وعادةً ما يكون تردد التردد اللاسلكي المستخدم عادةً في عملية الاخرق في نطاق 5-30 ميغاهيرتز، مع كون التردد 13.56 ميغاهيرتز هو التردد الأكثر استخداماً. وقد تم توحيد هذا التردد من قبل لوائح الراديو للاتحاد الدولي للاتصالات السلكية واللاسلكية للأجهزة الصناعية والعلمية والطبية (ISM) لتجنب التداخل مع خدمات الاتصالات السلكية واللاسلكية. ويعد اختيار التردد 13.56 ميجا هرتز اختياراً استراتيجياً لأنه منخفض بما يكفي للسماح بوقت كافٍ لنقل الزخم لأيونات الأرجون إلى الهدف، وهو أمر حاسم لتحقيق رش فعال. وفي الترددات الأعلى، يتضاءل دور الأيونات ويصبح دور الأيونات أقل، وتصبح العملية أكثر هيمنة على الإلكترونات، على غرار التبخير بالحزمة الإلكترونية.
ويعد استخدام التردد 13.56 ميجاهرتز في عملية الاخرق بالترددات اللاسلكية مفيدًا بشكل خاص لترسيب المواد العازلة. وعلى عكس رش التيار المباشر (DC)، وهو مناسب للمواد الموصلة للكهرباء، يستخدم الرش بالترددات الراديوية إمدادات طاقة الترددات الراديوية التي يمكنها التعامل مع المواد ذات الخصائص العازلة. وتسمح هذه الطريقة بالحفاظ على بلازما غاز خامل عند ضغط أقل (أقل من 15 ملي متر مكعب) مقارنةً بالرش بالتيار المستمر، الذي يتطلب ضغطًا أعلى (حوالي 100 ملي متر مكعب). وتقلل بيئة الضغط المنخفض هذه من التصادمات بين جسيمات المواد المستهدفة وأيونات الغاز، مما يسهل مسار ترسيب مباشر أكثر على الركيزة.
تتضمن آلية الرش بالترددات اللاسلكية تبديل الجهد الكهربائي بترددات راديوية لمنع تراكم الشحنات على سطح الهدف. تنظف كل دورة من تيار الترددات اللاسلكية سطح الهدف بشكل فعال عن طريق عكس تراكم الشحنات التي قد تتراكم مع تدفق تيار مستمر في اتجاه واحد. يعد تأثير التنظيف هذا أمرًا حاسمًا للحفاظ على كفاءة عملية الاخرق، خاصة بالنسبة للأهداف العازلة حيث يمكن أن يؤدي تراكم الشحنات إلى إعاقة عملية الترسيب.
باختصار، يُستخدم تردد التردد اللاسلكي 13.56 ميجا هرتز على نطاق واسع في عملية الاخرق نظرًا لتوافقه مع معايير ISM، وفعاليته في التعامل مع المواد العازلة، وقدرته على العمل تحت ضغوط منخفضة، مما يعزز من مباشرة وكفاءة عملية الترسيب.
اكتشف التميز في أنظمة الرش بالترددات اللاسلكية المتقدمة من KINTEK SOLUTION، المصممة لتحقيق أعلى أداء مع تقنية التردد 13.56 ميجاهرتز الدقيقة الخاصة بنا. استمتع بنتائج رش فائقة في عملية الترسيب والتعامل مع المواد العازلة دون عناء وتقديم كفاءة لا مثيل لها في تطبيقاتك المعملية. ارتقِ بأبحاثك وإنتاجك مع KINTEK SOLUTION - حيث يلتقي الابتكار مع نجاح الاخرق!
