فرن CVD و PECVD
فرن أنبوبة CVD ذو الحجرة المنقسمة مع ماكينة التفريغ بالبطاريات القابلة للتفريغ بالقنوات المرارية
رقم العنصر : KT-CTF12
السعر يتغير بناءً على specs and customizations
- درجة الحرارة القصوى
- 1200 ℃
- درجة حرارة عمل ثابتة
- 1100 ℃
- قطر أنبوب الفرن
- 60 مم
- طول منطقة التسخين
- 1 × 450 مم
- معدل التسخين
- 0-20 ℃/دقيقة
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع On-time Dispatch Guarantee.
اطلب عرض السعر المخصص الخاص بك 👋
احصل على عرض أسعارك الآن! Leave a Message الحصول على الاقتباس السريع Via Whatsappمقدمة
الفرن الأنبوبي ذو الحجرة المنقسمة CVD مع محطة تفريغ هو جهاز مختبري متعدد الاستخدامات وعالي الأداء مصمم لتطبيقات ترسيب البخار الكيميائي (CVD). وهو يتميز بغرفة فرن مقسمة تتيح سهولة الوصول إلى عينات التفاعل والتبريد السريع. أنبوب الفرن مصنوع من الكوارتز عالي الحرارة ويبلغ قطره 60 مم. يشتمل النظام على مقياس تدفق كتلة MFC رباعي القنوات مع غازات مصدرية من غازات CH4 وH2 وH2 وO2 وN2، مما يوفر تحكمًا دقيقًا في معدلات تدفق الغاز. وتتميز محطة التفريغ بمضخة تفريغ دوارة ذات ريشة دوارة سعة 4 لتر/ثانية، تحقق أقصى ضغط تفريغ يبلغ 10 باسكال. وبفضل ميزاته وقدراته المتقدمة، يُعد فرن أنبوب التفريغ الأنبوبي ذو الحجرة المنقسمة CVD مع محطة تفريغ الهواء خيارًا مثاليًا لمختلف تطبيقات البحث والتطوير في علوم المواد ومعالجة أشباه الموصلات وغيرها من المجالات.
التفاصيل والأجزاء
التطبيقات
فرن أنبوب CVD ذو الغرفة المنقسمة مع فرن أنبوب CVD مع محطة تفريغ CVD محطة تفريغ هو جهاز متعدد الاستخدامات ومتطور مصمم لمجموعة متنوعة من التطبيقات في مجالات علوم المواد وتصنيع أشباه الموصلات والبحث والتطوير. هذه الماكينة مفيدة بشكل خاص للعمليات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة وتدفق الغاز ومستويات التفريغ، مما يجعلها أداة أساسية لتخليق المواد ومعالجتها بجودة عالية.
- تخليق المواد النانوية: يعتبر الفرن مثاليًا لنمو الأسلاك النانوية والأغشية النانوية وغيرها من المواد النانوية ذات البنية النانوية التي تعتبر حاسمة في تطوير الأجهزة الإلكترونية والإلكترونية الضوئية المتقدمة.
- طلاء الفراغ: يُستخدم على نطاق واسع لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مختلفة، بما في ذلك الأغشية المعدنية والأغشية الخزفية والأغشية المركبة، والتي تعتبر ضرورية لتعزيز خصائص المواد في تطبيقات مثل البصريات والإلكترونيات.
- معالجة مواد البطاريات: الفرن مناسب لتجفيف مواد البطاريات وتلبيدها، وهي خطوة حاسمة في إنتاج البطاريات عالية الأداء.
- تجفيف المواد وتلبيدها: يُستخدم في تلبيد السيراميك والمواد المقاومة للحرارة العالية والمواد الحرارية والمواد المتخصصة، مما يضمن توحيد وتكثيف هذه المواد.
- المعالجة الحرارية في الغلاف الجوي والمعالجة الحرارية بالتفريغ: يسمح تكوين الفرن الأنبوبي الرأسي بالتبريد والتلدين والتلطيف للأجزاء الفولاذية الصغيرة، بالإضافة إلى الطلاء الرأسي بتقنية CVD، مما يجعله من الأصول القيمة في العمليات المعدنية.
- البحث والتطوير: يُستخدم على نطاق واسع في الجامعات والمعاهد البحثية والمؤسسات الصناعية والتعدين لإجراء تجارب درجات الحرارة العالية، والتلبيد في الغلاف الجوي، واختزال الغلاف الجوي، وتجارب CVD/CVI، مما يساهم في تقدم علوم المواد والتكنولوجيا.
المميزات
الفرن الأنبوبي ذو الغرفة المنقسمة CVD مع آلة التفريغ CVD محطة التفريغ CVD هو قطعة متطورة من المعدات المصممة لعمليات الترسيب الكيميائي بالبخار المتقدمة (CVD). يدمج هذا الفرن أحدث التقنيات المتطورة لتعزيز كفاءة وجودة ترسيب الأغشية، مما يجعله مثاليًا للأبحاث والتطبيقات الصناعية. فيما يلي الميزات الرئيسية وفوائدها:
- معدل ترسيب غشاء عالي: باستخدام تقنية توهج التردد اللاسلكي، يعزز هذا الفرن معدل ترسيب الأغشية بشكل كبير، حيث يصل إلى 10Å/ثانية. يعد هذا الترسيب السريع أمرًا بالغ الأهمية للإنتاج والبحث عالي الإنتاجية، مما يوفر الوقت ويزيد من الإنتاجية.
