يعد التنظيف المسبق في ترسيب الأغشية الرقيقة خطوة حاسمة تتضمن إعداد سطح الركيزة لضمان الخصائص والأداء المطلوبين للأغشية الرقيقة المودعة. وتعد هذه العملية ضرورية لتقليل التلوث وتعزيز توافق والتصاق الطبقة الرقيقة بالركيزة.
التحكم في التلوث:
يمكن أن يؤثر التلوث بشكل كبير على جودة الأغشية الرقيقة. وتشمل مصادر التلوث الغازات المتبقية في حجرة الترسيب، والشوائب في المواد المصدرية، والملوثات السطحية على الركيزة. للتخفيف من هذه المشاكل، من الضروري استخدام بيئة ترسيب نظيفة ومواد مصدر عالية النقاء.توافق الركيزة:
يعد اختيار مادة الركيزة أمرًا بالغ الأهمية لأنه يمكن أن يؤثر على خصائص الطبقة الرقيقة والتزامها. لا تتوافق جميع المواد مع كل عملية ترسيب، وقد يتفاعل بعضها بشكل غير مرغوب فيه أثناء الترسيب. من الضروري اختيار ركيزة يمكنها تحمل ظروف الترسيب والتفاعل بشكل مناسب مع مادة الغشاء الرقيق.
طريقة الترسيب وعمق التنظيف:
يعتمد اختيار طريقة التنظيف المسبق على طريقة الترسيب وعمق التنظيف المطلوب. على سبيل المثال، تتوافق تقنيات المصدر الأيوني مع أنظمة التبخير ولكنها قد لا تكون فعالة مع أنظمة الرش. يجب اختيار طريقة التنظيف بناءً على ما إذا كان الهدف هو إزالة الهيدروكربونات وجزيئات الماء (التي تتطلب طاقة أيونية منخفضة) أو طبقات الأكسيد بأكملها (التي تتطلب كثافة وطاقة أيونية أعلى).منطقة التغطية:
توفر طرق التنظيف المسبق المختلفة مناطق تغطية مختلفة. على سبيل المثال، يمكن أن تغطي طرق المعالجة المسبقة بالترددات اللاسلكية وطرق المعالجة المسبقة بالبلازما مساحات كبيرة، بينما توفر المعالجات المسبقة بالترددات اللاسلكية أو الموجات الدقيقة ومصادر الأيونات الدائرية تغطية محدودة أكثر.
إعداد غرفة التفريغ:
