يُعد رش الحزمة الأيونية (IBS) تقنية متطورة تُستخدم في مختلف الصناعات لترسيب الأغشية الرقيقة عالية الجودة.
ما هي المزايا الخمس الرئيسية لتقنية رش الأشعة الأيونية؟
1. انخفاض ضغط الغرفة
يتم وضع البلازما في تقنية IBS داخل المصدر الأيوني.
ويسمح ذلك بضغط غرفة أقل بكثير مقارنةً بالرش المغنطروني التقليدي.
هذا الانخفاض في الضغط يقلل بشكل كبير من مستوى التلوث في الفيلم.
2. الترابط الأمثل للطاقة
يستخدم الرش بالحزمة الأيونية الترابط بالطاقة عند حوالي 100 مرة أعلى من الطلاء بالتفريغ.
وهذا يضمن جودة فائقة ورابطة قوية حتى بعد ترسيب السطح.
3. تعدد الاستخدامات
يسمح IBS بترسيب أي مادة.
وتكون خصائص رش المواد المختلفة أصغر مقارنة بالتبخير.
وهذا يجعل من السهل ترسيب المواد ذات نقاط انصهار عالية.
بالإضافة إلى ذلك، يمكن رش مواد السبائك والمواد المركبة المستهدفة لتشكيل فيلم بنفس نسبة المكون المستهدف.
4. التحكم الدقيق
يوفر رشّ الحزمة الأيونية تحكماً دقيقاً في مختلف المعلمات.
وتشمل هذه المعلمات معدل رش الهدف، وزاوية السقوط، والطاقة الأيونية، وكثافة التيار الأيوني، وتدفق الأيونات.
