الترسيب الفيزيائي بالبخار الفيزيائي (PVD) هي عملية تحول المواد من طور التكثيف إلى طور البخار ثم تعود إلى طبقة رقيقة مكثفة على ركيزة.
وتشمل الأنواع الرئيسية لعمليات الترسيب الفيزيائي للبخار بالتقنية الفيزيائية (PVD) الرش والتبخير، ولكل منهما تقنياته الفرعية وتطبيقاته.
شرح 7 تقنيات رئيسية
1. الاخرق
الاخرق هو عملية يتم فيها قذف ذرات من مادة مستهدفة صلبة بواسطة قصف جسيمات نشطة إلى مرحلة غازية ثم ترسيبها على ركيزة.
1.1 الاخرق المغنطروني
يستخدم رش المغنطرون المغنطروني مجالاً مغناطيسياً لحبس الإلكترونات بالقرب من سطح الهدف، مما يزيد من تأين غاز الرش وتعزيز معدل الرش.
1.2 الرش بالحزم الأيونية
يتضمن الرش بالحزمة الأيونية توجيه حزمة أيونات مركزة على الهدف لقذف المادة.
1.3 الاخرق التفاعلي
يجمع الاخراخ التفاعلي بين الاخرق التفاعلي مع غاز تفاعلي لتشكيل أغشية مركبة، مثل الأكاسيد أو النيتريدات.
1.4 الاخرق بمساعدة الأيونات
يضيف الاخرق بمساعدة الأيونات شعاع أيون إلى العملية لتحسين خصائص الفيلم.
1.5 الرش بالتدفق الغازي
يتحكم الرش بالتدفق الغازي في تدفق الغاز لتحسين عملية الترسيب.
2. التبخير
ينطوي التبخير على تسخين مادة مصدرية لتبخيرها ثم تكثيفها على ركيزة أكثر برودة، مما يؤدي إلى تكوين طبقة رقيقة.
2.1 التبخير الحراري
يقوم التبخير الحراري بتسخين المادة مباشرة باستخدام التسخين المقاوم أو الاستقرائي.
2.2 التبخير بالحزمة الإلكترونية (شعاع الإلكترون)
يستخدم التبخير بالحزمة الإلكترونية شعاعاً إلكترونياً لتسخين المادة، مما يسمح بتبخير مواد ذات انصهار أعلى.
تُستخدم تقنيات التبخير بالحزمة الإلكترونية (PVD) لترسيب مجموعة متنوعة من المواد بما في ذلك المعادن والسبائك والسيراميك، مع تطبيقات تتراوح بين الوظائف الميكانيكية والبصرية والكيميائية والإلكترونية.
يعتمد اختيار التقنية على المتطلبات المحددة للفيلم الرقيق، مثل الالتصاق والكثافة والنقاء.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف دقة وتعدد استخدامات حلول تقنية PVD لدينا في KINTEK SOLUTION.
صُممت مجموعتنا الشاملة من معدات الرش والتبخير، بما في ذلك أحدث أنظمة الرش بالحزمة المغنطرونية والأيونية والمبخرات الحرارية والحزمة الإلكترونية، لتلبية المتطلبات المعقدة لتطبيقات الأغشية الرقيقة الخاصة بك.
ارفع مستوى عمليات ترسيب المواد الخاصة بك من خلال معداتنا المتطورة للتبخير بالطباعة بالانبعاثات البفديوية - اشترك مع KINTEK SOLUTION للحصول على أداء لا مثيل له ودعم رائد في الصناعة.
