الرش هو عملية ترسيب غشاء رقيق يستخدم في تصنيع أشباه الموصلات ومحركات الأقراص والأقراص المدمجة والأقراص المدمجة والأجهزة البصرية. وتتضمن قذف الذرات من مادة مستهدفة إلى ركيزة نتيجة قصفها بجسيمات عالية الطاقة.
ملخص الإجابة:
الاصطرار هو تقنية لترسيب أغشية رقيقة من المواد على سطح يُعرف باسم الركيزة. تبدأ هذه العملية عن طريق إنشاء بلازما غازية وتسريع الأيونات من هذه البلازما إلى مادة مصدر أو هدف. ويؤدي انتقال الطاقة من الأيونات إلى المادة المستهدفة إلى تآكلها وقذف الجسيمات المحايدة التي تنتقل بعد ذلك وتغطي الركيزة القريبة لتشكل طبقة رقيقة من المادة المصدر.
-
الشرح التفصيلي:إنشاء البلازما الغازية:
-
يبدأ الاخرق بإنشاء بلازما غازية، عادةً في غرفة مفرغة من الهواء. يتم تكوين هذه البلازما عن طريق إدخال غاز خامل، عادةً الأرجون، وتطبيق شحنة سالبة على المادة المستهدفة. تتوهج البلازما بسبب تأين الغاز.تسريع الأيونات:
-
ثم يتم تسريع الأيونات من البلازما نحو المادة المستهدفة. ويتحقق هذا التسارع غالبًا من خلال تطبيق مجال كهربائي يوجه الأيونات إلى الهدف بطاقة عالية.طرد الجسيمات من الهدف:
-
عندما تصطدم الأيونات عالية الطاقة بالمادة الهدف، فإنها تنقل طاقتها، مما يؤدي إلى طرد الذرات أو الجزيئات من الهدف. وتعرف هذه العملية باسم الاخرق. تكون الجسيمات المقذوفة محايدة، بمعنى أنها غير مشحونة وستنتقل في خط مستقيم ما لم تصطدم بجسيمات أو أسطح أخرى.الترسيب على الركيزة:
-
إذا تم وضع ركيزة، مثل رقاقة السيليكون، في مسار هذه الجسيمات المقذوفة، فسيتم طلاؤها بطبقة رقيقة من المادة المستهدفة. ويعد هذا الطلاء أمرًا بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات، حيث يتم استخدامه لتشكيل طبقات موصلة ومكونات حرجة أخرى.أهمية النقاء والتوحيد:
-
في سياق أشباه الموصلات، يجب أن تضمن أهداف الاخرق نقاوة كيميائية عالية وتوحيد المعادن. وهذا أمر ضروري لأداء وموثوقية أجهزة أشباه الموصلات.الأهمية التاريخية والتكنولوجية:
كان الاخرق تقنية مهمة منذ تطويرها في أوائل القرن التاسع عشر. وقد تطورت من خلال الابتكارات مثل "مسدس الاخرق" الذي طوره بيتر ج. كلارك في عام 1970، والذي أحدث ثورة في صناعة أشباه الموصلات من خلال تمكين الترسيب الدقيق والموثوق للمواد على المستوى الذري.المراجعة والتصحيح:
