ويرجع الغرض من استخدام الأرجون أثناء عملية الاخرق في المقام الأول إلى طبيعته الخاملة، ومعدل الاخرق العالي، والتكلفة المنخفضة، وتوافره بدرجة نقاء عالية. يعمل الأرجون كوسيط لتوليد الأيونات التي تقصف المادة المستهدفة، مما يسهل ترسيب الأغشية الرقيقة على الركيزة.
الطبيعة الخاملة ومعدل الاخرق العالي:
الأرجون غاز خامل، مما يعني أنه لا يتفاعل بسهولة مع العناصر الأخرى. وهذه الخاصية مهمة للغاية في عملية الاصطرار لأنها تضمن أن أيونات الأرجون، التي يتم تسريعها نحو المادة المستهدفة، لا تتفاعل كيميائياً مع الهدف أو الفيلم المترسب. ويساعد خمول الأرغون في الحفاظ على سلامة الغشاء الرقيق المترسب وخصائصه المرغوبة. وبالإضافة إلى ذلك، يتمتع الأرجون بكتلة عالية، مما يعزز من كفاءة الاخرق. عندما تتصادم أيونات الأرجون مع المادة المستهدفة، فإنها تنقل طاقة حركية كبيرة، مما يؤدي إلى ارتفاع معدل المواد المستهدفة التي يتم إخراجها وترسيبها على الركيزة.منخفضة التكلفة والتوافر:
الأرغون غير مكلف نسبيًا ومتوفر على نطاق واسع في درجة نقاء عالية، مما يجعله خيارًا مجديًا اقتصاديًا للتطبيقات الصناعية والبحثية. تعتبر فعالية تكلفة الأرجون من حيث التكلفة مهمة بشكل خاص في العمليات التي تتطلب كميات كبيرة من الغاز، كما هو الحال في كثير من الأحيان في عملية الاخرق.
الدور في عملية الاخرق:
في إعداد الاخرق ، يتم إدخال غاز الأرجون في غرفة تفريغ حيث يتم تأينه بواسطة الإلكترونات الحرة. ثم تنجذب أيونات الأرجون هذه إلى القطب السالب الشحنة (المادة المستهدفة) بواسطة مجال كهربائي. وعند التصادم مع الهدف، تتسبب أيونات الأرجون في انبعاث ذرات من الهدف وترسبها بعد ذلك على الركيزة. وهذه العملية ضرورية لتشكيل أغشية رقيقة ذات خصائص دقيقة ويمكن التحكم فيها.
تعدد الاستخدامات في تقنيات الاخرق:
