تتضمن آلية الرش التفاعلي تفاعلًا كيميائيًا بين الذرات المتناثرة من هدف معدني وجزيئات الغاز التفاعلية المنتشرة من غاز التفريغ على الركيزة. ينتج عن هذا التفاعل أغشية رقيقة مركبة، والتي تعمل بمثابة مادة طلاء على الركيزة.
أثناء الرش التفاعلي، يتم إدخال غاز غير خامل، مثل الأكسجين أو النيتروجين، إلى غرفة الرش مع مادة مستهدفة عنصرية، مثل السيليكون. عندما تصل الجزيئات المعدنية من الهدف إلى سطح الركيزة، فإنها تتفاعل مع جزيئات الغاز التفاعلية لتكوين مركب جديد. ثم يتم ترسيب هذا المركب كطبقة رقيقة على الركيزة.
تتفاعل الغازات التفاعلية المستخدمة في العملية، مثل النيتروجين أو الأكسجين، كيميائيًا مع الجزيئات المعدنية الموجودة على سطح الركيزة، مما يؤدي إلى تكوين طبقة صلبة. تجمع عملية الرش التفاعلي بين مبادئ الرش التقليدي وترسيب البخار الكيميائي (CVD). أنها تنطوي على استخدام كمية كبيرة من الغاز التفاعلي لنمو الفيلم، مع ضخ الغاز الزائد. يكون رش المعادن أسرع مقارنة بالمركبات التي تتناثر بشكل أبطأ.
إن إدخال غاز تفاعلي إلى غرفة الرش، مثل الأكسجين أو النيتروجين، يمكّن من إنتاج أفلام أكسيد أو نيتريد، على التوالي. يمكن التحكم في تكوين الفيلم عن طريق ضبط الضغوط النسبية للغازات الخاملة والمتفاعلة. تعد قياس العناصر الكيميائية للفيلم معلمة مهمة لتحسين الخصائص الوظيفية، مثل الإجهاد في SiNx ومعامل انكسار SiOx.
يتطلب الرش التفاعلي التحكم المناسب في المعلمات مثل الضغط الجزئي للعمل (أو الخامل) والغازات التفاعلية لتحقيق الترسبات المطلوبة. تُظهر العملية سلوكًا يشبه التباطؤ، مما يجعل من الضروري العثور على نقاط عمل مثالية لترسيب الفيلم بكفاءة. تم اقتراح نماذج، مثل نموذج بيرج، لتقدير تأثير الغاز التفاعلي على عمليات الاخرق.
باختصار، الرش التفاعلي هو شكل مختلف من عملية رش البلازما حيث يحدث تفاعل كيميائي بين الذرات المرشوشة والغازات التفاعلية، مما يؤدي إلى ترسب الأغشية الرقيقة المركبة على الركيزة. يمكن التحكم في تكوين الفيلم عن طريق ضبط الضغوط النسبية للغازات الخاملة والمتفاعلة.
هل تبحث عن معدات مخبرية عالية الجودة للرش التفاعلي؟ لا تنظر أبعد من KINTEK! تم تصميم أنظمتنا المتقدمة لتوفير ترسيب دقيق ومتحكم للأغشية الرقيقة المركبة على الركائز. باستخدام أجهزتنا، يمكنك بسهولة ضبط الضغوط النسبية للغازات الخاملة والمتفاعلة، مما يسمح لك بتحسين قياس العناصر الكيميائية للفيلم وتحقيق الخصائص الوظيفية المطلوبة للطلاء. ثق في KINTEK لجميع احتياجاتك من الرش التفاعلي. اتصل بنا اليوم وانتقل بأبحاثك إلى المستوى التالي!
