يعتبر كل من الاخرق والطلاء كلاهما من تقنيات الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) المستخدمة لترسيب الأغشية الرقيقة، ولكنهما يختلفان في آلياتهما وتطبيقاتهما. يتضمن الاخرق استخدام البلازما لإزاحة الذرات من المادة المستهدفة، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على الركيزة. وعلى النقيض من ذلك، يجمع الطلاء الأيوني بين جوانب التبخير الحراري والرش، باستخدام تيارات كهربائية عالية لتبخير المواد وترسيبها على الركيزة.
الاخرق:
الاخرق هو عملية يتم فيها توليد بلازما بين أنواع الطلاء (الهدف) والركيزة. وتُستخدم هذه البلازما لإزاحة الذرات من المادة المستهدفة. ثم يتم ترسيب الذرات المنزاحة على الركيزة لتشكيل طبقة رقيقة. وتعد هذه التقنية فعالة بشكل خاص في ترسيب الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات والأقراص المدمجة ومحركات الأقراص والأجهزة البصرية. وتُعرف الأغشية المرشوشة بتجانسها الممتاز وكثافتها ونقائها والتصاقها. ويمكنه أيضًا إنتاج سبائك ذات تركيبة أو مركبات دقيقة مثل الأكاسيد والنتريدات من خلال الرش التفاعلي.الطلاء بالأيونات:
- أما الطلاء بالأيونات، من ناحية أخرى، فهي تقنية هجينة تجمع بين التبخير الحراري والرش. وتستخدم تيارات كهربائية عالية لتبخير المادة المعدنية، ويتم توجيه الأيونات المعدنية على الأداة أو الركيزة للطلاء. تتيح هذه الطريقة التصاق أفضل وطلاءات أكثر كثافة مقارنةً بالتبخير الحراري البسيط. وغالباً ما يُستخدم الطلاء بالأيونات عند الحاجة إلى التصاق أفضل وطلاء أكثر كثافة.المقارنة:
- الآلية: يعتمد الطلاء بالرش على العملية الفيزيائية للذرات التي يتم إخراجها من الهدف بواسطة البلازما، بينما يستخدم الطلاء الأيوني تيارات كهربائية لتبخير المواد وترسيبها.
- التطبيقات: يُستخدم الطلاء بالرش على نطاق واسع للأفلام الوظيفية على أجهزة أشباه الموصلات وأجهزة عرض المعلومات والتطبيقات الزخرفية. ويُستخدم الطلاء بالأيونات، بفضل قدرته على توفير طلاءات أكثر كثافة وأكثر التصاقًا، في التطبيقات التي تتطلب متانة وأداءً عاليًا.
المزايا:
يوفر الطلاء بالرش المغنطروني، وهو نوع مختلف من الطلاء بالرش، مزايا مثل البنية الكثيفة ومساحة الرش الكبيرة والذرات عالية الطاقة لتحسين الالتصاق والاكتناز وعدم وجود ثقوب. وهذه المزايا تجعله الخيار المفضل للعديد من التطبيقات عالية التقنية.
