الاخرق هو تقنية ترسيب بخار فيزيائي (PVD) تُستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على الركيزة.
وهي تعمل عن طريق طرد الذرات من مادة مستهدفة من خلال القصف بجسيمات عالية الطاقة.
وتتضمن هذه العملية إدخال غاز خاضع للتحكم، عادةً ما يكون الأرجون، في غرفة تفريغ الهواء وتنشيط مهبط كهربائيًا لإنشاء بلازما ذاتية الاستدامة.
وتتحول ذرات الغاز إلى أيونات موجبة الشحنة داخل البلازما ويتم تسريعها نحو الهدف، مما يؤدي إلى إزاحة الذرات أو الجزيئات التي تشكل بعد ذلك تيار بخار يترسب على الركيزة كفيلم أو طلاء.
ما هي طريقة الاخرق؟ شرح 6 خطوات رئيسية
1. إعداد غرفة التفريغ
تبدأ العملية في حجرة تفريغ الهواء حيث يتم تقليل الضغط بشكل كبير للسماح بتحكم أفضل وكفاءة عملية الرش.
تقلل هذه البيئة من وجود غازات أخرى يمكن أن تتداخل مع عملية الترسيب.
2. إدخال غاز الأرجون
يتم إدخال الأرجون، وهو غاز خامل كيميائياً، في غرفة التفريغ.
وتضمن طبيعته الخاملة عدم تفاعله مع المواد الموجودة داخل الغرفة، مما يحافظ على سلامة عملية الرش بالتبخير.
3. إنشاء البلازما
يتم تطبيق تيار كهربائي على مهبط داخل الغرفة التي تحتوي على المادة المستهدفة.
تعمل هذه الطاقة الكهربائية على تأيين غاز الأرجون، مما يخلق بلازما.
في هذه الحالة، تفقد ذرات الأرجون الإلكترونات وتصبح أيونات موجبة الشحنة.
4. القصف الأيوني
يتم بعد ذلك تسريع أيونات الأرجون الموجبة الشحنة نحو المادة المستهدفة السالبة الشحنة (المهبط) بسبب المجال الكهربائي.
وعندما تصطدم هذه الأيونات ذات الطاقة العالية بالهدف، تقوم بإزاحة الذرات أو الجزيئات من سطح الهدف.
5. الترسيب على الركيزة
تشكل المادة المنزاحة تيار بخار ينتقل عبر الحجرة ويرسب على ركيزة موضوعة في مكان قريب.
ويشكّل هذا الترسيب طبقة رقيقة من المادة المستهدفة على الركيزة، وهو أمر بالغ الأهمية في عمليات التصنيع المختلفة مثل أشباه الموصلات والأجهزة البصرية والألواح الشمسية.
6. التطبيقات والاختلافات
يُستخدم الاخرق على نطاق واسع في الصناعات لترسيب الأغشية الرقيقة نظراً لقدرته على التحكم الدقيق في سمك وتوحيد الفيلم.
كما يُستخدم في فيزياء الأسطح لتنظيف وتحليل التركيب الكيميائي للأسطح.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اختبر دقة وتعدد استخدامات معدات الترسيب الرقيق المتطورة لدينا في KINTEK SOLUTION.
ارفع من قدراتك في مجال ترسيب الأغشية الرقيقة من خلال أنظمتنا الموثوقة وعالية الجودة المصممة لتلبية الاحتياجات المعقدة لصناعات مثل أشباه الموصلات والبصريات والطاقة المتجددة.
ثق بشركة KINTEK SOLUTION لتكون شريكك في تحقيق طلاءات غشاء متناسقة وموحدة تدفع الابتكار إلى الأمام.
اكتشف حلول الاخرق لدينا اليوم وارتقِ بعمليات البحث والتصنيع الخاصة بك إلى آفاق جديدة!
