يمكن أن يختلف العمر الافتراضي لهدف الرذاذ بشكل كبير اعتمادًا على عدة عوامل بما في ذلك مادة الهدف، والطاقة المستخدمة، ودورة التشغيل، وكفاءة التبريد. بشكل عام، تم تصميم الهدف ليتحمل كمية معينة من الطاقة قبل الحاجة إلى استبداله.
ملخص الإجابة:
تعتمد مدة الاستخدام الفعال لهدف الرذاذ على مادته وإعدادات الطاقة وكفاءة نظام التبريد. يتم تعريض الهدف لطاقة الجهد العالي النبضية، والتي تعمل على تبخير المادة بينما يمنع نظام التبريد ارتفاع درجة الحرارة. يتم إطالة عمر الهدف عن طريق التبريد الفعال والتحكم في استخدام الطاقة.
-
شرح تفصيلي:تطبيق المواد والطاقة:
-
يلعب نوع المادة المستخدمة في هدف الرذاذ دوراً حاسماً في طول عمره. على سبيل المثال، تُستخدم أهداف الموليبدينوم لإنتاج أغشية رقيقة موصلة وتخضع لإعدادات طاقة محددة. تكون الطاقة المطبقة على الهدف نابضة، مع دفعات من الطاقة عالية الجهد (حوالي 100 ميكرو ثانية، كيلوواط سم-2) تليها فترات من الطاقة المنخفضة أو بدون طاقة، والمعروفة باسم وقت "إيقاف التشغيل". يسمح هذا النبض للهدف بالتبريد ويقلل من متوسط الطاقة إلى 1-10 كيلوواط، مما يحافظ على استقرار العملية.كفاءة التبريد:
-
يعد التبريد الفعال أمرًا حيويًا لإطالة عمر هدف الاخرق. تحتوي التصميمات التقليدية على واجهات حرارية متعددة بين الهدف ونظام التبريد، مما قد يعيق نقل الحرارة. ومع ذلك، تتيح التصاميم الأحدث اتصالاً مباشرًا ببئر التبريد، مما يقلل من عدد واجهات نقل الحرارة إلى واجهة واحدة، وربما يتم تعزيزها بواسطة شحم مفرغ موصل حراريًا. تسمح طريقة التبريد المباشر هذه بمعدلات ترسيب أعلى وعمر أطول للهدف.توزيع الطاقة:
-
في عملية الرش بالرش، يتم استخدام حوالي 1% فقط من طاقة الأيونات الساقطة لقذف المادة المستهدفة، مع تسخين 75% من طاقة الأيونات الساقطة للهدف، بينما تتبدد البقية بواسطة الإلكترونات الثانوية. يسلط هذا التوزيع للطاقة الضوء على أهمية التبريد الفعال لمنع الهدف من الوصول إلى درجات الحرارة الحرجة التي يمكن أن تؤدي إلى تدهور أدائه أو التسبب في تلفه.الحجم والشكل:
يمكن أن يؤثر حجم وشكل هدف الاخرق أيضًا على عمره الافتراضي. قد تتطلب الأهداف الأكبر حجماً تصاميم مجزأة لتسهيل التبريد والمناولة، مما قد يؤثر على مدة بقاء كل جزء تحت التشغيل.الخلاصة:
