الاخرق المغنطروني هو عملية تُستخدم لإنشاء أغشية رقيقة عن طريق إخراج الذرات من مادة مستهدفة. وتتضمن هذه العملية توليد البلازما، وهي حالة من المادة حيث يصبح الغاز مشحونًا كهربائيًا. وفيما يلي تفصيل مبسط لكيفية توليد البلازما في عملية الرش المغنطروني.
6 خطوات لتوليد البلازما في الرش بالمغنطرون المغنطروني
1. إعداد غرفة التفريغ وإدخال الغاز
تبدأ العملية بإنشاء تفريغ عالي داخل غرفة التفريغ. وهذا يساعد على تجنب الملوثات ويقلل من ضغط الغازات الخلفية. وبمجرد الوصول إلى الضغط الأساسي، يتم إدخال غاز التفريغ، وعادةً ما يكون الأرجون، في الغرفة. يتم الاحتفاظ بالضغط في نطاق ميلي تور باستخدام نظام التحكم في الضغط.
2. بدء توليد البلازما
يتم تطبيق جهد عالي بين الكاثود (المادة المستهدفة) والأنود. يبدأ هذا الجهد في توليد البلازما. ويعتمد الجهد اللازم على الغاز المستخدم وضغطه. بالنسبة للأرجون، يبلغ جهد التأين حوالي 15.8 إلكترون فولت (eV).
3. تعزيز كفاءة البلازما باستخدام المجال المغناطيسي
في الرش المغنطروني، يضاف مجال مغناطيسي مغناطيسي مغلق فوق سطح الهدف. ويزيد هذا المجال المغناطيسي من كفاءة توليد البلازما عن طريق تعزيز التصادمات بين الإلكترونات وذرات الأرجون بالقرب من سطح الهدف. تدور الإلكترونات الموجودة في البلازما بشكل حلزوني حول الهدف بسبب المجال المغناطيسي الناتج عن المغناطيسات الموضوعة خلف الهدف. تتصادم هذه الإلكترونات الحلزونية مع الذرات القريبة، مما يؤينها ويعزز إنتاج البلازما وكثافتها.
4. القصف بالأيونات والرشّ بالأيونات
تؤدي البلازما المتولدة إلى تصادم ذرات الغاز المتأين (الأيونات) مع سطح الهدف. وتؤدي هذه التصادمات إلى إزاحة الذرات من سطح الهدف، وهي عملية تسمى الرش. ثم تترسب الذرات المقذوفة على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
5. الاختلافات في الاخرق المغنطروني
تركّز طريقة الاخرق المغنطروني التقليدية البلازما فوق الهدف، مما قد يؤدي إلى قصف أيونات عالية وتلف محتمل للفيلم على الركيزة. للتخفيف من ذلك، يتم استخدام طريقة الاخرق المغنطروني غير المتوازن. هنا، يتم ترتيب المجال المغناطيسي لنشر البلازما، مما يقلل من تركيز الأيونات بالقرب من الركيزة ويحسن جودة الفيلم.
6. أنواع المغنطرونات المغناطيسية
يمكن أن تكون المغنطرونات المستخدمة في أنظمة الرش المغناطيسي إما تيار مستمر (تيار مباشر) أو تردد لاسلكي (تردد لاسلكي). ويعتمد الاختيار على معدل الترسيب المطلوب وجودة الفيلم وتوافق المواد. تستخدم مغنطرونات التيار المستمر مصدر طاقة تيار مباشر، بينما تستخدم مغنطرونات التردد اللاسلكي مصدر طاقة تردد لاسلكي عالي التردد.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
أطلق العنان لقوة البلازما مع KINTEK!
هل أنت مستعد للارتقاء بترسيب الأغشية الرقيقة إلى المستوى التالي؟ تعمل أنظمة الرش بالمغنترون المغنطروني المتقدمة من KINTEK على تسخير دقة تكنولوجيا البلازما لتقديم تحكم وكفاءة لا مثيل لها في أبحاث المواد والعمليات الصناعية الخاصة بك. تضمن معداتنا المتطورة، المصممة مع كل من التيار المستمر والترددات الراديوية المغناطيسية توليد البلازما الأمثل لترسيب الأغشية عالية الجودة عبر مجموعة واسعة من التطبيقات.لا تقبل بأقل من ذلك عندما يمكنك تحقيق الأفضل. اتصل بشركة KINTEK اليوم واكتشف كيف يمكن لخبرتنا في تكنولوجيا البلازما أن تحول مشاريعك. دعونا نبتكر معًا!
