فريق التقنية · Kintek Solution

عادةً ما يكون تردد التردد اللاسلكي المستخدم في عملية الاخرق 13.56 ميجاهرتز.وقد تم اختيار هذا التردد لأنه يقع ضمن النطاقات الراديوية الصناعية والعلمية والطبية (ISM)، المعترف بها دوليًا لأغراض غير الاتصالات.تتضمن عملية رش الترددات اللاسلكية إنشاء بلازما في غرفة مفرغة باستخدام غاز خامل مثل الأرجون.يقوم مصدر طاقة التردد اللاسلكي بتأيين ذرات الغاز، والتي تضرب بعد ذلك المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى رشها وترسيب طبقة رقيقة على الركيزة.وتتضمن العملية دورات موجبة وسالبة لمنع تراكم الأيونات على الأهداف العازلة، مما يضمن عملية رش متناسقة وفعالة.

شرح النقاط الرئيسية:

1. تردد الترددات اللاسلكية في الاخرق:

   • عادة ما يكون تردد التردد اللاسلكي المستخدم في الاخرق 13.56 ميجاهرتز.هذا التردد هو جزء من نطاق الترددات اللاسلكية ISM، وهو مخصص للتطبيقات الصناعية والعلمية والطبية.ويضمن اختيار هذا التردد الحد الأدنى من التداخل مع أنظمة الاتصالات ويسمح بالتأين الفعال للغاز في غرفة الاخرق.

2. دور الأرجون في الاخرق:

   • الأرغون هو الغاز الأكثر استخدامًا في عملية الاخرق بسبب طبيعته الخاملة وتكلفته المنخفضة نسبيًا.عند إدخاله في حجرة التفريغ، تتأين ذرات الأرجون بواسطة مصدر طاقة الترددات اللاسلكية، مما يؤدي إلى تكوين بلازما.ثم تقصف هذه الأيونات المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى رشها وترسيبها على الركيزة.

3. عملية الاخرق بالترددات اللاسلكية:

   • تبدأ عملية الرش بالترددات اللاسلكية بوضع المادة المستهدفة والركيزة وأقطاب الترددات اللاسلكية في غرفة تفريغ.يتم إدخال غاز خامل، مثل الأرجون، ويتم تنشيط مصدر طاقة التردد اللاسلكي.تؤيِّن موجات التردد اللاسلكي ذرات الغاز، التي تضرب بعد ذلك المادة المستهدفة، فتفتتها إلى قطع صغيرة تنتقل إلى الركيزة وتشكل طبقة رقيقة.

4. الدورات الموجبة والسالبة:

   • تتضمن عملية الاخرق بالترددات اللاسلكية دورتين: موجبة وسالبة.في الدورة الموجبة، تنجذب الإلكترونات إلى المهبط، مما يخلق تحيزًا سلبيًا.وفي الدورة السلبية، يستمر القصف الأيوني.تمنع هذه الدورة المتناوبة تراكم الأيونات على الأهداف العازلة عن طريق تجنب الجهد السالب الثابت على المهبط، مما يضمن عملية رش بالمغناطيس مستقرة وفعالة.

5. الاخرق المغنطروني واستخدام الهدف:

   • في الاخرق المغنطروني، يجبر المجال المغناطيسي الحلقي الإلكترونات الثانوية على التحرك حوله، مما يخلق منطقة ذات أعلى كثافة بلازما.تبعث هذه المنطقة توهجًا أزرق فاتحًا قويًا أثناء الاخرق لتشكل هالة.يتم قصف الهدف في هذه المنطقة بشدة بالأيونات، مما يؤدي إلى تكوين أخدود على شكل حلقة.وبمجرد أن يخترق هذا الأخدود الهدف، يتم إلغاء الهدف بأكمله، مما يؤدي إلى انخفاض معدلات استخدام الهدف، وعادةً ما تكون أقل من 40%.

من خلال فهم هذه النقاط الرئيسية، يمكن للمرء أن يقدّر مدى التعقيد والدقة المطلوبة في عملية الرش بالترددات اللاسلكية، وخاصة في اختيار تردد التردد اللاسلكي ودور الأرجون في إنشاء بلازما مستقرة لترسيب الأغشية الرقيقة بكفاءة.

جدول ملخص:

الجانب الرئيسي	التفاصيل
تردد التردد اللاسلكي	13.56 ميجاهرتز، وهو جزء من نطاق الترددات اللاسلكية ISM لأدنى حد من التداخل والتأين الفعال.
دور الأرجون	غاز خامل يُستخدم لتوليد البلازما، يتأين بواسطة طاقة التردد اللاسلكي لقصف الهدف.
عملية الرش بالترددات اللاسلكية	تتضمن غرفة تفريغ وأقطاب الترددات اللاسلكية ودورات موجبة/سالبة متناوبة.
استخدام الهدف	يؤدي الاخرق المغنطروني إلى معدلات استخدام منخفضة، عادةً أقل من 40%.

أطلق العنان لإمكانات رش الاخرق بالترددات اللاسلكية لتطبيقاتك- اتصل بخبرائنا اليوم للحصول على حلول مصممة خصيصاً لك!