- توحيد المساحة الكبيرة: بفضل تقنية تغذية الترددات اللاسلكية المتقدمة متعددة النقاط والتوزيع المتخصص لمسار الغاز، يضمن الفرن توحيد الرقائق بنسبة تصل إلى 8%. هذا التوحيد ضروري لإنشاء طلاءات متسقة وعالية الجودة عبر الركائز الكبيرة، مما يعزز موثوقية المواد المنتجة.
- ترسيب متناسق: يتضمن التصميم مفاهيم متقدمة في صناعة أشباه الموصلات، مما يؤدي إلى انحراف أقل من 2% بين الركائز. ويُعد هذا المستوى العالي من الاتساق أمرًا حيويًا للتطبيقات التي تتطلب نتائج دقيقة وقابلة للتكرار، كما هو الحال في إنتاج المكونات الإلكترونية.
- التحكم المستقر في العملية: يضمن الثبات العالي للمعدات استمرارية واتساق عملية التفريد القابل للذوبان القابل للذوبان في الماء. هذه الموثوقية أمر بالغ الأهمية للحفاظ على سلامة العملية وتقليل مخاطر العيوب أو الأعطال أثناء التشغيل.
- نظام التحكم الذكي: يشتمل نظام التحكم المتكامل، الحاصل على براءة اختراع من شركة Bonage، على نظام تحكم في درجة الحرارة عالي الأداء يستخدم آلية تغذية مرتدة سلبية ذات حلقة مغلقة. يعمل هذا النظام، بالإضافة إلى المكونات الكهربائية المستوردة عالية الجودة، على تعزيز الأداء العام والموثوقية للمعدات، مما يجعلها خالية من الصيانة تقريبًا.
- تطبيقات متعددة الاستخدامات: مناسب لترسيب أنواع مختلفة من الأغشية، بما في ذلك الأغشية المعدنية والسيراميك والأغشية المركبة، ويدعم الفرن عمليات النمو المستمر ويمكن توسيعه بسهولة مع وظائف إضافية مثل التنظيف والحفر بالبلازما. هذا التنوع يجعل منه رصيداً قيماً لتلبية الاحتياجات البحثية والإنتاجية المتنوعة.
المبدأ
إن فرن أنبوب CVD الأنبوبي ذو الغرفة المنقسمة مع آلة التفريغ CVD محطة التفريغ CVD هو فرن تفريغ عالي الحرارة يستخدم لعمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD). CVD هي عملية يتم فيها ترسيب طبقة رقيقة من المواد على ركيزة عن طريق التفاعل الكيميائي لغاز أو بخار. يستخدم فرن أنبوب CVD الأنبوبي ذو الحجرة المنقسمة مع محطة تفريغ CVD آلة التفريغ الذاتي تستخدم حجرة فرن منقسمة للسماح بالوصول السهل إلى الركيزة أثناء عملية التفريغ الذاتي CVD. تُستخدم محطة التفريغ لخلق تفريغ في حجرة الفرن، مما يساعد على إزالة الشوائب وتحسين جودة الفيلم المودع.
المزايا
- مراقبة بديهية للعينة وتبريد سريع: تسمح حجرة الفرن المنفصلة بالمراقبة المباشرة لعينات التفاعل والتبريد السريع.
- قدرة درجة حرارة عالية: درجة حرارة عمل قصوى تصل إلى 1200 درجة مئوية للتطبيقات متعددة الاستخدامات.
- تحكم دقيق في الغاز: مقياس تدفق الكتلة MFC رباعي القنوات مع مصادر CH4 وH2 وH2 وO2 وN2 يضمن إمداد غاز دقيق ومستقر.
- توافق التفريغ: محطة تفريغ الهواء المزودة بمضخة تفريغ دوارة ذات ريشة دوارة سعة 4 لتر/ثانية تحقق أقصى ضغط تفريغ يصل إلى 10Pa، مما يتيح عمليات تفريغ مختلفة.
- تسخين وتبريد عالي السرعة: نظام انزلاق حجرة الفرن يسهّل التسخين والتبريد السريع لمعالجة العينة بكفاءة.
- تحكم متقدم في درجة الحرارة: تحكم في درجة الحرارة قابل للبرمجة بنظام PID مع دقة ممتازة وتحكم عن بُعد وقدرات تحكم مركزية.
- واجهة سهلة الاستخدام: توفر وحدة التحكم CTF Pro المزودة بشاشة TFT تعمل باللمس مقاس 7 بوصة إعدادًا بديهيًا للبرنامج وتحليل البيانات.
- إعداد تفريغ متعدد الاستخدامات: شفة تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مع منافذ قابلة للتكيف تستوعب محطات مضخة تفريغ مختلفة لبيئات تفريغ مخصصة.
- كفاءة الطاقة: يقلل نظام تبريد المياه وتصميم التدفق اللاحق للغاز من استهلاك الطاقة.
- قابلية تطبيق واسعة: مناسب للتفريغ بالشفط القابل للذوبان والنشر والمعالجات الحرارية الأخرى تحت التفريغ وحماية الغلاف الجوي.
ميزة السلامة
- يمتلك الفرن الأنبوبي Kindle Tech وظيفة الحماية من التيار الزائد ووظيفة الإنذار بدرجة الحرارة الزائدة، وسوف يقوم الفرن بإيقاف تشغيل الطاقة تلقائيًا
- الفرن مزود بوظيفة الكشف عن الأزواج الحرارية، سيتوقف الفرن عن التسخين وسيعمل الإنذار بمجرد اكتشاف كسر أو فشل
- يدعم KT-CTF12 Pro وظيفة إعادة تشغيل انقطاع التيار الكهربائي، وسوف يستأنف الفرن برنامج تسخين الفرن عند ورود الطاقة بعد انقطاع التيار الكهربائي
المواصفات الفنية
| طراز الفرن | KT-CTF12-60 |
|---|---|
| درجة الحرارة القصوى | 1200℃ |
| درجة حرارة عمل ثابتة | 1100℃ |
| مادة أنبوب الفرن | كوارتز عالي النقاء |
| قطر أنبوب الفرن | 60 مم |
| طول منطقة التسخين | 1 × 450 مم |
| مادة الغرفة | ألياف الألومينا اليابانية |
| عنصر التسخين | لفائف أسلاك Cr2Al2Mo2 |
| معدل التسخين | 0-20 ℃/دقيقة |
| زوج حراري | بناء في نوع K |
| جهاز التحكم في درجة الحرارة | جهاز تحكم رقمي PID/جهاز تحكم PID بشاشة تعمل باللمس |
| دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1℃ |
| مسافة الانزلاق | 600 مم |
| وحدة تحكم دقيقة في الغاز | |
| مقياس التدفق | مقياس التدفق الكتلي MFC |
| قنوات الغاز | 4 قنوات |
| معدل التدفق | mfc1: 0-5sccm o2 mfc2: 0-20scmch4 mfc3: 0- 100 sccm h2 mfc4: 0-500 sccm n2 |
| الخطية | ± 0.5٪ ف.س. |
| التكرار | ± 0.2٪ ف.س. |
| خط الأنابيب والصمام | الفولاذ المقاوم للصدأ |
| ضغط التشغيل الأقصى | 0.45 ميجا باسكال |
| وحدة تحكم في مقياس التدفق | وحدة تحكم رقمية بمقبض رقمي/وحدة تحكم بشاشة تعمل باللمس |
| وحدة تفريغ قياسية (اختياري) | |
| مضخة تفريغ | مضخة تفريغ ذات ريشة دوارة |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس تفريغ بيرانى/مقياس تفريغ السيليكون |
| ضغط التفريغ المقدر | 10 باسكال |
| وحدة تفريغ عالية التفريغ (اختياري) | |
| مضخة تفريغ | مضخة ريشة دوارة + مضخة جزيئية |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية + 110 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس التفريغ المركب |
| ضغط التفريغ المقدر | 6×10-5 باسكال |
| يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات المذكورة أعلاه | |
الحزمة القياسية
| رقم العبوة | الوصف | الكمية |
|---|---|---|
| 1 | فرن | 1 |
| 2 | أنبوب كوارتز | 1 |
| 3 | شفة تفريغ الهواء | 2 |
| 4 | كتلة حرارية أنبوبية | 2 |
| 5 | خطاف الكتلة الحرارية الأنبوبية | 1 |
| 6 | قفاز مقاوم للحرارة | 1 |
| 7 | تحكم دقيق في الغازات | 1 |
| 8 | وحدة تفريغ الهواء | 1 |
| 9 | دليل التشغيل | 1 |
إعداد اختياري
- في أنبوب الكشف عن الغازات ومراقبتها، مثل H2 و O2 وما إلى ذلك
- مراقبة درجة حرارة الفرن المستقلة وتسجيلها
- منفذ اتصال RS 485 للكمبيوتر الشخصي للتحكم عن بعد وتصدير البيانات
- أدخل التحكم في معدل تدفق الغازات المغذية للغازات، مثل مقياس التدفق الكتلي ومقياس التدفق العائم
- جهاز تحكم في درجة الحرارة بشاشة تعمل باللمس مع وظائف سهلة الاستخدام للمشغل
- إعدادات محطة مضخة التفريغ العالية، مثل مضخة تفريغ الريشة والمضخة الجزيئية ومضخة الانتشار
تحذيرات
سلامة المشغل هي أهم قضية! يرجى تشغيل الجهاز بحذر. يعد العمل بالغازات القابلة للاشتعال والانفجار أو السامة أمرًا خطيرًا للغاية ، ويجب على المشغلين اتخاذ جميع الاحتياطات اللازمة قبل بدء تشغيل الجهاز. يعد العمل بالضغط الإيجابي داخل المفاعلات أو الغرف أمرًا خطيرًا ، ويجب على المشغل الالتزام بإجراءات السلامة بدقة. يجب أيضًا توخي الحذر الشديد عند العمل بمواد تفاعلية للهواء ، خاصة في حالة الفراغ. يمكن أن يؤدي التسرب إلى سحب الهواء إلى الجهاز مما يؤدي إلى حدوث رد فعل عنيف.
مصممة لك
تقدم KinTek خدمة ومعدات مخصصة عميقة للعملاء في جميع أنحاء العالم ، والعمل الجماعي المتخصص لدينا والمهندسون ذوو الخبرة الأثرياء قادرون على تنفيذ متطلبات أجهزة ومعدات البرمجيات المخصصة ، ومساعدة عملائنا على بناء المعدات والحلول الحصرية والشخصية!
هل تسمح بإسقاط أفكارك إلينا من فضلك ، مهندسونا جاهزون لك الآن!
FAQ
ما هو الفرن الأنبوبي؟
فرن أنبوب المختبر هو أحد أفران الأنبوب ذات درجة الحرارة العالية للتسخين الخارجي الكلاسيكي ، ويسمى أيضًا فرن تسخين الجدار الساخن.
وفقًا لدرجات حرارة العمل المختلفة ، يمكن أن تكون مادة أنبوب الفرن عادةً عبارة عن أنابيب كوارتز شفافة وأنابيب سيراميك الألومينا عالية النقاء وأنابيب سبائك معدنية عالية القوة.
لتلبية أغراض البحث الحراري المختلفة ، يمكن تصميم فرن الأنبوب بمناطق تسخين متعددة ، وذلك للحصول على تحكم مرن في تدرج درجة الحرارة في غرفة عمل الأنبوب ؛ يمكن أن يعمل أنبوب الفرن مع بيئة عمل ذات جو متحكم فيه أو بيئة عمل ذات فراغ عالي.
ما هو فرن CVD؟
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) عبارة عن تقنية تستخدم مصادر طاقة مختلفة مثل التسخين أو إثارة البلازما أو الإشعاع الضوئي للتفاعل الكيميائي مع المواد الكيميائية الغازية أو البخارية على الطور الغازي أو السطح البيني الغازي الصلب لتكوين رواسب صلبة في المفاعل عن طريق تفاعل كيميائي: لتوضيح الأمر ببساطة ، يتم إدخال مادتين أو أكثر من المواد الخام الغازية في غرفة التفاعل ، ثم تتفاعل مع بعضها البعض لتشكيل مادة جديدة وترسبها على سطح الركيزة.
فرن CVD هو نظام أفران واحد مدمج مع وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم في الغازات ، ووحدة تفريغ ، ويستخدم على نطاق واسع لتجربة وإنتاج المواد المركبة ، وعملية الإلكترونيات الدقيقة ، والإلكترونيات الضوئية لأشباه الموصلات ، واستخدام الطاقة الشمسية ، واتصالات الألياف الضوئية ، والموصل الفائق التكنولوجيا ، مجال الطلاء الواقي.
كيف يعمل الفرن الأنبوبي؟
يتم وضع عناصر تسخين الفرن الأنبوبي حول التجويف الأسطواني ، ويمكن للفرن فقط تسخين العينات في التجويف الأسطواني من خلال الإشعاع الحراري غير المباشر ، نظرًا لأن أنبوب الفرن يمكن أن يمنع مادة العينة من الاتصال بعناصر تسخين الفرن ومواد العزل ، لذلك يخلق الفرن الأنبوبي عزلًا نظيفًا غرفة الحرارة وتقليل مخاطر تلوث مادة العينة بالفرن.
كيف يعمل فرن CVD؟
يتكون نظام فرن CVD من وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم دقيقة بمصدر الغاز المتفاعل ، ومحطة مضخة تفريغ وأجزاء تجميع مقابلة.
تعمل مضخة التفريغ على إزالة الهواء من أنبوب التفاعل ، والتأكد من عدم وجود غازات غير مرغوب فيها داخل أنبوب التفاعل ، وبعد ذلك يقوم الفرن الأنبوبي بتسخين أنبوب التفاعل إلى درجة حرارة مستهدفة ، ثم يمكن لوحدة التحكم الدقيقة في مصدر الغاز المتفاعل إدخال مختلف الغازات ذات النسبة المحددة في أنبوب الفرن للتفاعل الكيميائي ، سيتم تشكيل ترسيب البخار الكيميائي في فرن CVD.
ما هي طرق ترسيب الأغشية الرقيقة؟
ما هو تطبيق فرن الأنبوب؟
يستخدم الفرن الأنبوبي بشكل أساسي في المعادن والزجاج والمعالجة الحرارية وأنود الليثيوم ومواد الكاثود والطاقة الجديدة والمواد الكاشطة وغيرها من الصناعات ، وهو عبارة عن معدات احترافية لقياس المواد تحت ظروف درجات حرارة معينة.
يتميز فرن الأنبوب بالهيكل البسيط والتشغيل السهل والتحكم السهل والإنتاج المستمر.
يتم استخدام فرن الأنبوب أيضًا على نطاق واسع في أنظمة CVD (ترسيب البخار الكيميائي) وأنظمة CVD المحسنة بالبلازما.
ما هو الغاز المستخدم في عملية CVD؟
هناك مصادر غاز هائلة يمكن استخدامها في عملية الأمراض القلبية الوعائية ، والتفاعلات الكيميائية الشائعة لأمراض القلب والأوعية الدموية تشمل الانحلال الحراري ، والتحلل الضوئي ، والاختزال ، والأكسدة ، والاختزال ، وبالتالي يمكن استخدام الغازات المشاركة في هذه التفاعلات الكيميائية في عملية الأمراض القلبية الوعائية.
نأخذ نمو الجرافين CVD على سبيل المثال ، الغازات المستخدمة في عملية CVD ستكون CH4 و H2 و O2 و N2.
ما هي أنواع الفرن الدوار؟
ما هو المبدأ الأساسي للأمراض القلبية الوعائية؟
ما هي معدات ترسيب الأغشية الرقيقة؟
كم عدد أنواع مختلفة من فرن الأنابيب؟
يمكن أن يعمل فرن الأنبوب بوظائف ميكانيكية مختلفة بسلاسة ، لذلك هناك العديد من الأنواع المختلفة للأفران الأنبوبية لأغراض التجربة المختلفة ، وأفران الأفران النموذجية على النحو التالي:
- فرن أنبوب أفقي
- فرن أنبوب عمودي
- فرن ذو أنبوب منفصل
- فرن أنبوب دوار
- فرن أنبوب مائل
- انزلاق الفرن الأنبوبي
- فرن تسخين وتبريد سريع
- تغذية مستمرة وفرن أنبوب التفريغ
ما هي مميزات نظام CVD؟
- يمكن إنتاج مجموعة واسعة من الأفلام ، والأفلام المعدنية ، والأفلام اللافلزية ، والأفلام ذات السبائك المتعددة المكونات حسب الحاجة. في الوقت نفسه ، يمكنها تحضير بلورات عالية الجودة يصعب الحصول عليها بطرق أخرى ، مثل GaN و BP وما إلى ذلك.
- سرعة تشكيل الفيلم سريعة ، عادة ما تكون عدة ميكرونات في الدقيقة أو حتى مئات الميكرونات في الدقيقة. من الممكن إيداع كميات كبيرة من الطلاءات ذات التركيب الموحد في وقت واحد ، وهو أمر لا يضاهى بطرق تحضير الفيلم الأخرى ، مثل epitaxy المرحلة السائلة (LPE) و epitaxy الحزمة الجزيئية (MBE).
- يتم تنفيذ ظروف العمل تحت ضغط عادي أو ظروف فراغ منخفضة ، وبالتالي فإن الطلاء له انعراج جيد ، ويمكن طلاء قطع العمل ذات الأشكال المعقدة بشكل موحد ، وهو أفضل بكثير من PVD.
- نظرًا للانتشار المتبادل لغاز التفاعل ومنتج التفاعل والركيزة ، يمكن الحصول على طلاء بقوة التصاق جيدة ، وهو أمر ضروري لإعداد أغشية مقواة بالسطح مثل الأفلام المقاومة للتآكل والمضادة للتآكل.
- تنمو بعض الأفلام عند درجة حرارة أقل بكثير من درجة انصهار مادة الفيلم. في ظل حالة النمو في درجات الحرارة المنخفضة ، لا يتفاعل غاز التفاعل وجدار المفاعل والشوائب الموجودة فيهما تقريبًا ، لذلك يمكن الحصول على فيلم بنقاوة عالية وتبلور جيد.
- يمكن أن يحصل ترسيب البخار الكيميائي على سطح ترسيب أملس. هذا لأنه بالمقارنة مع LPE ، يتم إجراء ترسيب البخار الكيميائي (CVD) تحت إشباع عالٍ ، مع معدل تنوي مرتفع ، وكثافة تنوي عالية ، وتوزيع منتظم على المستوى بأكمله ، مما ينتج عنه سطح أملس مجهري. في الوقت نفسه ، في ترسيب البخار الكيميائي ، يكون متوسط المسار الحر للجزيئات (الذرات) أكبر بكثير من LPE ، وبالتالي يكون التوزيع المكاني للجزيئات أكثر اتساقًا ، مما يؤدي إلى تكوين سطح ترسيب أملس.
- ضرر الإشعاع المنخفض ، وهو شرط ضروري لتصنيع أشباه موصلات أكسيد المعادن (MOS) والأجهزة الأخرى
ما هي مزايا الفرن الدوار؟
ما هي الأنواع المختلفة لطريقة CVD؟
ما هي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة؟
ما هو موقف PECVD؟
PECVD هي تقنية تستخدم البلازما لتنشيط غاز التفاعل ، وتعزيز التفاعل الكيميائي على سطح الركيزة أو بالقرب من مساحة السطح ، وتوليد فيلم صلب. المبدأ الأساسي لتقنية ترسيب البخار الكيميائي للبلازما هو أنه تحت تأثير المجال الكهربائي RF أو DC ، يتأين غاز المصدر لتشكيل بلازما ، وتستخدم البلازما منخفضة الحرارة كمصدر للطاقة ، وكمية مناسبة من غاز التفاعل يتم إدخاله ، ويتم استخدام تفريغ البلازما لتنشيط غاز التفاعل وتحقيق ترسب البخار الكيميائي.
وفقًا لطريقة توليد البلازما ، يمكن تقسيمها إلى بلازما RF ، بلازما DC وبلازما ميكروويف CVD ، إلخ ...
ما هي كفاءة الفرن الدوار؟
ما هو الفرق بين CVD و PECVD؟
الفرق بين PECVD وتقنية CVD التقليدية هو أن البلازما تحتوي على عدد كبير من الإلكترونات عالية الطاقة ، والتي يمكن أن توفر طاقة التنشيط المطلوبة في عملية ترسيب البخار الكيميائي ، وبالتالي تغيير نمط إمداد الطاقة لنظام التفاعل. نظرًا لأن درجة حرارة الإلكترون في البلازما تصل إلى 10000 كلفن ، فإن الاصطدام بين الإلكترونات وجزيئات الغاز يمكن أن يعزز كسر الرابطة الكيميائية وإعادة اتحاد جزيئات غاز التفاعل لتوليد مجموعات كيميائية أكثر نشاطًا ، بينما يحافظ نظام التفاعل بأكمله على درجة حرارة منخفضة.
بالمقارنة مع عملية CVD ، يمكن لـ PECVD تنفيذ نفس عملية ترسيب البخار الكيميائي مع درجة حرارة منخفضة.
4.8
out of
5
I'm impressed with the speed of delivery. I received my order within a week of placing it.
4.9
out of
5
This product is worth every penny. The build quality is top-notch, and it performs even better than advertised.
4.7
out of
5
I'm amazed by the technological advancement of this product. It's like having a mini-lab in my own laboratory.
4.8
out of
5
The split chamber design is a game-changer. It makes it so easy to load and unload samples.
4.9
out of
5
The vacuum station is a great addition. It allows me to create a controlled environment for my experiments.
4.7
out of
5
I'm very satisfied with the durability of this product. It's been through a lot of use, and it's still going strong.
4.8
out of
5
The customer service from KINTEK SOLUTION is exceptional. They're always quick to respond to my inquiries and help me troubleshoot any issues.
4.9
out of
5
I highly recommend this product to any laboratory manager looking for a reliable and high-quality CVD tube furnace.
4.7
out of
5
This product has exceeded my expectations. It's easy to use and maintain, and it produces excellent results.
4.8
out of
5
I'm very happy with my purchase. This product is a great addition to my laboratory.
4.9
out of
5
I'm impressed with the quality of this product. It's well-made and performs flawlessly.
4.7
out of
5
This product is a must-have for any laboratory. It's a versatile and powerful tool that can be used for a variety of applications.
4.8
out of
5
I'm very satisfied with this product. It's a great value for the price.
4.9
out of
5
I highly recommend this product to any laboratory manager looking for a reliable and affordable CVD tube furnace.
4.7
out of
5
This product is a great addition to my laboratory. It's easy to use and produces excellent results.
4.8
out of
5
I'm very happy with my purchase. This product is a great value for the price.
4.9
out of
5
I highly recommend this product to any laboratory manager looking for a reliable and affordable CVD tube furnace.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
صنع العميل آلة CVD متعددة الاستخدامات لفرن أنبوب CVD
احصل على فرن CVD الخاص بك مع الفرن متعدد الاستخدامات KT-CTF16. وظائف انزلاق ودوران وإمالة قابلة للتخصيص للحصول على تفاعلات دقيقة. اطلب الان!
فرن أنبوبة CVD متعدد مناطق التسخين المتعدد CVD فرن CVD الأنبوبية
فرن KT-CTF14 متعدد مناطق التسخين CVD - تحكم دقيق في درجة الحرارة وتدفق الغاز للتطبيقات المتقدمة. درجة حرارة قصوى تصل إلى 1200 درجة مئوية، ومقياس تدفق الكتلة MFC بـ 4 قنوات، وجهاز تحكم بشاشة TFT تعمل باللمس مقاس 7 بوصة.
آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسن بالبلازما الدوارة المائلة (PECVD)
نقدم فرن PECVD الدوار المائل من أجل ترسيب دقيق للغشاء الرقيق. استمتع بمصدر المطابقة التلقائية ، والتحكم في درجة الحرارة القابل للبرمجة PID ، والتحكم في مقياس تدفق الكتلة MFC عالي الدقة. ميزات أمان مدمجة لراحة البال.
ارتقِ بتجاربك مع فرن الأنبوب العمودي. تصميم متعدد الاستخدامات يسمح بالتشغيل في مختلف البيئات وتطبيقات المعالجة الحرارية. اطلب الآن للحصول على نتائج دقيقة!
فرن أنبوب منزلق PECVD مع آلة تغويز سائل PECVD
KT-PE12 Slide PECVD System: نطاق طاقة واسع ، تحكم في درجة الحرارة قابل للبرمجة ، تسخين / تبريد سريع مع نظام انزلاقي ، تحكم في التدفق الكتلي MFC ومضخة تفريغ.
فرن الضغط الساخن الأنبوبي الفراغي
تقليل ضغط التشكيل وتقصير وقت التلبيد باستخدام فرن الضغط الساخن الأنبوبي المفرغ من الهواء للمواد عالية الكثافة والحبيبات الدقيقة. مثالي للمعادن المقاومة للحرارة.
فرن أنبوبي دوّار أنبوبي دوّار محكم الغلق بالتفريغ الكهربائي
اختبر المعالجة الفعالة للمواد مع فرننا الأنبوبي الدوّار المحكم الغلق بالتفريغ. مثالي للتجارب أو للإنتاج الصناعي، ومزود بميزات اختيارية لتغذية محكومة ونتائج محسنة. اطلب الآن.
