الترسيب الرذاذي هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة المستخدمة في مختلف الصناعات، بما في ذلك أشباه الموصلات ومحركات الأقراص والأقراص المدمجة والأجهزة البصرية. وهي نوع من ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) حيث يتم إخراج الذرات من مادة مستهدفة وترسيبها على ركيزة دون ذوبان المادة المصدر. وتتضمن هذه العملية قصف الهدف بجسيمات عالية الطاقة، وهي عادةً جزيئات غازية مؤينة، والتي تزيح الذرات من الهدف. وترتبط هذه الذرات المقذوفة بعد ذلك بالركيزة على المستوى الذري لتشكل طبقة رقيقة وموحدة ذات التصاق قوي.
آلية الاخرق:
تبدأ العملية في حجرة تفريغ حيث يتم تعريض المادة المستهدفة لبلازما من الغاز المتأين، وعادةً ما يكون الأرجون. تتسبب البلازما عالية الطاقة، التي يتم إنشاؤها عن طريق تطبيق جهد عالي عبر الغاز، في تصادم الأيونات مع المادة المستهدفة. وتنقل هذه التصادمات طاقة كافية لقذف الذرات من سطح الهدف. وتنتقل الذرات المقذوفة عبر الفراغ وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
- مزايا الاخرق:الطاقة الحركية العالية للذرات المترسبة:
- تتمتع الذرات المقذوفة بالرشاش بطاقات حركية أعلى بكثير مقارنةً بتلك المودعة بطرق التبخير. وينتج عن ذلك التصاق أفضل للفيلم بالركيزة.براعة في ترسيب المواد:
- يمكن للترسيب بالتبخير ترسيب أغشية من مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المواد ذات نقاط الانصهار العالية، والتي يصعب ترسيبها باستخدام طرق أخرى.توحيد وجودة الأفلام المترسبة:
تنتج العملية أفلاماً موحدة ورقيقة للغاية وذات جودة عالية، مما يجعلها فعالة من حيث التكلفة للإنتاج على نطاق واسع.أنواع الاخرق:
توجد عدة أنواع من عمليات الرش بالمغناطيسية، بما في ذلك الرش بالحزمة الأيونية والرش بالديود والرش بالديود والرش بالمغنترون. على سبيل المثال، يستخدم الرش المغنطروني المغنطروني مجالاً مغناطيسياً لحصر البلازما بالقرب من سطح الهدف، مما يزيد من كفاءة عملية الرش.
التطبيق وقابلية التوسع:
تقنية الاخرق متعددة الاستخدامات ويمكن تطبيقها على أشكال وأحجام متنوعة من الركائز. إنها عملية قابلة للتكرار ويمكن توسيع نطاقها من المشاريع البحثية الصغيرة إلى الإنتاج الصناعي على نطاق واسع، مما يجعلها تقنية حاسمة في عمليات التصنيع الحديثة.
