الاخراخ المغنطروني النبضي عالي الطاقة (HiPIMS) هي تقنية تتضمن تطبيق جهد عالي الذروة في نبضات قصيرة. وعادة ما تكون هذه النبضات قصيرة جدًا، وتدوم ما بين 50 إلى 200 ميكروثانية. ويبلغ تردد هذه النبضات حوالي 500 هرتز. عادةً ما تكون دورة التشغيل، وهي نسبة وقت "التشغيل" إلى وقت "الإيقاف"، أقل من 10%. وهذا يعني أن النظام يقضي معظم وقته في حالة "إيقاف التشغيل".
شرح 4 عوامل رئيسية
1. جهد الذروة العالي
يتميز الجهد المطبق في HiPIMS بقيم الذروة العالية. هذا الجهد العالي ضروري لتحقيق كثافات الطاقة العالية اللازمة لتحقيق كفاءة الاخرق. يمكن أن يختلف الجهد الدقيق اعتمادًا على الإعداد المحدد والمواد المستخدمة. ومع ذلك، فإنه يقع عمومًا في نطاق 100 فولت إلى 3 كيلو فولت.
2. فترات النبضات القصيرة
تكون النبضات في HiPIMS قصيرة جدًا، عادةً ما بين 50 إلى 200 ميكروثانية. تسمح هذه المدة القصيرة بتركيز الطاقة في فترة وجيزة. وهذا يعزز تأين الجسيمات المتأينة ويؤدي إلى درجة أعلى من التأين مقارنةً بالتأين المستمر بالتيار المستمر. هذه الدرجة العالية من التأين مفيدة لتحسين جودة الفيلم والالتصاق.
3. التردد المنخفض ودورة العمل
تردد النبضات في نظام HiPIMS منخفض نسبيًا، حوالي 500 هرتز، ودورة العمل أقل من 10%. تعني دورة العمل المنخفضة أن النظام يقضي معظم وقته في حالة "إيقاف التشغيل". وهذا يسمح بالتبريد والاستقرار بين النبضات. تساعد هذه العملية المتقطعة في التحكم في درجة الحرارة ومنع الضرر الحراري للهدف والركيزة.
4. أوضاع التشغيل
اعتمادًا على مدة النبض وتردده، يمكن لنظام HiPIMS أن يعمل في وضع الجهد أو وضع التيار. في وضع الجهد، وهو الوضع النموذجي للنبضات الأقصر والترددات الأعلى، ينصب التركيز على التغيرات السريعة للجهد لتسريع الأيونات. في وضع التيار، وهو أكثر شيوعًا مع النبضات الأطول والترددات المنخفضة، يحافظ النظام على تيار ثابت للحفاظ على عملية الاخرق.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
ارفع من قدراتك في ترسيب الأغشية الرقيقة باستخدام تقنية HiPIMS المتطورة من KINTEK SOLUTION. اختبر دقة الفولتية العالية الذروة، وفترات النبض المحسّنة، والتشغيل المبتكر منخفض التردد. ثق بنا في تقديم أفضل أداء في أداء الرش بالأخرق الذي لا يزيد من معدلات الترسيب فحسب، بل يضمن أيضًا جودة فائقة للأفلام والتحكم الحراري.اكتشف كيف يمكن ل KINTEK SOLUTION تمكين مختبرك بأنظمة HiPIMS من الدرجة الأولى اليوم!
