إن عائد الرش، والمعروف أيضًا باسم معدل الرش الفيزيائي، هو مقياس لعدد الذرات المفقودة من السطح لكل جسيم نشط يصطدم بالسطح. وهو عامل مهم في عمليات ترسيب الرش لأنه يؤثر على معدل ترسيب الرش.
يعتمد عائد الرش في المقام الأول على ثلاثة عوامل رئيسية: المادة المستهدفة، وكتلة جزيئات القصف، وطاقة جزيئات القصف. في نطاق الطاقة حيث يحدث الاخرق (10 إلى 5000 فولت)، يزداد عائد الاخرق مع كتلة الجسيمات والطاقة.
ويتأثر ناتج الرش بعوامل مختلفة، بما في ذلك الزاوية التي تصطدم بها الأيونات بالسطح، وكمية طاقة الأيونات أثناء الاصطدام، ووزن الأيونات، ووزن ذرات المادة المستهدفة، وطاقة الارتباط بين الأيونات. ذرات المادة المستهدفة، وقوة المجال المغناطيسي وعوامل التصميم (في كاثودات المغنطرون)، وضغط غاز البلازما.
من أجل إخراج ذرة من المادة المستهدفة، يجب أن تتمتع الأيونات بحد أدنى من الطاقة، عادة 30-50 فولت، وهو ما يعتمد على المادة. فوق هذه العتبة، يزيد العائد الاخرق. ومع ذلك، فإن الزيادة في المحصول تتسطح بسرعة عند الطاقات الأيونية العالية لأن الطاقة تترسب بشكل أعمق في الهدف وبالكاد تصل إلى السطح.
تحدد نسبة كتلتي الأيون والذرة المستهدفة إمكانية نقل الزخم. بالنسبة لذرات الهدف الخفيفة، يتم تحقيق الحد الأقصى من العائد عندما تتطابق كتلة الهدف مع الأيون تقريبًا. ومع ذلك، مع زيادة كتلة الذرات المستهدفة، يتحول الحد الأقصى للعائد إلى نسب كتلة أعلى بين الأيون والذرة المستهدفة.
يتميز عائد الرش بمزايا في عمليات ترسيب الرش، مثل معدلات الترسيب العالية والقدرة على إيداع مجموعة واسعة من المواد. ومع ذلك، فإن لها أيضًا عيوبًا، بما في ذلك النفقات الرأسمالية المرتفعة، ومعدلات الترسيب المنخفضة نسبيًا لبعض المواد، وتحلل المواد الصلبة العضوية عن طريق القصف الأيوني، والميل الأكبر لإدخال الشوائب في الركيزة مقارنة بالترسيب عن طريق التبخر.
عموما، العائد الاخرق هو معلمة هامة للنظر في عمليات ترسيب الاخرق لأنه يحدد كفاءة وفعالية عملية الترسيب.
عزز عمليات ترسيب الرش باستخدام KINTEK!
قم بزيادة إنتاجية الرش إلى الحد الأقصى وتحسين معدل ترسيب الرش باستخدام معدات المختبرات المتطورة من KINTEK. تأخذ تقنيتنا المتقدمة في الاعتبار العوامل الحاسمة مثل المادة المستهدفة، وكتلة وطاقة جزيئات القصف، وزاوية السقوط، وطاقة الارتباط بين الذرات، وقوة المجال المغناطيسي، وضغط غاز البلازما.
مع وجود KINTEK بجانبك، يمكنك توقع ذرات متناثرة بمستويات طاقة تتجاوز عشرات الإلكترون فولت، مما يضمن الحصول على نتائج مثالية لعمليات ترسيب الرذاذ لديك. بالإضافة إلى ذلك، تقلل أجهزتنا من إعادة التناثر، مما يسمح بعمليات أكثر كفاءة وفعالية من حيث التكلفة.
لا تقبلي بمتوسط عوائد الاخرق. تواصل مع KINTEK اليوم وأحدث ثورة في عمليات ترسيب الرش لتحقيق نجاح لا مثيل له!
