الاخرق التفاعلي هو عملية تتضمن تفاعلاً كيميائياً بين الذرات المنبثقة من هدف معدني وجزيئات الغاز التفاعلي المنتشرة من غاز التفريغ على الركيزة.
وينتج هذا التفاعل أغشية رقيقة مركبة، تعمل كمادة طلاء على الركيزة.
شرح 5 نقاط رئيسية
1. إدخال غاز غير خامل
أثناء عملية الاخرق التفاعلي، يتم إدخال غاز غير خامل، مثل الأكسجين أو النيتروجين، في غرفة الاخرق مع مادة مستهدفة عنصرية، مثل السيليكون.
2. التفاعل الكيميائي على الركيزة
عندما تصل الجزيئات المعدنية من الهدف إلى سطح الركيزة، تتفاعل مع جزيئات الغاز التفاعلي لتكوين مركب جديد.
ثم يتم ترسيب هذا المركب كغشاء رقيق على الركيزة.
3. تشكيل الطلاءات الصلبة
تتفاعل الغازات التفاعلية المستخدمة في هذه العملية، مثل النيتروجين أو الأكسجين، كيميائياً مع جزيئات المعدن على سطح الركيزة، مما يؤدي إلى تكوين طبقة صلبة.
4. الجمع بين عملية الرش بالرش بالخرز وعملية التفتيت بالقطع القابل للذوبان
تجمع عملية الاخرق التفاعلي بين مبادئ الاخرق التقليدي والترسيب الكيميائي للبخار (CVD).
وهي تنطوي على استخدام كمية كبيرة من الغاز التفاعلي لنمو الفيلم، مع ضخ الغاز الزائد للخارج.
5. التحكم في تكوين الفيلم
يمكن التحكم في تركيبة الفيلم عن طريق ضبط الضغوط النسبية للغازات الخاملة والتفاعلية.
وتُعد القياسات التكافئية للفيلم معلمة مهمة لتحسين الخصائص الوظيفية، مثل الضغط في SiNx ومؤشر انكسار SiOx.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات مختبرية عالية الجودة من أجل الاخرق التفاعلي؟ لا تبحث أكثر من KINTEK!
تم تصميم أنظمتنا المتقدمة لتقديم ترسيب دقيق ومضبوط للأغشية الرقيقة المركبة على الركائز.
مع معداتنا، يمكنك بسهولة ضبط الضغوط النسبية للغازات الخاملة والتفاعلية بسهولة، مما يسمح لك بتحسين القياس التكافئي للفيلم وتحقيق الخصائص الوظيفية المرغوبة للطلاء.
ثق في KINTEK لتلبية جميع احتياجاتك من الطلاء التفاعلي. اتصل بنا اليوم وارتقِ بأبحاثك إلى المستوى التالي!
