نعم، الاخرق هو نوع من ترسيب البخار الفيزيائي (PVD).
ملخص:
الاخرق هو طريقة للترسيب الفيزيائي للبخار حيث يتم قذف المواد من مصدر هدف بسبب انتقال الزخم من قصف الجسيمات، وعادةً ما تكون أيونات غازية. ثم تتكثف هذه المادة المقذوفة على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة.
-
الشرح:
- عملية الاخرق:
- في عملية الاصطرار، لا يتم صهر المادة المستهدفة (المصدر) ولكن بدلاً من ذلك، يتم قذف الذرات عن طريق تأثير الجسيمات النشطة، وعادةً ما تكون أيونات. وتنطوي هذه العملية على نقل كمية الحركة من الأيونات القاذفة إلى المادة المستهدفة، مما يتسبب في طرد الذرات فيزيائياً.
-
وتنتقل الذرات المقذوفة بعد ذلك عبر بيئة منخفضة الضغط (غالباً ما تكون بيئة فراغية أو بيئة غازية محكومة) وتترسب على ركيزة مكونة طبقة رقيقة. ويمكن أن يحدث هذا الترسيب في ضغوط غازية مختلفة، مما يؤثر على طاقة واتجاه الجسيمات المنبثقة.
- خصائص الأفلام المرشوشة:
- عادةً ما تكون الأغشية الناتجة عن الرذاذ رقيقة جدًا، ويتراوح سمكها من بضع طبقات ذرية إلى ميكرومتر. ويمكن التحكم في السُمك من خلال مدة عملية الرش بالمبخرة وغيرها من المعلمات مثل طاقة وكتلة الجسيمات المرشوشة.
-
تتميز الأفلام المرشوشة بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش بالرش، وهو ما يسمح بترابط أفضل مع الركيزة مقارنةً بالأفلام التي يتم تشكيلها بالتبخير الحراري.
- التطبيقات والمزايا:
- يُستخدم الاخرق على نطاق واسع في صناعات مختلفة بما في ذلك صناعة الطيران والطاقة الشمسية والإلكترونيات الدقيقة والسيارات نظرًا لقدرته على ترسيب أغشية رقيقة عالية الجودة على الركائز.
-
وهي مفيدة بشكل خاص للمواد ذات درجات انصهار عالية، حيث يمكن ترسيبها دون الحاجة إلى الانصهار، مما قد يغير خصائصها.
- السياق التاريخي:
شكّل تطوير تقنية الرش بالبلازما في السبعينيات على يد بيتر ج. كلارك تقدمًا كبيرًا في هذا المجال، مما أتاح ترسيبًا أكثر تحكمًا وكفاءة للأغشية الرقيقة.التصحيح والمراجعة:
