الاصطرار هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم بلازما غازية لإزاحة الذرات من مادة مستهدفة صلبة، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة. وتُستخدم هذه الطريقة على نطاق واسع في مختلف الصناعات لتطبيقات مثل أشباه الموصلات والأجهزة البصرية والطلاءات الواقية نظرًا لقدرتها على إنتاج أغشية ذات تجانس وكثافة ونقاء والتصاق ممتازين.
عملية الاخرق:
تبدأ العملية بإدخال غاز خاضع للتحكم، عادةً الأرجون، في غرفة تفريغ. ثم يتم تطبيق تفريغ كهربائي على مهبط يحتوي على المادة المستهدفة. يؤين هذا التفريغ غاز الأرجون، مما يؤدي إلى تكوين بلازما. وتتسارع أيونات الأرجون الموجبة الشحنة في البلازما نحو الهدف السالب الشحنة بسبب المجال الكهربي، وعند الاصطدام تتحرك الذرات من سطح الهدف. وتنتقل هذه الذرات المنزاحة عبر الفراغ وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
- مزايا الاخرق:الدقة والتحكم:
- يسمح الاخرق بالتحكم الدقيق في تركيبة الفيلم وسماكته وتوحيده، مما يجعله مناسبًا للتطبيقات التي تتطلب دقة عالية، مثل الدوائر المتكاملة والخلايا الشمسية.تعدد الاستخدامات:
- يمكنه ترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك العناصر والسبائك والمركبات، من خلال طرق مثل الترسيب التفاعلي، حيث يتم إدخال غاز تفاعلي لتشكيل مركبات مثل الأكاسيد والنتريدات.ترسيب بدرجة حرارة منخفضة:
نظرًا لأن الركيزة لا تتعرض لدرجات حرارة عالية، فإن الترسيب بالرش بالرش مثالي لترسيب المواد على ركائز حساسة للحرارة مثل البلاستيك وبعض أشباه الموصلات.
- تطبيقات الاخرق:أشباه الموصلات:
- يعد الاخرق أمرًا بالغ الأهمية في صناعة أشباه الموصلات لترسيب المواد المختلفة في معالجة الدوائر المتكاملة.الأجهزة البصرية:
- يُستخدم لإنشاء طبقات رقيقة مضادة للانعكاس على الزجاج لتحسين الأداء البصري.المنتجات الاستهلاكية:
- يُستخدم الطلاء بالتبخير في إنتاج الأقراص المدمجة وأقراص الفيديو الرقمية والطلاءات منخفضة الابتعاثية للنوافذ الموفرة للطاقة.الطلاءات الصناعية:
يُستخدم في ترسيب الطلاءات الصلبة على الأدوات وطلاء البلاستيك المعدني مثل أكياس رقائق البطاطس.
وباختصار، فإن تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة متعددة الاستخدامات والدقيقة التي تستفيد من فيزياء البلازما لترسيب أغشية عالية الجودة على ركائز مختلفة، مما يجعلها لا غنى عنها في العديد من التطبيقات التكنولوجية.
