عملية ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) هي تقنية تستخدم لترسيب أغشية رقيقة من الطلاء المعدني أو السبائك على مواد موصلة للكهرباء. يتم تنفيذه في غرفة مفرغة عند فراغ عالٍ باستخدام مصدر القوس الكاثودي. تتضمن العملية الخطوات التالية:
1. التبخر: يتم قصف المادة المستهدفة، عادة ما تكون صلبة أو سائلة، بمصدر عالي الطاقة مثل شعاع من الإلكترونات أو الأيونات. يؤدي هذا إلى إزاحة الذرات من سطح الهدف، وتبخيرها.
2. النقل: تنتقل بعد ذلك الذرات المتبخرة من الهدف إلى الركيزة أو المادة المراد طلائها. يمكن أن يحدث هذا من خلال آليات مختلفة، مثل الانتشار أو التأفق.
3. التفاعل: بمجرد وصول الذرات المتبخرة إلى الركيزة، فإنها تخضع لعملية تكثيف. تخضع الذرات لتغير طوري من حالة البخار إلى الحالة الصلبة، لتشكل طبقة رقيقة على سطح الركيزة.
4. الترسيب: تلتصق الذرات المتكثفة بسطح الركيزة، لتشكل طبقة من المعدن النقي أو سبيكة معدنية شديدة الالتصاق. يمكن التحكم في سمك الفيلم عن طريق ضبط وقت الترسيب ومعلمات العملية الأخرى.
الرش هو طريقة محددة لترسيب البخار الفيزيائي (PVD) الذي يتضمن طرد الذرات أو الجزيئات من المادة المستهدفة عن طريق قصف الجسيمات عالية الطاقة. في عملية الرش، يتم قصف المادة المستهدفة بجزيئات عالية الطاقة، عادة أيونات، مما يتسبب في إزاحة الذرات أو الجزيئات من السطح المستهدف. ثم تتكثف هذه الذرات أو الجزيئات المقذوفة على سطح الركيزة، لتشكل طبقة رقيقة.
لقد أصبح الاخرق مستخدمًا على نطاق واسع في العديد من التطبيقات، بما في ذلك ترسيب الأفلام المعدنية على الرقاقات في تصنيع VLSI. فهو يسمح بالتحكم الدقيق في سماكة الفيلم وتوحيده وتكوينه. تشمل المواد الشائعة المودعة بالرش الألومنيوم والبلاتين والذهب والتنغستن.
بشكل عام، يعد رش PVD تقنية متعددة الاستخدامات ومستخدمة على نطاق واسع لترسيب طبقات رقيقة من المعدن أو السبائك على الركائز. إنه يوفر مزايا مثل النقاء العالي والالتصاق الجيد والتحكم في خصائص الفيلم.
هل تبحث عن معدات مخبرية عالية الجودة لعملية الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) الخاصة بك؟ لا تنظر أبعد من KINTEK! نحن نقدم مجموعة واسعة من الأدوات والتقنيات المتطورة لتعزيز قدرات ترسيب الأغشية الرقيقة لديك. باستخدام معداتنا المتقدمة، يمكنك تحقيق ترسيب دقيق وموحد للأغشية لتلبية احتياجات تصنيع VLSI الخاصة بك. لا تقبل بأي شيء أقل من الأفضل. اتصل بـ KINTEK اليوم وانتقل بعملية رش PVD إلى المستوى التالي!