فرن الغلاف الجوي المتحكم فيه 1700 ℃
فرن الغلاف الجوي الخاضع للتحكم KT-17A: تسخين 1700 درجة مئوية، وتقنية تفريغ الهواء، والتحكم في درجة الحرارة PID، ووحدة تحكم ذكية متعددة الاستخدامات تعمل باللمس TFT للاستخدامات المختبرية والصناعية.
اختبر اختبارًا حراريًا دقيقًا وفعالًا مع فرن الأنبوب متعدد المناطق. تسمح مناطق التسخين المستقلة وأجهزة استشعار درجة الحرارة بمجالات تسخين متدرجة ذات درجة حرارة عالية يتم التحكم فيها. اطلب الآن لتحليل حراري متقدم!
1400 ℃ فرن الغلاف الجوي المتحكم فيه
احصل على معالجة حرارية دقيقة مع فرن KT-14A ذي الغلاف الجوي المتحكم فيه. محكم الغلق بتفريغ الهواء مع وحدة تحكم ذكية، وهو مثالي للاستخدام المختبري والصناعي حتى 1400 درجة مئوية.
فرن الأنبوب 1400 ℃ مع أنبوب الألومينا
هل تبحث عن فرن أنبوبي لتطبيقات درجات الحرارة العالية؟ يُعد فرننا الأنبوبي 1400 ℃ المزود بأنبوب الألومينا مثاليًا للاستخدامات البحثية والصناعية.
جرب سرعة ضخ الفراغ العالية والاستقرار مع مضخة الفراغ الدوارة المعتمدة من UL. صمام الصابورة الغازي ثنائي الحركة وحماية الزيت المزدوجة. سهولة الصيانة والإصلاح.
فرن الأنبوب 1700 ℃ مع أنبوب الألومينا
هل تبحث عن فرن أنبوبي عالي الحرارة؟ تحقق من الفرن الأنبوبي 1700 ℃ مع أنبوب الألومينا. مثالي للأبحاث والتطبيقات الصناعية حتى 1700 درجة مئوية.
فرن الفراغ مع بطانة ألياف السيراميك
فرن الفراغ مع بطانة عازلة من ألياف السيراميك متعددة الكريستالات لعزل حراري ممتاز ومجال درجة حرارة موحد. اختر من بين 1200 درجة أو 1700 درجة كحد أقصى. درجة حرارة العمل مع أداء الفراغ العالي والتحكم الدقيق في درجة الحرارة.
RF PECVD نظام تردد الراديو ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما
RF-PECVD هو اختصار لعبارة "ترسيب البخار الكيميائي المعزز ببلازما التردد اللاسلكي." ترسب مادة DLC (فيلم الكربون الشبيه بالماس) على ركائز الجرمانيوم والسيليكون. يتم استخدامه في نطاق الطول الموجي للأشعة تحت الحمراء 3-12um.
فرن الأنبوب المنفصل 1200 ℃ مع أنبوب الكوارتز
الفرن الأنبوبي المنفصل KT-TF12: عازل عالي النقاء، وملفات أسلاك تسخين مدمجة، وحد أقصى 1200C. يستخدم على نطاق واسع للمواد الجديدة وترسيب البخار الكيميائي.
تجويف أكريليك 4 بوصة، جهاز تجانس مختبري أوتوماتيكي بالكامل
إن آلة توزيع الغراء المختبرية الأوتوماتيكية بالكامل ذات التجويف الأكريليكي مقاس 4 بوصة عبارة عن آلة مدمجة ومقاومة للتآكل وسهلة الاستخدام مصممة للاستخدام في عمليات صندوق القفازات. يتميز بغطاء شفاف مع وضع عزم دوران ثابت لوضع السلسلة، وتجويف داخلي لفتح القالب، وزر قناع الوجه الملون بشاشة LCD. يمكن التحكم في سرعة التسارع والتباطؤ وتعديلها، كما يمكن ضبط التحكم في تشغيل البرنامج متعدد الخطوات.
فرن تلبيد سلك التنغستن فراغ صغير
فرن تلبيد سلك التنغستن بالفراغ الصغير هو عبارة عن فرن فراغ تجريبي مدمج مصمم خصيصًا للجامعات ومعاهد البحث العلمي. يتميز الفرن بغطاء ملحوم باستخدام الحاسب الآلي وأنابيب مفرغة لضمان التشغيل الخالي من التسرب. التوصيلات الكهربائية سريعة التوصيل تسهل عملية النقل والتصحيح، كما أن خزانة التحكم الكهربائية القياسية آمنة ومريحة في التشغيل.
مضخة فراغ تعميم المياه Benchtop
هل تحتاج إلى مضخة تفريغ مائية متداولة لمختبرك أو للصناعات الصغيرة؟ تعتبر مضخة فراغ تدوير الماء Benchtop مثالية للتبخر والتقطير والتبلور والمزيد.
فرن 1200 ℃ فرن الغلاف الجوي المتحكم فيه
اكتشف فرن الغلاف الجوي KT-12A Pro الذي يمكن التحكم فيه - غرفة تفريغ عالية الدقة وشديدة التحمّل، ووحدة تحكم ذكية متعددة الاستخدامات تعمل باللمس، وتوحيد ممتاز لدرجة الحرارة حتى 1200 درجة مئوية. مثالي للتطبيقات المعملية والصناعية على حد سواء.
