والرش هو بالفعل عملية ترسيب، وتحديدًا نوع من الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). وتنطوي هذه الطريقة على طرد المواد من مصدر "هدف"، والتي تترسب بعد ذلك على "ركيزة". وتتميز هذه العملية بالقذف الفيزيائي لذرات السطح من الهدف بسبب انتقال الزخم من جسيم قاذف نشط، وعادةً ما يكون أيون غازي من بلازما أو مدفع أيوني.
شرح مفصل:
-
آلية الاخرق:
-
يعمل الاخرق باستخدام بلازما غازية لإزاحة الذرات من سطح مادة الهدف الصلبة. وعادةً ما يكون الهدف عبارة عن لوح من المادة المراد طلاؤها على الركائز. تبدأ العملية بإدخال غاز خاضع للتحكم، عادة ما يكون الأرجون، في غرفة تفريغ. ثم يتم تطبيق الطاقة الكهربائية على الكاثود، مما يخلق بلازما ذاتية الاستدامة. تتصادم الأيونات من البلازما مع الهدف، مما يؤدي إلى انبعاث الذرات بسبب انتقال الزخم.الترسيب على الركائز:
-
تنتقل الذرات المقذوفة من الهدف عبر الفراغ أو بيئة الغاز منخفض الضغط وتترسب على الركيزة. ويمكن أن يحدث هذا الترسيب في ظروف ضغط مختلفة: في الفراغ أو الغاز منخفض الضغط (أقل من 5 مللي متر مكعب)، لا تخضع الجسيمات المنبثقة لتصادمات في الطور الغازي قبل الوصول إلى الركيزة. وبدلاً من ذلك، في ضغوط الغاز الأعلى (5-15 مللي طن متري)، قد يتم تسخين الجسيمات النشطة بواسطة تصادمات الطور الغازي قبل الترسيب.
-
خصائص الأفلام المرشوشة:
تُعرف الأغشية المرشوشة بتجانسها الممتاز وكثافتها ونقائها والتصاقها. وتسمح هذه الطريقة بإنتاج سبائك ذات تركيبة دقيقة من خلال الرذاذ التقليدي أو إنشاء مركبات مثل الأكاسيد والنتريدات من خلال الرذاذ التفاعلي. وعادةً ما تكون الطاقة الحركية للذرات المقذوفة بالرش الرذاذي أعلى من طاقة المواد المبخرة، مما يعزز التصاقها بالركيزة.
مزايا الاخرق:
