهربائي، مما يسرع الأيونات نحو الهدف.
تأثير الأيونات
تصطدم الأيونات بالهدف بطاقة كافية لقذف الذرات من سطحه. وتعتمد هذه العملية على نقل الزخم، حيث تنتقل طاقة الأيونات إلى ذرات الهدف، مما يؤدي إلى طردها.
المزايا
يسمح الاصطراخ بالتحكم الدقيق في سمك الفيلم وتكوينه، مما يجعله مناسبًا لترسيب أغشية موحدة على مساحات كبيرة. كما أنه قادر على ترسيب مواد ذات درجات انصهار عالية، والتي قد يكون من الصعب تحقيقها من خلال طرق الترسيب الأخرى.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف دقة وتعدد استخدامات أنظمة الترسيب من KINTEK SOLUTION - التي يمكنك استخدامها لترسيب الأغشية الرقيقة التي لا مثيل لها. تضمن لك تقنيتنا المتطورة المصممة للتميز، التي تم تصميمها من أجل التميز، تجانسًا وكثافة ونقاءً والتصاقًا فائقًا لتصنيع أشباه الموصلات والأجهزة البصرية وأجهزة التخزين. ارتقِ بعملية التصنيع الخاصة بك مع KINTEK SOLUTION - حيث يلتقي الابتكار بالدقة والجودة بالكمية.اتصل بنا اليوم للحصول على حل الاخرق المخصص لك!