احصل على ضغط سلبي مستقر وفعال من خلال مضخة التفريغ ذات الحجاب الحاجز. مثالي للتبخر والتقطير والمزيد. محرك درجة حرارة منخفضة ، مواد مقاومة للمواد الكيميائية ، وصديقة للبيئة. جربه اليوم!
احصل على تحكّم فائق بالحرارة مع فرن الكتم 1700 درجة مئوية. مزود بمعالج دقيق ذكي لدرجة الحرارة، وجهاز تحكم بشاشة تعمل باللمس TFT ومواد عزل متطورة لتسخين دقيق يصل إلى 1700 درجة مئوية. اطلب الآن!
4 بوصة غرفة سبائك الألومنيوم الخالط الغراء المختبر التلقائي بالكامل
إن آلة توزيع الغراء المختبرية الأوتوماتيكية بالكامل بتجويف سبائك الألومنيوم مقاس 4 بوصة عبارة عن جهاز مدمج ومقاوم للتآكل مصمم للاستخدام المختبري. إنه يتميز بغطاء شفاف مع وضع ثابت لعزم الدوران، وتجويف داخلي مفتوح للقالب لسهولة التفكيك والتنظيف، وزر قناع الوجه الملون بشاشة LCD لسهولة الاستخدام.
احصل على تحكم دقيق في درجة حرارة عالية تصل إلى 1500 درجة مئوية مع فرن KT-14M Muffle. مزود بوحدة تحكم ذكية تعمل باللمس ومواد عزل متطورة.
فرن أنبوبي عالي الضغط KT-PTF: فرن أنبوبي مدمج منقسم ذو مقاومة ضغط إيجابي قوية. درجة حرارة العمل تصل إلى 1100 درجة مئوية وضغط يصل إلى 15 ميجا باسكال. يعمل أيضًا تحت جو التحكم أو التفريغ العالي.
المقالات ذات الصلة
تقديم أفران المختبر ذات الأنبوب الفراغي
فرن الأنبوب المفرغ هو نوع من الأفران التي تستخدم الفراغ لعزل جو العملية عن الغلاف الجوي الخارجي.
مزايا استخدام فرن أنبوب CVD للطلاء
تتميز طلاءات CVD بالعديد من المزايا مقارنة بطرق الطلاء الأخرى ، مثل النقاوة العالية والكثافة والتوحيد ، مما يجعلها مثالية للعديد من التطبيقات في مختلف الصناعات.
فرن CVD لنمو الأنابيب النانوية الكربونية
تقنية فرن ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي طريقة مستخدمة على نطاق واسع لزراعة الأنابيب النانوية الكربونية.
استكشاف استخدام فرن الغرفة للتطبيقات الصناعية والمخبرية
فرن غرفة المختبر هو نوع من معدات التدفئة المصممة خصيصًا للاستخدام في بيئة المختبر. يتم استخدامه عادةً للتطبيقات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة والتوحيد ، مثل المعالجة الحرارية للمواد.
دليل شامل لأفران الأنبوب المنقسمة: التطبيقات والميزات
من الصحيح أن فرن الأنبوب المنفصل هو نوع من المعدات المختبرية التي تتكون من أنبوب أو غرفة مجوفة يمكن فتحها للسماح بإدخال وإزالة العينات أو المواد التي يتم تسخينها.
كيفية اختيار الفرن المناسب لمختبرك؟
تتضمن بعض الاعتبارات المهمة الأخرى لفرن مافيل درجة الحرارة القصوى المطلوبة ووقت دورة العملية وطريقة التحميل أو التفريغ. من أجل اختيار أفضل فرن وافر لاحتياجاتك ، من المهم أولاً مراعاة مواصفات التصميم المطلوبة للإنتاج أو التطبيق الذي تريده. يتضمن ذلك عوامل مثل حجم البوتقة وحجم الحجرة والجهد الداخل. بمجرد أن يكون لديك فهم جيد للأساسيات ، يمكنك بعد ذلك الانتقال إلى اعتبارات مهمة أخرى مثل درجة الحرارة القصوى ووقت دورة العملية وطريقة التحميل أو التفريغ. من خلال أخذ كل هذه العوامل في الاعتبار ، يمكنك التأكد من اختيار أفضل فرن وافر لاحتياجاتك الخاصة.
المشاكل الشائعة في أنظمة الأمراض القلبية الوعائية وكيفية حلها
يعد فهم أساسيات أنظمة CVD وأهميتها أمرًا بالغ الأهمية لتحسين العملية وحل المشكلات الشائعة التي تتم مواجهتها أثناء التشغيل.
أفران المختبر الفراغية في أبحاث المواد المتقدمة
بالإضافة إلى الحجم ، هناك العديد من الاختلافات الرئيسية الأخرى بين أفران التفريغ على نطاق صناعي وأفران المختبر
تركيب أنبوب تركيب أنبوب الفرن الأنبوبي
يقدم بشكل أساسي طريقة تركيب أنبوب تركيب الفرن الأنبوبي.
دليل شامل لMPCVD: تركيب الماس وتطبيقاته
استكشف أساسيات ومزايا وتطبيقات ترسيب البخار الكيميائي للبلازما بالميكروويف (MPCVD) في تصنيع الماس. تعرف على قدراتها الفريدة وكيفية مقارنتها بطرق نمو الماس الأخرى.