الرش بالمغناطيسية هو تقنية الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD).
وتستخدم مجالًا مغناطيسيًا لتعزيز كفاءة توليد البلازما.
وهذا يؤدي إلى ترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز.
وتتضمن الفيزياء الكامنة وراء هذه العملية عدة آليات رئيسية.
4 الآليات الرئيسية لرش المغنطرون الاخرق المغناطيسي
1. عملية الاخرق
الاخرق هو عملية فيزيائية.
يتم طرد الذرات أو الجزيئات من مادة مستهدفة صلبة.
ويحدث ذلك بسبب القصف بواسطة جسيمات عالية الطاقة، وعادةً ما تكون أيونات.
عندما تضرب الأيونات الهدف، فإنها تنقل الطاقة الحركية إلى ذرات الهدف.
وإذا كانت هذه الطاقة كافية للتغلب على طاقة الارتباط لذرات الهدف، فإن هذه الذرات تنقذف من السطح.
يمكن بعد ذلك ترسيب المادة المقذوفة على ركيزة قريبة، مكونة طبقة رقيقة.
2. دور المجال المغناطيسي
في الاخرق المغنطروني، يتم إدخال مجال مغناطيسي مغناطيسي مغلق فوق سطح الهدف.
هذا المجال المغناطيسي أمر بالغ الأهمية.
فهو يزيد من احتمال حدوث تصادمات بين الإلكترونات وذرات الأرجون بالقرب من سطح الهدف.
يحبس المجال المغناطيسي الإلكترونات، مما يجعلها تدور على طول خطوط التدفق المغناطيسي بالقرب من الهدف.
هذا الحبس للإلكترونات بالقرب من الهدف يعزز توليد البلازما وكثافتها.
وتتاح للإلكترونات المحتجزة فرص أكبر لتأيين غاز الرش (عادةً الأرجون) والتفاعل مع مادة الهدف.
3. توليد البلازما
يؤدي التوليد المعزز للبلازما بسبب المجال المغناطيسي إلى ارتفاع معدل تأين غاز الرش والمواد المستهدفة.
ويؤدي معدل التأين المتزايد هذا إلى زيادة تدفق الأيونات التي تقصف الهدف.
وهذا يزيد من معدل الاخرق.
وتؤدي البلازما المحصورة بالقرب من الهدف بواسطة المجال المغناطيسي إلى رش مادة الهدف بكفاءة.
ويفعل ذلك دون التسبب في ضرر كبير للفيلم الرقيق الذي يتم ترسيبه على الركيزة.
4. تعزيز الكفاءة
باختصار، تتضمن فيزياء الرش المغناطيسي استخدام مجال مغناطيسي.
يحبس هذا المجال الإلكترونات ويحصرها بالقرب من الهدف.
وهذا يزيد من كفاءة توليد البلازما.
ثم تقصف هذه البلازما المعززة الهدف بتدفق أعلى من الأيونات.
وهذا يؤدي إلى طرد أكثر كفاءة للمواد المستهدفة وترسيب الأغشية الرقيقة.
وتعد هذه التقنية مفيدة بسبب سرعتها العالية وتلفها المنخفض ومتطلبات درجة الحرارة المنخفضة مقارنة بطرق الرش الأخرى.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
أطلق العنان للمستوى التالي من الدقة والكفاءة في عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة.
اختبر قوة توليد البلازما المعززة بالمجال المغناطيسي.
معدلات رش محسّنة.
جودة فائقة للأغشية الرقيقة.
لا تدع مشاريع البحث والتطوير الخاصة بك تفشل - اختر KINTEK للحصول على أحدث تقنيات ترسيب الأغشية الرقيقة.
ارتقِ بقدرات مختبرك اليوم مع حلول KINTEK!
