عملية ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) هي تقنية تُستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة من الطلاءات المعدنية أو السبائك على المواد الموصلة للكهرباء.
ويتم تنفيذها في غرفة مفرغة من الهواء في فراغ عالٍ باستخدام مصدر قوس كاثودي.
تتضمن العملية عدة خطوات رئيسية.
4 خطوات رئيسية في عملية الاخرق بالتفريغ بالانبعاث الطيفي الفائق
1. التبخير
يتم قصف المادة المستهدفة، وهي عادةً مادة صلبة أو سائلة، بمصدر عالي الطاقة مثل حزمة من الإلكترونات أو الأيونات.
يؤدي ذلك إلى إزاحة الذرات من سطح الهدف، مما يؤدي إلى تبخيرها.
2. النقل
تنتقل الذرات المتبخرة بعد ذلك من الهدف إلى الركيزة أو المادة المراد طلاؤها.
ويمكن أن يحدث ذلك من خلال آليات مختلفة، مثل الانتشار أو الحمل الحراري.
3. التفاعل
بمجرد وصول الذرات المتبخرة إلى الركيزة، فإنها تخضع لعملية تكثيف.
وتخضع الذرات لتغير طوري من حالة البخار إلى الحالة الصلبة، وتشكل طبقة رقيقة على سطح الركيزة.
4. الترسيب
تلتصق الذرات المتكثّفة بسطح الركيزة، مكوّنة طبقة معدنية نقية شديدة الالتصاق أو سبيكة.
ويمكن التحكم في سمك الفيلم عن طريق ضبط وقت الترسيب ومعلمات العملية الأخرى.
الاخرق هو طريقة محددة لترسيب البخار الفيزيائي (PVD) التي تنطوي على طرد الذرات أو الجزيئات من مادة مستهدفة بواسطة قصف الجسيمات عالية الطاقة.
في عملية الترسيب، يتم قصف المادة المستهدفة بجسيمات عالية الطاقة، وعادةً ما تكون أيونات، مما يتسبب في إزاحة الذرات أو الجزيئات من سطح الهدف.
وبعد ذلك تتكثف هذه الذرات أو الجزيئات المقذوفة على سطح الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
وقد أصبح الرش الرذاذ يستخدم على نطاق واسع في تطبيقات مختلفة، بما في ذلك ترسيب الأغشية المعدنية على الرقائق في تصنيع VLSI.
يسمح بالتحكم الدقيق في سمك الفيلم وتوحيده وتكوينه.
وتشمل المواد الشائعة التي يتم ترسيبها عن طريق الاخرق الألومنيوم والبلاتين والذهب والتنغستن.
وعمومًا، يُعد الرش بالتقنية PVD تقنية متعددة الاستخدامات ومستخدمة على نطاق واسع لترسيب الطلاء المعدني الرقيق أو السبائك على الركائز.
وهي توفر مزايا مثل النقاء العالي والالتصاق الجيد والتحكم في خصائص الفيلم.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات مختبرية عالية الجودة لعملية الترسيب بالبخار الفيزيائي (PVD) الخاصة بك؟
لا تبحث أكثر من KINTEK!
نحن نقدم مجموعة واسعة من الأدوات والتقنيات المتطورة لتعزيز قدراتك في ترسيب الأغشية الرقيقة.
من خلال معداتنا المتقدمة، يمكنك تحقيق ترسيب دقيق وموحد للأغشية لتلبية احتياجات تصنيع VLSI الخاصة بك.
لا تقبل بأي شيء أقل من الأفضل.
اتصل ب KINTEK اليوم وارتقِ بعملية ترسيب الأغشية الرقيقة بالطباعة بالطباعة بالانبعاث البفديوية إلى المستوى التالي!
