الرش بالرش هو تقنية محددة ضمن الفئة الأوسع للترسيب الفيزيائي للبخار الفيزيائي (PVD) حيث يتم طرد الذرات أو الجزيئات من مادة مستهدفة بسبب قصف جسيمات عالية الطاقة، مما يسمح لها بالتكثف على ركيزة كغشاء رقيق. تختلف هذه الطريقة عن تقنيات PVD الأخرى مثل التبخير، والتي تتضمن تسخين المادة المصدر إلى درجة حرارة التبخير.
ملخص الفرق:
يتضمن الاخرق طرد الذرات من مادة مستهدفة من خلال تصادمات مع جسيمات عالية الطاقة، وعادةً ما تكون أيونات، في حين أن تقنية PVD بشكل عام تشمل طرقًا مختلفة بما في ذلك الاخرق والتبخير وغيرها، حيث يتم تحويل المواد من الطور الصلب إلى طور البخار ثم ترسيبها على الركيزة.
-
الشرح التفصيلي:آلية الاخرق:
-
في عملية الاخرق، يتم قصف المادة المستهدفة بجسيمات عالية الطاقة، وغالبًا ما تكون أيونات غاز مثل الأرجون. تتصادم هذه الأيونات النشطة مع الذرات الموجودة في الهدف، مما يؤدي إلى قذف بعضها. وبعد ذلك تنتقل هذه الذرات المقذوفة عبر الفراغ وتترسب على ركيزة قريبة، مكونة طبقة رقيقة. يمكن التحكم في هذه العملية بدرجة كبيرة ويمكن استخدامها لترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المعادن والسبائك وبعض المركبات.
-
السياق الأوسع للتقنية بالترسيب بالبطاريات البفديوية الفراغية:
- PVD هو مصطلح عام يصف مجموعة متنوعة من التقنيات المستخدمة لترسيب الأغشية الرقيقة. لا تشمل هذه التقنيات ليس فقط الترسيب بالتبخير ولكن أيضًا التبخير والترسيب القوسي الكاثودي وغيرها. ولكل طريقة من هذه الطرق آلياتها وظروفها الخاصة لتبخير المادة المصدر وترسيبها على الركيزة. على سبيل المثال، يستخدم التبخير عادةً الحرارة لتبخير المادة التي تتكثف بعد ذلك على الركيزة.
- مقارنة مع تقنيات PVD الأخرى:التبخير:
على عكس التبخير، يتضمن التبخير تسخين المادة المصدر إلى درجة حرارة عالية حيث تتحول إلى بخار. ثم يتكثف هذا البخار على الركيزة. التبخير أبسط وأقل تكلفة ولكنه قد لا يكون فعالاً في ترسيب مواد معينة أو تحقيق نفس مستوى جودة الفيلم مثل التبخير بالتبخير.ترسيب القوس الكاثودي:
تنطوي هذه الطريقة على قوس عالي التيار يتم إشعاله على سطح مادة الكاثود، مما يؤدي إلى تبخيرها. ثم تترسب المادة المتبخرة على الركيزة. وتُعرف هذه التقنية بمعدلات ترسيبها العالية وغالباً ما تُستخدم في الطلاءات الزخرفية والوظيفية.
